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本发明涉及一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法。所述干涉滤色器,包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板;所述软介质为可挤压的聚合物;所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸...该专利属于肇庆市华师大光电产业研究院所有,仅供学习研究参考,未经过肇庆市华师大光电产业研究院授权不得商用。
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本发明涉及一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法。所述干涉滤色器,包括从下至上依次设置的衬底、底部电极E1、软介质、具有穿孔结构的顶部电极E2、光腔和上层基板;所述软介质为可挤压的聚合物;所述软介质延伸穿过所述穿孔结构形成顶部具有相同凸...