一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及光学真空镀膜领域，具体涉及一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，包括长方形的下载板和上盖板，下载板上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽，导水槽的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔，基片载孔包括由上而下的同中心轴圆柱形容置腔和喇叭形开口，圆柱形容置腔半径大于喇叭形开口顶部半径；下载板四角开有相同的螺纹固定通孔，上盖板为与下载板水平面镜向对称结构，下载板与上盖板通过穿过对应的螺纹固定通孔的连接件固定连接。本实用新型专利技术设计巧妙，将基片超声波清洗和镀膜夹具融为一体，免除基片在重复清洗和镀膜过程中的多次上盘和下盘操作，节省时间，提高效率，且不会造成基片损伤。本实用新型专利技术具有潜在市场价值。

【技术实现步骤摘要】
一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具
本技术涉及光学真空镀膜领域，具体涉及一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具。
技术介绍
二十一世纪是光的世纪，光学薄膜一直在光学领域默默地扮演者重要角色。不论是在传统光学、激光光学、还是在光线通信技术中，光学薄膜都发挥着不可替代的作用。由于光学技术的飞速发展，带动了光学薄膜技术的迅速发展，同时也对产品的质量和成本提出了越来越高的要求。光学真空镀膜由基片经过多次超声波清洗和镀膜工序组合完成，在传统的镀膜工序中，基片需要在清洗夹具和镀膜夹具中不停的更换，容易造成污染和损伤，并降低工作效率；而且清洗夹具的设计使清洗的超纯水容易产生残留，镀膜夹具的设计使产品边缘膜层不均匀，这些容易使产品产生残次品。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是如何克服现有技术存在的不足，提供一种清洗与镀膜夹具合二为一、清洗液无残留且镀膜均匀的厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具。本技术的技术解决方案是：一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，包括长方形的下载板和上盖板，所述下载板上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽，所述导水槽的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔，所述基片载孔包括由上而下的同中心轴的圆柱形容置腔和喇叭形开口，所述圆柱形容置腔半径大于所述喇叭形开口顶部半径；所述下载板四角开有相同的螺纹固定通孔，所述上盖板为与所述下载板水平面镜向对称结构，所述下载板与上盖板通过穿过对应的所述螺纹固定通孔的连接件固定连接。进一步的，所述导水槽的深度为0.3mm，所述圆柱形容置腔的深度为0.5mm。进一步的，所述喇叭形开口的扩张角度为45～60°。进一步的，所述下载板的螺纹固定通孔上部开有同轴圆形定位孔，所述上盖板的螺纹固定通孔下部开有与所述下载板相同的同轴圆形定位孔。进一步的，所述同轴圆形定位孔深度为0.5mm。进一步的，所述连接件包括螺母和与所述螺母匹配的两个上下螺丝，所述螺母上下端分别卡合在所述上盖板与下载板的同轴圆形定位孔内，所述上螺丝从所述上盖板的上部拧入所述上盖板的螺纹固定通孔后，拧入所述螺母中固定，所述下螺丝从所述下载板下部拧入所述下载板的螺纹固定通孔后，拧入所述螺母中固定；所述螺母厚度与基片厚度相同。本技术将光学真空镀膜设备的超声波清洗夹具与镀膜夹具进行了整合，使夹具既可以适用于清洗设备，也可以适用于镀膜设备；并且夹具连接件的设计可以适用不同厚度的基片，并通过导水槽和基片载孔喇叭口的设计防止清洗和慢拉烘干过程中清洗超纯水的残留，基片载孔喇叭口设计也能有效避免产品膜层边缘不均匀现象。在清洗和镀膜整个过程中，基片只需要一次上下盘，不需要重复上下盘，避免了多次操作造成二次污染和损伤问题，提高了生产效率。本技术具有潜在的市场价值。附图说明下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。图1为本技术公开的一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具下载板示意图；图2为图1的A-A剖示图；图3为图2的A部分放大图；图4为图1的B-B剖示图；图5为本技术公开的一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具装配时的B-B剖示图；图6为本技术公开的一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具装配后A-A剖示图。具体实施方式以下参照附图和实施例，详细说明本技术一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具。如图5、6所示，一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，包括长方形的下载板1和上盖板2，如图1、2、3所示，所述下载板1上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽3，所述导水槽3的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔4，所述基片载孔4包括由上而下的同中心轴的圆柱形容置腔41和喇叭形开口42，所述圆柱形容置腔41半径R1大于所述喇叭形开口42顶部半径R2；所述下载板1四角开有相同的螺纹固定通孔5，所述上盖板2为与所述下载板1水平面镜向对称结构，所述下载板1与上盖板2通过穿过对应的所述螺纹固定通孔5的连接件固定连接。所述导水槽3的深度H1为0.3mm，所述圆柱形容置腔41的深度H2为0.5mm。所述喇叭形开口42的扩张角度α为45～60°。如图4、5所示，所述下载板1的螺纹固定通孔5上部开有同轴圆形定位孔71，所述上盖板2的螺纹固定通孔5下部开有与所述下载板1相同的同轴圆形定位孔72。所述同轴圆形定位孔71、72深度H3为0.5mm。所述连接件包括螺母61和与所述螺母61匹配的两个上下螺丝62、63，所述螺母61上下端分别卡合在所述上盖板2与下载板1的同轴圆形定位孔72、71内，所述上螺丝62从所述上盖板2的上部拧入所述上盖板2的螺纹固定通孔5后，拧入所述螺母61中固定，所述下螺丝63从所述下载板1下部拧入所述下载板1的螺纹固定通孔5后，拧入所述螺母61中固定；所述螺母61厚度与基片8厚度相同。本技术在使用时，将与圆柱形容置腔41半径相同的基片8放入下载板1中的圆柱形容置腔41中，盖合上盖板2，由于喇叭形开口42顶部半径R2小于圆柱形容置腔41半径R1，基片8被卡合在下载板1和上盖板2相配合的两个圆柱形容置腔41内，通过穿过上盖板2的螺纹固定通孔5的上螺丝62、穿过下载板1的螺纹固定通孔5的下螺丝63和螺母61固定连接下载板1和上盖板2，将基片8卡紧。如图2、3、6所示，在进行超声波清洗时，由于下载板1上表面和上盖板2下表面设有格子形导水槽3，并且导水槽3深度H1为0.3mm，只比圆柱形容置腔41深度H2的0.5mm浅0.2mm，有利于基片8清洗超纯水在夹具内侧表面排泄及烘干，下载板1下表面和上盖板2上表面设有喇叭形开口42，也有利于基片8清洗超纯水在夹具外侧表面排泄及烘干，因此可以有效避免水残留。喇叭形开口42的扩张角度α的选择45～60°可有效防止基片膜层边缘的不均匀，下载板2和上盖板1相同的水平面镜向对称结构，有利于基片镀膜后两个面膜层外观的特性一致。上盖板2的螺纹固定通孔5下部的同轴圆形定位孔72与下载板1的螺纹固定通孔5上部的同轴圆形定位孔71与螺母61的卡合，可有效提高下载板1和上盖板2的同轴度。本技术上盖板2与下载板1完合接触闭合连接后，两个圆柱形容置腔41形成的空间深度H2加H2为1mm，小于或等于基片8厚度，以夹紧基片8，若基片8厚度小于1mm，则不能夹紧基片8，所以本技术中基片8厚度大于等于1mm。如果基片8呈大于或等于1mm的不同的厚度，则可以改用与基片8相同厚度的螺母61，以及与螺母61相匹配的两个上下螺丝62、63，则可以适应不同基片8的夹持需要。上述实施例只是为了说明本技术的技术构思及特点，其目的是在于让本领域内的普通技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡是根据本
技术实现思路
的实质所做出的等效的变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，其特征在于：包括长方形的下载板和上盖板，所述下载板上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽，所述导水槽的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔，所述基片载孔包括由上而下的同中心轴的圆柱形容置腔和喇叭形开口，所述圆柱形容置腔半径大于所述喇叭形开口顶部半径；所述下载板四角开有相同的螺纹固定通孔，所述上盖板为与所述下载板水平面镜向对称结构，所述下载板与上盖板通过穿过对应的所述螺纹固定通孔的连接件固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，其特征在于：包括长方形的下载板和上盖板，所述下载板上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽，所述导水槽的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔，所述基片载孔包括由上而下的同中心轴的圆柱形容置腔和喇叭形开口，所述圆柱形容置腔半径大于所述喇叭形开口顶部半径；所述下载板四角开有相同的螺纹固定通孔，所述上盖板为与所述下载板水平面镜向对称结构，所述下载板与上盖板通过穿过对应的所述螺纹固定通孔的连接件固定连接。2.根据权利要求1所述的一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，其特征在于：所述导水槽的深度为0.3mm，所述圆柱形容置腔的深度为0.5mm。3.根据权利要求1所述的一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，其特征在于：所述喇叭形开口的扩张角度为4...

【专利技术属性】
技术研发人员：迟玉洲，杨波，
申请(专利权)人：青岛韬谱光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37