一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法技术

技术编号:20415772 阅读:37 留言:0更新日期:2019-02-23 05:47
本发明专利技术涉及镀膜技术领域,具体地说是一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法。一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法,包括基材、金属底层、TAC薄膜层,其特征在于:具体步骤如下:S1:在基材的表面使用单极脉冲磁控溅射镀膜技术镀一层导电的金属底层;S2:在金属底层的表面运用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层。同现有技术相比,使用常温下的FCVA技术,在非耐高温基材上镀一层类金刚石涂层,达到高耐磨的性能。FCVA技术可以在室温下沉积,又具有高耐磨性等特点,所以将其应用到非耐高温的产品上,可以大大提升产品的耐磨性。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法
本专利技术涉及镀膜
,具体地说是一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法。
技术介绍
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等真空镀膜一般都需要一定的高温条件下才能进行,并且因类金刚石薄膜的高硬度,导致此薄膜并不能良好沉积在塑料等基材上。
技术实现思路
本专利技术为克服现有技术的不足,采用纳峰国际专利的FCVA过滤阴极真空电弧技术,镀膜粒子为100%离化的等离子。在无需加热被镀工件的条件下,经过电磁场交互作用后,F本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法,包括基材、金属底层、TAC薄膜层,其特征在于:具体步骤如下:S1:在基材的表面使用单极脉冲磁控溅射镀膜技术镀一层导电的金属底层;S2:在金属底层的表面运用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层。

【技术特征摘要】
1.一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法,包括基材、金属底层、TAC薄膜层,其特征在于:具体步骤如下:S1:在基材的表面使用单极脉冲磁控溅射镀膜技术镀一层导电的金属底层;S2:在金属底层的表面运用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层。2.根据权利要求1所述的一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法,其特征在于:所述的基材为塑料、橡胶等低耐温材料中的一种。3.根据权利要求1所述的一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制...

【专利技术属性】
技术研发人员:史旭唐智
申请(专利权)人:纳峰真空镀膜上海有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

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