The invention discloses a microscope for synchronously detecting the three-dimensional morphology and photoelectric properties of small micro-light-emitting diodes. The linearly polarized light emitted by the light source is divided into two beams of polarized vertical light after passing through the first half wave plate and polarized beam splitter prism; one beam of the light is reflected by the beam splitter, and then passes through the first lens, the non-polarized beam splitter and the objective lens in turn, and the sample reflects on the surface in parallel. After reflected by a non-polarized beam splitter prism, the beam is collimated by the third lens as a plane wave incident camera as an object beam. After the other beam passes through a quarter-wave plate and is reflected by the third mirror, it passes through the second mirror reflection, the second lens convergence, the transmission of the non-polarized beam splitter prism and the collimation of the third lens to the first camera in turn. The interference with the object beam produces the surface information of the sample. Interference fringes. The beneficial effect of the present invention is that the digital holographic microscope has fast imaging speed and can realize high-speed and accurate detection of sample morphology, photoelectric performance and poor sample growth.
【技术实现步骤摘要】
同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜
本专利技术属于显微镜
,涉及使用新型数字全息显微镜对微小尺寸发光二极管(MicroLED/miniLED)的三维形貌检测和光电性能检测。
技术介绍
现有LED在生产过程中质量检测主要是使用人工或远心镜头,由于主流芯片尺寸大约1mm左右,以上检测方法完全能满足需求。但近年小尺寸LED(microLED/miniLED)的产生对检测设备和方法提出了新的要求,其尺寸在0.1mm以下甚至达几微米。本专利技术提出使用数字全息显微镜配合不同物镜来检测LED三维形貌的方法,LED可同时点亮后加配红外相机进行热成像测量从而筛选不良材料。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜,本专利技术的有益效果是由于数字全息显微镜成像速度快,可以实现对样品形貌、光电性能和样品生长不良的高速精确检测。本专利技术所采用的技术方案是光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波;其中一束经过分光棱镜反射后依次经过第一透镜、非偏振分光棱镜和物镜后平行出射于样品表面,样品反射光经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束,另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束,此路光穿过四分之一波片经第三反射镜反射后,再次透过四分之一波片和偏振分光棱镜,依次经过第二反射镜反射、第二透镜会聚、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射第一相机,与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经第一相机数字转化后,传输入计算机,进行数字重建从而获得样品三维信息。进一步,样品 ...
【技术保护点】
1.同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜,其特征在于:光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波;其中一束经过分光棱镜反射后依次经过第一透镜、非偏振分光棱镜和物镜后平行出射于样品表面,样品反射光经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束,另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束,此路光穿过四分之一波片经第三反射镜反射后,再次透过四分之一波片和偏振分光棱镜,依次经过第二反射镜反射、第二透镜会聚、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射第一相机,与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经第一相机数字转化后,传输入计算机,进行数字重建从而获得样品三维信息。
【技术特征摘要】
1.同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜,其特征在于:光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波;其中一束经过分光棱镜反射后依次经过第一透镜、非偏振分光棱镜和物镜后平行出射于样品表面,样品反射光经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束,另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束,此路光穿过四分之一波片经第三反射镜反射后,再次透过四分之一波片和偏振分光棱镜,依次经过第二反射镜反射、第二透镜会聚、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射第一相机,与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经第一相机数字转化后,传输入计算机,进行数字重建从而获得样品三维信息。2.按照权利要求1所述同步检测小微发光二极管三维形貌...
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