The invention discloses a preparation method of diamond film on the surface of harmonic reducer. First, the surface of harmonic reducer is cleaned by ultrasonic cleaning and ion cleaning, and then a layer of tungsten-titanium solid lubrication film is formed on the surface of moving parts by physical vapor deposition (PVD). By doping tungsten and titanium elements in the lubrication film, the advantages and disadvantages of the two doping elements are complemented. High performance lubrication film with low friction coefficient and wear rate can be obtained on the surface of harmonic reducer, which has great application prospects.
【技术实现步骤摘要】
一种谐波减速器表面金刚石薄膜的制备方法
本专利技术属于表面改性
，更具体地，涉及一种谐波减速器表面金刚石薄膜的制备方法。
技术介绍
由于空间机械中各种运动部件地面存贮与试验的要求，以及发射阶段苛刻的工况条件、工作环境的特殊性和在轨服役时的高可靠性要求，其润滑问题比地面一般机械的润滑要更为复杂。谐波减速器要获得良好的润滑性能需考虑低蒸汽压、超低挥发；良好的润滑与防真空冷焊性能；宽的温度使用范围；可兼顾地面贮存和试验考核的要求；抗原子氧侵蚀；以及高可靠和长寿命的使用要求。金刚石薄膜是一种利用气相沉积方法在较大面积或复杂形状零件表面上形成的薄膜，其物理性能和天然金刚石非常接近，而化学性质则完全相同。金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、抗热冲击、高热导、低热膨胀系数、化学惰性等优异性能，被国际材料界誉为决定2l世纪技术潜力的战略材料。近年来，金刚石薄膜已成为世界上一些发达国家新技术角逐的重点之一，在高新技术工业领域有着广泛的应用前景。然而纯的金刚石固体润滑薄膜内应力大、膜/基结合力差、热稳定性差、脆性大等问题，人们已经研制了多种方法来改善金刚石固体润滑薄膜性能，如在金...
【技术保护点】
1.一种谐波减速器表面金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.先对谐波减速器的表面进行清洗；S2.然后对谐波减速器的表面进行离子轰击；S3.向真空室内通入氩气，采用离子束增强沉积的物理气相沉积法，用Ar离子束，以45°的角入射溅射靶材，靶材为含金刚石、钛、钨的复合材料，谐波减速器安装在样品台，样品台以10～30r/min的角速度自转，沉积时间为1～3h。
【技术特征摘要】
1.一种谐波减速器表面金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.先对谐波减速器的表面进行清洗；S2.然后对谐波减速器的表面进行离子轰击；S3.向真空室内通入氩气，采用离子束增强沉积的物理气相沉积法，用Ar离子束，以45°的角入射溅射靶材，靶材为含金刚石、钛、钨的复合材料，谐波减速器安装在样品台，样品台以10～30r/min的角速度自转，沉积时间为1～3h。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S1所述清洗为分别进行丙酮超声波清洗和乙醇超声清洗，清洗超声的温度在40℃～80℃，超声的时间为...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾晖，林顺蛟，李瑞，李金辉，
申请(专利权)人：佛山市南海区里水镇经济促进局，中山大学，
类型：发明
国别省市：广东,44
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