The present disclosure provides a composite substrate comprising: an Apical substrate; a DLC film resistive material layer formed on the Apical substrate; a metal transition layer formed on the DLC film resistive material layer; and a copper film layer formed on the metal transition layer. The present disclosure also provides a preparation method of composite substrates, including: deposition of DLC film resistive material layer by sputtering on the surface of Apical substrate; sputtering deposition of chromium film material and chromium-copper co-doped film material on the surface of DLC film resistive material layer to form metal transition layer; and sputtering deposition of copper film layer on the surface of the metal transition layer.
【技术实现步骤摘要】
一种复合基材及其制备方法
本公开涉及微结构气体探测器领域，尤其涉及一种复合基材及其制备方法。
技术介绍
微结构气体探测器(MPGD)由于计数率能力高、易于大面积制作以及造价便宜等优点而被广泛应用于当前的大型核与粒子物理实验中。随着实验技术的不断发展，对撞机能量和亮度在不断提高，探测器的工作环境越来越苛刻，工作过程中会频繁出现打火放电，造成探测器和前端电子学的损坏。通过使用阻性电极替代探测器中原有的金属电极，能够有效的抑制探测器的打火放电、提高探测器长时间工作的稳定性，拓展微结构气体探测器的应用范围。基于类金刚石碳基薄膜的阻性电极是一种新型的阻性电极，与传统的使用碳浆料制备的阻性电极相比，具有与基底结合力好、机械强度高、抗打火能力强，电阻值容易调控，等优点，此外类金刚石碳基薄膜本身还具有很好的物理和化学稳定性，能够承受很多复杂的探测器加工制作工艺，因此已经在微结构气体探测器领域得到了一定的应用。目前用于微结构气体探测器的类金刚石碳基薄膜阻性电极是基于一种在APICAL上镀类金刚石碳基薄膜的基材制备出的。然而在探测器的加工制作过程中，申请人发现这种基材存在两个较为明显...
【技术保护点】
1.一种复合基材，其特征在于，包括：Apical基底；DLC薄膜阻性材料层，形成于所述Apical基底上；金属过渡层，形成于所述DLC薄膜阻性材料层上；铜薄膜层，形成于所述金属过渡层上。
【技术特征摘要】
1.一种复合基材，其特征在于，包括：Apical基底；DLC薄膜阻性材料层，形成于所述Apical基底上；金属过渡层，形成于所述DLC薄膜阻性材料层上；铜薄膜层，形成于所述金属过渡层上。2.如权利要求1所述的复合基材，其特征在于，所述金属过渡层包括：铬薄膜层以及形成于铬薄膜层上的铬铜共掺薄膜层。3.一种复合基材的制备方法，其特征在于，包括：步骤S1：在Apical基底表面溅射沉积DLC薄膜阻性材料层；步骤S2：在所述DLC薄膜阻性材料层表面溅射沉积铬薄膜材料以及铬铜共掺薄膜材料，形成金属过渡层；以及步骤S3：在所述金属过渡层表面溅射沉积铜薄膜层。4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1包括：子步骤S1a：对Apical基底进行预处理；子步骤S1b：溅射清洗石墨靶材表面；子步骤S1c：装夹APICAL基底；子步骤S1d：轰击、刻蚀APICAL基底表面；以及子步骤S1e：在Apical基底表面溅射沉积DLC薄膜阻性材料层。5.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2包括：子步骤S...
【专利技术属性】
技术研发人员：周意，吕游，尚伦霖，张广安，鲁志斌，刘建北，张志永，丰建鑫，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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