【技术实现步骤摘要】
一种双波长反射式数字全息显微镜
本技术属于显微镜
,涉及一种双波长反射式数字全息显微镜。
技术介绍
在现有双波长数字全息显微镜中,普遍使用马赫曾德干涉仪结构以达到便于调整的目的,其干涉结构较迈克尔逊干涉仪而言较为复杂和体积较大,无法达到某些微小和高集成度的应用场景。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种双波长反射式数字全息显微镜,本技术的有益效果是相较于现有单波长数字全息显微镜可以显著提高垂直扫描范围和简化运算过程。比现有双波长数字全息显微镜更加紧凑和便于集成。本技术涉及数字全息显微镜领域,可用于样品的三维实时形貌测量。本技术所采用的技术方案是包括第一光源、第二光源,第一光源、第二光源为两束波长有差别的线偏振光源,第一光源的线偏振方向平行于光路平面,第二光源的线偏振方向垂直于光路平面;第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为透射光和反射光,透射光经透镜和物镜后入射到样品表面,携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束;反射光透过第二偏振分光棱镜后被第一延时系统进行180度反射,经第一二分之一波片偏转偏振方向后经第一反射镜和第二反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机,参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取后传输入系统外部计算机进行处理;第二光源发出的光经第一偏振分光棱镜折射后,偏振方向垂直于光路平面的光束同样被分光棱镜分为参考光和物光两束光,透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面,携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束,反射光经第二偏振分光棱镜折射后经第二二分之一波片偏转偏振 ...
【技术保护点】
1.一种双波长反射式数字全息显微镜,其特征在于:包括第一光源、第二光源,第一光源的线偏振方向平行于光路平面,第二光源的线偏振方向垂直于光路平面;第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为透射光和反射光,透射光经透镜和物镜后入射到样品表面,携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束;反射光透过第二偏振分光棱镜后被第一延时系统进行180度反射,经第一二分之一波片偏转偏振方向后经第一反射镜和第二反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机,参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取;第二光源发出的光经第一偏振分光棱镜折射后,偏振方向垂直于光路平面的光束同样被分光棱镜分为参考光和物光两束光,透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面,携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束,反射光经第二偏振分光棱镜折射后经第二二分之一波片偏转偏振方向,被第二延时系统进行180度反射,经第三反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机,参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取。
【技术特征摘要】
1.一种双波长反射式数字全息显微镜,其特征在于:包括第一光源、第二光源,第一光源的线偏振方向平行于光路平面,第二光源的线偏振方向垂直于光路平面;第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为透射光和反射光,透射光经透镜和物镜后入射到样品表面,携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束;反射光透过第二偏振分光棱镜后被第一延时系统进行180度反射,经第一二分之一波片偏转偏振方向后经第一反射镜和第二反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机,参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取;第二光源发出的光经第一偏振分光棱镜折射后,偏振方向垂直于光路平面的光束同样被分光棱镜分为参考光和物光两束光,透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面,携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束,反射光经第二偏振分光棱镜折射后经第二二分之一波片偏转偏振方向,被第二延时系统进行180度反射,经第三反射镜...
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