一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法。所述干涉滤色器，包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板；所述软介质为可挤压的聚合物；所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸出高度的柱状纹理；所述柱状纹理的顶部与所述上层基板相接触。本发明专利技术提供的干涉滤色器通过利用施加到相邻电极的电势来调控空气间隙，可以在整个可见范围内获得干涉色，因此不再需要子像素的存在；且该干涉滤色器制备工艺简单，可实现批量化生产。

An interference filter driven by voltage tunable and its preparation method

The invention relates to a voltage tunable driving interference color filter and a preparation method thereof. The interference filter comprises a substrate, a bottom electrode E1, a soft medium, a top electrode E2 with a perforated structure, an optical cavity and an upper substrate arranged sequentially from bottom to top; the soft medium is a squeezable polymer; the soft medium extends through the perforated structure to form a columnar texture with the same protruding height at the top; and the top of the columnar texture and the upper substrate phase. Contact. The interference color filter provided by the invention can obtain the interference color in the whole visible range by adjusting the air gap by using the potential applied to the adjacent electrodes, so the existence of sub-pixels is no longer needed; moreover, the preparation process of the interference color filter is simple, and the batch production can be realized.

【技术实现步骤摘要】
一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法
本专利技术属于显示及智能窗户领域，具体涉及一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法。
技术介绍
显示及智能窗户领域中需要用可调干涉滤波器才能实现。其中一种可以获得低功耗的反射全色显示器的方法是基于Iridigm显示技术公司（后来合并到了高通公司Qualcomm）开发的微机电系统（MEMS）技术的干涉调制器显示器（IMOD）。IMOD使用光学干涉现象来生成/过滤颜色。通常，它使用具有两种状态金属（铝）膜，一种是黑色的塌陷状态，另一种是颜色取决于空隙间隔的非塌陷状态。但是，这个间隙是不可调谐的，所以颜色也就不可调。这样的显示器要求每个像素必须由几个子像素构成。这其中不包含复杂的双电容器系统。然而，其制备工艺极其复杂，导致产量很低，因此IMOD并不是主流的技术。因此，可发一种间隙可调的干涉滤色器具有重要的研究意义和应用价值。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中干涉滤色器的间隙不可调的缺陷和不足，提供一种电压可调谐驱动的干涉滤色器。本专利技术提供的干涉滤色器通过利用施加到相邻电极的电势来调控空气间隙，可以在整个可见范围内获得干涉色，因此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电压可调谐驱动的干涉滤色器，其特征在于，包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板；所述软介质为可挤压的聚合物；所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸出高度的柱状纹理；所述柱状纹理的顶部与所述上层基板相接触。

【技术特征摘要】
1.一种电压可调谐驱动的干涉滤色器，其特征在于，包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板；所述软介质为可挤压的聚合物；所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸出高度的柱状纹理；所述柱状纹理的顶部与所述上层基板相接触。2.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物为介电弹性体或凝胶。3.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物的厚度为1~20μm。4.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物具有液晶组分。5.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述聚合物具有纳米或微米颗粒中的一种或几种；所述纳米或微米颗粒为软状或固状。6.根据权利要求1所述干涉滤色器，其特征在于，所述衬底为刚性或柔性衬底；所述底部电极E1为薄膜状导电材料；所述光腔为空腔；所述顶部电极E2为导电薄膜；所述上层基板为透明基板。7.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：埃泽尔·马丁·阿金诺古，保罗·马尔瓦尼，克日什托夫·坎帕，迈克尔·吉尔森，
申请(专利权)人：肇庆市华师大光电产业研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44