一种循环加热装置制造方法及图纸

技术编号:27428074 阅读:20 留言:0更新日期:2021-02-21 14:56
本实用新型专利技术公开了一种循环加热装置,属于蓝宝石抛光技术领域,包括加热桶,所述加热桶底部设有加热控温装置,所述加热桶内嵌入有循环桶,所述循环桶设有供液管,所述供液管连有防水循环泵。本实用新型专利技术实现了蓝宝石加工过程中,对抛光液自动加热控温,节省了人力,提高了工作效率,控温更加精准,有利于维持化学与机械抛光的平衡点。械抛光的平衡点。械抛光的平衡点。

【技术实现步骤摘要】
一种循环加热装置


[0001]本技术属于蓝宝石抛光
,尤其涉及一种循环加热装置。

技术介绍

[0002]蓝宝石抛光过程中,主要是化学机械抛光(CMP),化学机械抛光过程是机械和化学作用相平衡的过程,通过抛光液与被抛光物接触并发生反应,产生腐蚀层,与此同时机械摩擦将腐蚀层摩擦去除,化学作用与机械作用同步进行,从而实现蓝宝石的抛光。
[0003]蓝宝石抛光效果好坏,与抛光液温度控制密切相关。抛光过程中,抛光盘与蓝宝石摩擦生热,抛光液温度控制不好,容易造成抛光缺陷,或者抛光时间过长,无法达到理想状态。这主要原因是没有充分达到化学与机械抛光的平衡点,为了解决这种问题,需要控制抛光液的温度。现有技术,在抛光过程中,抛光液加热装置往往为人工水浴加热或者加热器直接放入抛光液内进行加热。人工水浴的方法占用空间大,温度控制准确度差,费时费力,影响抛光效果;而加热器直接放入抛光液内,这样会破坏抛光液的化学成分,易造成抛光液的快速失效。

技术实现思路

[0004]本技术为了解决现有技术抛光液加热温度控制准确度差、占用空间大,采用人工的方式费时费力的技术问题,提供了一种自动化的循环加热装置。
[0005]本技术提供的技术方案如下:
[0006]一种循环加热装置,其特征在于,包括加热桶,所述加热桶底部设有加热控温装置,所述加热桶内嵌入有循环桶,所述循环桶设有供液管,所述供液管连有防水循环泵。在防水循环泵的作用下,抽取抛光液供抛光使用。
[0007]优选的,所述加热控温装置包括陶瓷加热器、温度传感器和温度调节器,所述陶瓷加热器与温度传感器分别与温度调节器电连接。根据温度调节器设定的温度,通过陶瓷加热器给循环桶内的抛光液加热,根据温度传感器传递的温度信号,判断是否停止加热。
[0008]优选的,所述循环桶内设有磁铁。用于吸附抛光过程产生的铁金属材料,便于络合物的收集,降低对加工表面的损伤。
[0009]优选的,所述防水循环泵设置在所述循环桶的内壁。增加了装置的美观性,更加的简单小巧。
[0010]优选的,所述防水循环泵设置在所述循环桶的外壁。增加安全性,便于检修。
[0011]优选的,所述循环桶上设有桶盖,所述桶盖上设有回收口,所述回收口下方包裹有滤网。设置桶盖防止杂物落入循环桶内,污染抛光液,造成抛光划痕;回收口用于回收抛光过程产生的废液,废液经滤网过滤,将反应过程中产生的大的颗粒物过滤掉,以防污染循环桶内的抛光液。
[0012]优选的,所述桶盖上设有搅拌机,所述搅拌机的搅拌杆设在所述循环桶的内部。搅拌机用于对循环桶内的抛光液进行低速搅拌,防止有效成分产生沉淀。
[0013]优选的,所述搅拌杆底端距离所述循环桶底部之间的距离为10~20cm。防止搅拌杆与底部距离过近,在搅拌的过程中将循环桶底部较大的颗粒带起,进而进入抛光盘中,导致抛光划痕。
[0014]通过采用以上技术手段,达到技术效果如下:
[0015](1)本技术将循环桶置于加热桶,一方面实现了抛光液自动化加热,节省人力,提高效率,且控温更加的精准,促进化学与机械的平衡,从而提高抛光效率和降低抛光缺陷;另一方面加热桶还可对循环桶进行保温,防止热量流失,节约能源。
[0016](2)循环桶通过设置磁铁,达到吸附抛光液内铁金属物质,便于络合物的收集,净化抛光液,防止抛光划痕,提高抛光液的循环利用效率。
[0017](3)本技术结构简单紧凑,占用空间小,操作简单,避免了水浴加热等的繁琐过程,有利于工作环境的干净整洁,成本低,易于推广应用。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例一结构示意图;
[0019]图2是本技术实施例二结构示意图
[0020]图中:1、加热桶;2、循环桶;2-1、桶盖;3、回收口;3-1、滤网;4、搅拌机;4-1、搅拌杆;5、防水循环泵;6、电源;7、温度调节器;8、指示灯;9、陶瓷加热器;10、温度传感器;11、磁铁;12、供液管。
具体实施方式
[0021]实施例一
[0022]如图1所示,一种循环加热装置,其特征在于,包括加热桶1,所述加热桶 1底部设有加热控温装置,所述加热控温装置包括陶瓷加热器9、温度传感器10 和温度调节器7,所述陶瓷加热器9与温度传感器10分别与温度调节器7电连接。
[0023]所述加热桶1内嵌入有循环桶2,所述循环桶2上设有桶盖2-1,所述桶盖 2-1上设有回收口3,所述回收口3下方包裹有滤网3-1。所述桶盖2-1上设有搅拌机4,所述搅拌机4的搅拌杆4-1设在所述循环桶2的内部,所述搅拌杆4-1 底端距离所述循环桶2底部之间的距离为10~20cm。所述循环桶2设有供液管 12,所述供液管12一端与防水循环泵5连接,另一端穿过桶盖2-1,所述防水循环泵5设置在所述循环桶2的内壁。所述循环桶2内设有磁铁11。
[0024]本技术在使用时,打开电源6开关,指示灯8点亮,通过温度调节器7 设定温度在28-38℃之间,此时陶瓷加热器9开始对循环桶2内的抛光液进行加热,使抛光液的温度达到28℃以上,开动抛光盘,正常抛光。温度传感器10 感应循环桶2内抛光液的温度,并将信号传递至温度调节器7,温度调节器7根据此信号,控制陶瓷加热器9的启停,如温度调节器的温度设定为32℃,当抛光液温度超过32℃时,陶瓷加热器9自动关闭,停止对抛光液的加热。
[0025]另外在抛光过程中,也会产生磨擦热,使抛光盘面温度升高,这时只要控制好抛光压力和抛光盘转速,控制抛光盘表面的温度在42℃内就可达到化学机械的平衡。
[0026]本技术在使用过程中,搅拌机4持续低速的对循环桶2内的抛光液进行搅拌,启动防水循环泵5,抽取抛光液经供液管12将抛光液传送至抛光机中。经抛光机抛光使用后
产生的抛光液经回收口3进入循环桶2中,在进入循环桶2 之前,抛光液先经滤网3-1进行过滤。
[0027]由于此设备为循环式抛光,因此对抛光液的回流过滤致关重要,因此必需在回收口3加装滤网3-1以降低抛光划痕的产生。
[0028]为了防止抛光液研磨材料的沉淀和抛光液溢出,搅拌机4,低压直流低速搅拌提高了材料的参与性,增加了安全生产性。
[0029]为了提高安全性与减少外面体积,改装为桶内低压防水循环泵5。使设备更加紧凑。
[0030]为了减少铁等金属物质对抛光材料的影响,增加了磁铁11,便于络合物的收集,降低对加工表面的损伤。
[0031]为了增加安全性,防水循环泵5可以选用低压直流泵,如佛山顶峰电子有限公司39-06型号的循环水泵。
[0032]实施例二
[0033]其他与实施例一相同,不同之处在于本技术还可将防水循环泵5设置在循环桶2外壁(如图2所示),增加安全性,同时也便于检修。
[0034]本技术不仅可以适用于蓝宝石行业,可广泛应用于玻璃、陶瓷等多种行业。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种循环加热装置,其特征在于,包括加热桶(1),所述加热桶(1)底部设有加热控温装置,所述加热桶(1)内嵌入有循环桶(2),所述循环桶(2)设有供液管(12),所述供液管(12)连有防水循环泵(5)。2.根据权利要求1所述的循环加热装置,其特征在于,所述加热控温装置包括陶瓷加热器(9)、温度传感器(10)和温度调节器(7),所述陶瓷加热器(9)与温度传感器(10)分别与温度调节器(7)电连接。3.根据权利要求1所述的循环加热装置,其特征在于,所述循环桶(2)内设有磁铁(11)。4.根据权利要求1所述的循环加热装置,其特征在于,所述防水循环泵(5)设置在所述循环桶...

【专利技术属性】
技术研发人员:张卫兴张振兴李万里
申请(专利权)人:江苏可润光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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