一种石英晶片镀膜治具一体框制造技术

本发明专利技术公开了一种石英晶片镀膜治具框，其特征在于，包括：上固定基板，下固定基板，MASK固定框，MASK/SPACER固定框，所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框设置在所述上固定基板和所述下固定基板的中间。本发明专利技术将MASK+Spacer整体设计，无层叠无缝隙，从而避免了因组装造成的晶片偏位现象，各层磁铁位均匀分布在治具板四周和以晶片工位为几何中心对称的周围位置上，使得每个工位周围的所辐射的磁力相当，最终使得安装的石英晶片位置准确稳定且不会晃动，所述石英晶片镀膜治具框可解决特超薄石英晶片镀膜，也可推广应用于较厚的石英晶片镀膜治具框的设计，可有效防止治具翘曲变形电极镀膜治具。

An integral frame for quartz wafer coating fixture

The invention discloses a quartz wafer coating fixture frame, which is characterized by: upper fixed base plate, lower fixed base plate, MASK fixed frame, MASK/SPACER fixed frame, the MASK fixed frame and the MASK/SPACER integrated frame are arranged in the middle of the upper fixed base plate and the lower fixed base plate. The invention integrates MASK+Spacer design without overlapping and seamless, thus avoiding the phenomenon of wafer offset caused by assembly. The magnet positions of each layer are evenly distributed around the fixture board and around the wafer station which is geometrically symmetrical, so that the magnetic force radiated around each station is equal, and finally the position of the installed quartz wafer is accurate, stable and does not shake. The quartz wafer coating fixture frame can solve the problem of ultra-thin quartz wafer coating, and can also be applied to the design of thicker quartz wafer coating fixture frame, which can effectively prevent warping deformation electrode coating fixture.

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶片镀膜治具一体框
本专利技术涉及镀膜工装夹具
，尤其涉及一种石英晶片镀膜治具一体框。
技术介绍
全球化将进入一个新纪元，一个由数据和连接传递信息、思想和创新的全新时代，5G将应时而生。大数据、海量连接和场景体验，满足未来更广泛的数据和连接业务需要，提升用户体验。通信网络提速也迫在眉睫，高质量高频率的基准时钟一直在研发中。故开发出高频率基本波产品具有良好的前景，但石英晶片的厚度与频率成反比，比如80MHz的频率，基本波石英晶片的厚度约20um，不足一张普通A4纸的1/5厚度，在研究这样超薄石英晶片在石英晶体谐振器设计中，根据经验，石英晶片电极镀膜治具框的设计直接决定该产品研发的成与败。故我司先设计这种超薄约20um石英晶片新型镀膜治具框。以往的成套石英晶体镀膜治具框，包含1片晶片固定框Spacer，2片电极MASK以及两片夹具盖板Holder，其中晶片固定框Spacer的厚度是根据石英晶片的厚度设计的，以20um厚度的石英晶片为例，最直接的方案：就是制造20um厚度的固定框Spacer，但是这样超薄的治具很容易翘曲、弯折、变形，无论制造加工还是后续使用操作性不强。因此，开发一种石英晶片镀膜治具框是所属
的工程技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种石英晶片镀膜治具一体框。为了达成上述目的，本专利技术的解决方案是：一种石英晶片镀膜治具一体框，包括：上固定基板，所述上固定基板为矩形，所述上固定基板设有多个方形晶片工位槽、多个磁铁工位槽、左右各一个第一定位孔和两个矩形空白窗；下固定基板，所述下固定基板与所述上固定基板形状相同，所述下固定基板上对应设置有与所述上固定基板相同的多个所述方形晶片工位槽、多个所述磁铁工位槽、两个所述矩形空白窗、左右各一个所述第一定位孔和与两个所述第一定位孔相匹配的销钉；MASK固定框，所述MASK固定框上对应所述晶片工位槽位置设置有多个MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；MASK/Spacer一体固定框，所述MASK/SPACER框上对应所述晶片工位槽位置设置有多个MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一体框设置在所述MASK固定框的下部；所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框设置在所述上固定基板和所述下固定基板的中间。优选地，所述磁铁位槽均匀分布在所述上固定基板和所述下固定基板上的多个所述方形晶片工位槽为几何中心对称的周围位置上，使每个工位周围的所辐射的磁力相当，以确保安装的石英晶片位置准确稳定且不会晃动。优选地，所述上固定基板和所述下固定基板上的多个所述磁铁工位槽分别贯穿所述上固定基板和所述下固定基板，每个所述磁铁工位槽中分别固定设置有强力磁铁。优选地，所述MASK/SPACER一体框和所述MASK固定框对应多个所述磁铁工位槽位置设置有多个镂空方槽，用于增强磁性吸附力。优选地，还包括两个第二定位孔，两个所述第二定位孔分别设置在所述上固定基板和所述下固定基板的上下侧中间位置。优选地，所述上固定基和所述下固定基板一侧的两个所述矩形空白窗并排设置并位于所述第一定位孔的两侧。优选地，两个所述第一定位孔和两个所述第二定位孔分别贯穿所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框。优选地，所述上固定基板和所述下固定基板均为不锈钢材料制做。本专利技术的优点在于：本专利技术将Spacer、MASK作为整体设计，利用两者叠加的厚度，选择合适的基板材质和厚度，不仅有效防止治具弯曲变形，同时MASK+Spacer整体设计，无层叠无缝隙，从而避免了因组装造成的晶片偏位现象，各层磁铁位均匀分布在治具板四周和以晶片工位为几何中心对称的周围位置上，使得每个工位周围的所辐射的磁力相当，最终使得安装的石英晶片位置准确稳定且不会晃动。所述石英晶片镀膜治具框可解决特超薄石英晶片镀膜，也可推广应用于较厚的石英晶片镀膜治具框的设计，可有效防止治具翘曲变形电极镀膜治具。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例平面图；图(1A)为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例下固定基板图；图(1B)为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例上固定基板图；图2为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例MASK+Spacer一体框平面图；图(2A)为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例MASK+Spacer局部剖面放大图；图3为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例MASK平面图；图(3A)为本专利技术一种石英晶片镀膜治具一体框实施例MASK局部放大图。上述说明书中附图标记表示说明：1、下固定基板；2、磁铁工位槽；3、方形晶片工位槽；4、第一定位孔；5、第二定位孔；6、矩形空白窗。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。如图1所示，本专利技术较佳的实施例中，根据现有技术存在的问题，现提供一种石英晶片镀膜治具框，包括：上固定基板，上固定基板为矩形，上固定基板设有多个方形晶片工位槽3、多个磁铁工位槽2、左右各一个第一定位孔4和两个矩形空白窗6；下固定基板1，下固定基板与上固定基板形状相同，下固定基板1上对应设置有与上固定基板相同的多个方形晶片工位槽3、多个磁铁工位槽2、两个矩形空白窗6、左右各一个第一定位孔4和与两个第一定位孔1相匹配的销钉；MASK固定框，所述MASK固定框上对应方形晶片工位槽3位置设置有多个MASK工位槽，MASK固定框位于下固定基板1的下部；MASK/Spacer一体固定框，MASK/SPACER框上对应方形晶片工位槽3位置设置有多个MASK/SPACER工位槽，MASK/SPACER一体框设置在MASK固定框的下部；MASK固定框和MASK/SPACER一体框设置在上固定基板和下固定基板1的中间。本专利技术较佳的实施例中，磁铁位槽2均匀分布在上固定基板和下固定基板1上的多个方形晶片工位槽3为几何中心对称的周围位置上，使每个工位周围的所辐射的磁力相当，以确保安装的石英晶片位置准确稳定且不会晃动。本专利技术较佳的实施例中，上固定基板和下固定基板上的多个磁铁工位槽3分别贯穿上固定基板和下固定基板1，每个磁铁工位槽2中分别固定设置有强力磁铁。本专利技术较佳的实施例中，MASK/SPACER一体框和MASK固定框对应多个磁铁工位槽2位置设置有多个镂空方槽，用于增强磁性吸附力。本专利技术较佳的实施例中，还包括两个第二定位孔，两个第二定位孔5分别设置在上固定基板和下固定基板的上下侧中间位置。本专利技术较佳的实施例中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英晶片镀膜治具一体框，其特征在于，包括：上固定基板，所述上固定基板为矩形，所述上固定基板设有多个方形晶片工位槽、多个磁铁工位槽、左右各一个第一定位孔和两个矩形空白窗；下固定基板，所述下固定基板与所述上固定基板形状相同，所述下固定基板上对应设置有与所述上固定基板相同的多个所述方形晶片工位槽、多个所述磁铁工位槽、两个所述矩形空白窗、左右各一个所述第一定位孔和与两个所述第一定位孔相匹配的销钉；MASK固定框，所述MASK固定框上对应所述方形晶片工位槽位置设置有多个MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；MASK/Spacer一体固定框，所述MASK/SPACER框上对应所述方形晶片工位槽位置设置有多个MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一体框设置在所述MASK固定框的下部；所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框设置在所述上固定基板和所述下固定基板的中间。

【技术特征摘要】
1.一种石英晶片镀膜治具一体框，其特征在于，包括：上固定基板，所述上固定基板为矩形，所述上固定基板设有多个方形晶片工位槽、多个磁铁工位槽、左右各一个第一定位孔和两个矩形空白窗；下固定基板，所述下固定基板与所述上固定基板形状相同，所述下固定基板上对应设置有与所述上固定基板相同的多个所述方形晶片工位槽、多个所述磁铁工位槽、两个所述矩形空白窗、左右各一个所述第一定位孔和与两个所述第一定位孔相匹配的销钉；MASK固定框，所述MASK固定框上对应所述方形晶片工位槽位置设置有多个MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；MASK/Spacer一体固定框，所述MASK/SPACER框上对应所述方形晶片工位槽位置设置有多个MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一体框设置在所述MASK固定框的下部；所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框设置在所述上固定基板和所述下固定基板的中间。2.根据权利要求1所述的一种石英晶片镀膜治具一体框，其特征在于，所述磁铁位槽均匀分布在所述上固定基板和所述下固定基板上的多个所述方形晶片工位槽为几何中心对称的周围位置上，使每个工位周围的所辐射的磁力相当...

【专利技术属性】
技术研发人员：辜达元，郭正江，周万华，
申请(专利权)人：杭州鸿星电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33