光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备制造方法及图纸

提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。

【技术实现步骤摘要】
光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备相关申请的交叉参考2013年7月26日申请的日本专利申请No.2013-155345的全部公开内容结合于此作为参考。
本专利技术涉及光学滤波器装置、光学模块、电子设备以及MEMS设备。
技术介绍
现有技术中，已知有在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙分别相对配置有反射膜的干涉滤波器、在基板上配置有反射膜的反射镜元件以及在基板上配置有水晶振动片等压电体的压电振动元件等各种MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)元件。并且已知有将这样的MEMS元件容纳在容纳用容器内的MEMS设备(例如参考专利文献1)。在专利文献1中记载有具有板状的底座和圆筒状的盖的组件(壳体)的红外气体检测仪(光学滤波器装置)。该壳体的底部基板的周缘部分与盖的圆筒一端部焊接或粘合地连接，在底部基板与盖之间设置容纳法布里-珀罗滤波器(干涉滤波器)的空间。该干涉滤波器在构成该干涉滤波器的基板的下表面侧被粘合固定。如上所述，专利文献1所记载的干涉滤波器在基板的下表面侧被粘合固定，在与基板的厚度方向正交的面方向与粘合剂粘合。粘合剂通常在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及设置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一个的基板；壳体，具有能够容纳所述干涉滤波器的内部空间；以及固定部，将所述干涉滤波器固定于所述壳体，所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间。

【技术特征摘要】
2013.07.26 JP 2013-1553451.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及设置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一个的基板；壳体，具有能够容纳所述干涉滤波器的内部空间；以及固定部，将所述干涉滤波器固定于所述壳体，所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间。2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，所述干涉滤波器具备第一基板和第二基板作为所述基板，所述第一基板设置有所述第一反射膜，所述第二基板与所述第一基板相对并设置有所述第二反射膜，所述固定部设置在所述第一基板和所述第二基板中的任意一方的所述侧面。3.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板中的任意一个基板在从厚度方向观察到的所述基板的俯视观察中具有向另一个基板突出的突出部，所述固定部设置于所述突出部。4.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于，所述第二基板具备：可动部，所述可动部设置有所述第二反射膜；以及保持部，所述保持部使所述可动部在所述厚度方向上能够位移地保持所述可动部，所述固定部设置在所述第一基板的所述侧面。5.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，所述侧面的一部分构成平面形状的第一侧面，所述固定部设置在所述第一侧面。6.根据权利要求5所述的光学滤波器装置，其特征在于，所述基板在从基板厚度方向观察到的该基板的俯视观察中，在沿着该基板的外周缘的一部分上具备电装部，所述电装部具有与设置于所述壳体的壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP