一种真空系统技术方案

本发明专利技术涉及抽真空技术领域，尤其涉及一种真空系统，包括第一真空腔和第二真空腔，第一真空腔的下方设置有第一真空泵，第一真空腔与第一真空泵之间设置有第一真空管，第一真空腔与第一真空泵通过第一真空管连通，第二真空腔的下方设置有第二真空泵，第二真空腔与第二真空泵之间设置有第二真空管，第一真空腔和所述第二真空泵之间设置有第三真空管，第三真空管的中部设置有第一电磁阀和用于控制第一电磁阀工作的第一控制器，第一真空腔内设置有真空检测器，真空检测器与第一控制器电连接，本发明专利技术真空系统在第一真空泵异常停机状态下，使用第二真空泵同时对两个腔室抽真空，通过第二真空泵的运作继续进行生产，从而提高系统的运作时间，提升产能。

A Vacuum System

The invention relates to the technical field of vacuum pumping, in particular to a vacuum system, including a first vacuum chamber and a second vacuum chamber. A first vacuum pump is arranged below the first vacuum chamber, a first vacuum tube is arranged between the first vacuum chamber and the first vacuum pump, a first vacuum chamber and the first vacuum pump are connected through the first vacuum tube, and a second vacuum pump is arranged below the second vacuum chamber. A second vacuum tube is arranged between the second vacuum chamber and the second vacuum pump, a third vacuum tube is arranged between the first vacuum chamber and the second vacuum pump, a first solenoid valve and a first controller for controlling the operation of the first solenoid valve are arranged in the middle of the third vacuum tube, a vacuum detector is arranged in the first vacuum chamber, and the vacuum detector is electrically connected with the first controller. Under the abnormal shutdown state of the first vacuum pump, the second vacuum pump is used to vacuum two chambers at the same time, and the production is continued through the operation of the second vacuum pump, so as to improve the operation time of the system and productivity.

【技术实现步骤摘要】
一种真空系统
本专利技术涉及抽真空
，尤其涉及一种真空系统。
技术介绍
现有的大部分电子元器件加工需要在真空环境下进行，现有企业采用的真空系统大多数为多腔室真空系统，在多腔室的真空系统中，通常采用独立的真空泵对某一腔室抽真空，通过不断改变泵内吸气空腔的体积，使被抽腔室内气体的体积不断膨胀，从而获得需要的真空环境，长时间的运转会使真空泵由于温度异常或背压高等原因异常停机，导致相应的腔室也停止工作，无法进行生产，影响生产产能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足提供一种真空系统，本专利技术真空系统在第一真空泵异常停机状态下，使用第二真空泵同时对两个腔室抽真空，使得第一腔室不会因第一真空泵的异常停机而停机，在第一真空泵修复过程中，通过第二真空泵的运作继续进行生产，从而提高整个系统的可运作时间，提升产能。本专利技术是通过以下技术方案来实现的，一种真空系统，包括第一真空腔和第二真空腔，所述第一真空腔的下方设置有第一真空泵，所述第一真空腔与第一真空泵之间设置有第一真空管，所述第一真空腔与第一真空泵通过第一真空管连通，所述第二真空腔的下方设置有第二真空泵，所述第二真空腔与第二真空泵之间设置有第二真空管，所述第二真空腔与第二真空泵通过第二真空管连通，所述第一真空腔和所述第二真空泵之间设置有第三真空管，所述第三真空管的一端与第二真空泵连通，所述第三真空管的另一端与第一真空管连通，位于第三真空管的中部设置有第一电磁阀和用于控制第一电磁阀工作的第一控制器，所述第一真空腔内设置有真空检测器，所述真空检测器与第一控制器电连接。作为优选，所述第三真空管与第一真空管的连接处设置有第二电磁阀和用于控制第二电磁阀工作的第二控制器，所述第二电磁阀内设置有第一通道和第二通道，所述第一通道的上端和下端分别与第一真空管连通，所述第一通道和所述第二通道垂直设置，所述第二通道的一端和第一通道连通，所述第二通道的另一端与第三真空管连通，所述第二通道与第一通道的连通处设置有阻挡阀门，所述阻挡阀门与第二控制器电连接。作为优选，所述第二真空管的中部设置有第三电磁阀和用于控制第三电磁阀工作的第三控制器。作为优选，所述第一真空泵的旁侧设置有用于给第一真空泵降温的第一工作液冷却系统，所述第二真空泵的旁侧设置有用于给第二真空泵降温的第二工作液冷却系统，所述第一工作液冷却系统与所述第二工作液冷却系统结构相同。作为优选，所述第一工作液冷却系统包括第一冷却水罐，所述第一冷却水罐与第一真空泵之间设置有进水管和出水管，所述进水管的两端和所述出水管的两端分别与第一冷却水罐、第一真空泵连通，所述第一冷却水罐、第一真空泵、进水管、出水管形成封闭的循环管路。作为优选，所述第一冷却水罐内设置有温度传感器，所述第一真空泵的进水口和出水口分别设置有第四电磁阀和第五电磁阀，所述第四电磁阀和第五电磁阀分别与温度传感器电连接。作为优选，所述第一真空泵的下端和所述第二真空泵的下端均设置有废气处理装置。本专利技术的有益效果：一种真空系统，包括第一真空腔和第二真空腔，所述第一真空腔的下方设置有第一真空泵，所述第一真空腔与第一真空泵之间设置有第一真空管，所述第一真空腔与第一真空泵通过第一真空管连通，所述第二真空腔的下方设置有第二真空泵，所述第二真空腔与第二真空泵之间设置有第二真空管，所述第二真空腔与第二真空泵通过第二真空管连通，所述第一真空腔和所述第二真空泵之间设置有第三真空管，所述第三真空管的一端与第二真空泵连通，所述第三真空管的另一端与第一真空管连通，位于第三真空管的中部设置有第一电磁阀和用于控制第一电磁阀工作的第一控制器，所述第一真空腔内设置有真空检测器，所述真空检测器与第一控制器电连接，本专利技术真空系统在第一真空泵异常停机状态下，使用第二真空泵同时对两个腔室抽真空，使得第一腔室不会因第一真空泵的异常停机而停机，在第一真空泵修复过程中，通过第二真空泵的运作继续进行生产，从而提高整个系统的可运作时间，提升产能。附图说明图1为本专利技术真空系统实施例一的结构示意图。图2为本专利技术真空系统实施例二的结构示意图。图3为本专利技术第二电磁阀11的剖面结构示意图。图4为本专利技术第一工作液冷却系统的结构示意图。具体实施方式下面结合附图1至附图4，以及具体实施方式对本专利技术做进一步地说明。如图1所示，一种真空系统，包括第一真空腔1和第二真空腔2，所述第一真空腔1的下方设置有第一真空泵3，所述第一真空腔1与第一真空泵3之间设置有第一真空管4，所述第一真空腔1与第一真空泵3通过第一真空管4连通，所述第二真空腔2的下方设置有第二真空泵5，所述第二真空腔2与第二真空泵5之间设置有第二真空管6，所述第二真空腔2与第二真空泵5通过第二真空管6连通，所述第一真空腔1和所述第二真空泵5之间设置有第三真空管7，所述第三真空管7的一端与第二真空泵5连通，所述第三真空管7的另一端与第一真空管4连通，位于第三真空管7的中部设置有第一电磁阀8和用于控制第一电磁阀8工作的第一控制器9，所述第一真空腔1内设置有真空检测器10，所述真空检测器10与第一控制器9电连接。本实施例中，正常工作状态下，第一真空泵3通过第一真空管4对第一真空腔1进行抽真空，第二真空泵5通过第二真空管6对第二真空腔2进行抽真空；当第一真空泵3出现故障时，真空检测器10检测到第一真空腔1内真空数值不同于设定数值，断定第一真空泵3出现故障，因此会发送信号给第一控制器9，第一控制器9打开第一电磁阀8打开第三真空管7通道，第二真空泵5同时对第一真空腔1和第二真空腔2进行抽真空，操作员可将第一真空泵3停止运作并进行维修，本专利技术真空系统在第一真空泵3异常停机状态下，使用第二真空泵5同时对两个腔室抽真空，使得第一腔室1不会因第一真空泵3的异常停机而停机，在第一真空泵3修复过程中，通过第二真空泵5的运作继续进行生产，从而提高整个系统的可运作时间，提升产能。如图2至图3所示，作为另一种实施方式，在第三真空管7与第一真空管4的连接处设置有第二电磁阀11和用于控制第二电磁阀11工作的第二控制器12，所述第二电磁阀11内设置有第一通道111和第二通道112，所述第一通道111的上端和下端分别与第一真空管4连通，所述第一通道111和所述第二通道112垂直设置，所述第二通道112的一端和第一通道111连通，所述第二通道112的另一端与第三真空管7连通，所述第二通道112与第一通道111的连通处设置有阻挡阀门113，所述阻挡阀门113与第二控制器电连接，本实施例的区别在于取消了第一电磁阀8和第一控制器9的设置，在第三真空管7与第一真空管4的连接处设置有第二电磁阀11和第二控制器12，第一真空泵3正常工作状态下，第一控制器9控制阻挡阀门113关闭第二通道112，打开第一通道111；当一真空泵3出现故障时，第一控制器9控制阻挡阀门113打开第二通道112，关闭第一通道111，第二真空泵5同时对第一真空腔1和第二真空腔2进行抽真空。本实施例中，所述第二真空管6的中部设置有第三电磁阀13和用于控制第三电磁阀13工作的第三控制器14，第三控制器14控制第三电磁阀13开通第二真空管6，第二真空泵5通过第二真空管6对第二真空腔2进行抽真空。本实施例中，所述第一真空泵3的旁侧设置有用于给第一真空泵3降温的第一工作液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空系统，其特征在于：包括第一真空腔和第二真空腔，所述第一真空腔的下方设置有第一真空泵，所述第一真空腔与第一真空泵之间设置有第一真空管，所述第一真空腔与第一真空泵通过第一真空管连通，所述第二真空腔的下方设置有第二真空泵，所述第二真空腔与第二真空泵之间设置有第二真空管，所述第二真空腔与第二真空泵通过第二真空管连通，所述第一真空腔和所述第二真空泵之间设置有第三真空管，所述第三真空管的一端与第二真空泵连通，所述第三真空管的另一端与第一真空管连通，位于第三真空管的中部设置有第一电磁阀和用于控制第一电磁阀工作的第一控制器，所述第一真空腔内设置有真空检测器，所述真空检测器与第一控制器电连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空系统，其特征在于：包括第一真空腔和第二真空腔，所述第一真空腔的下方设置有第一真空泵，所述第一真空腔与第一真空泵之间设置有第一真空管，所述第一真空腔与第一真空泵通过第一真空管连通，所述第二真空腔的下方设置有第二真空泵，所述第二真空腔与第二真空泵之间设置有第二真空管，所述第二真空腔与第二真空泵通过第二真空管连通，所述第一真空腔和所述第二真空泵之间设置有第三真空管，所述第三真空管的一端与第二真空泵连通，所述第三真空管的另一端与第一真空管连通，位于第三真空管的中部设置有第一电磁阀和用于控制第一电磁阀工作的第一控制器，所述第一真空腔内设置有真空检测器，所述真空检测器与第一控制器电连接。2.根据权利要求1所述的一种真空系统，其特征在于：所述第三真空管与第一真空管的连接处设置有第二电磁阀和用于控制第二电磁阀工作的第二控制器，所述第二电磁阀内设置有第一通道和第二通道，所述第一通道的上端和下端分别与第一真空管连通，所述第一通道和所述第二通道垂直设置，所述第二通道的一端和第一通道连通，所述第二通道的另一端与第三真空管连通，所述第二通道与第一通道的连通处设置有阻挡阀门，所述阻挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永康，
申请(专利权)人：东莞市维健维康科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44