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本发明公开了一种谐波减速器表面金刚石薄膜的制备方法；先通过超声清洗、离子清洗清洁谐波减速器的表面，再利用物理气相沉积法（PVD）在运动件表面形成一层含钨钛的金刚石固体润滑薄膜，通过在润滑薄膜中同时掺杂钨和钛元素，两种掺杂元素的取长补短，在谐...
该专利属于佛山市南海区里水镇经济促进局;中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市南海区里水镇经济促进局;中山大学授权不得商用。

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