一种射频功率放大器输入匹配电路制造技术

本发明专利技术提供的一种射频功率放大器输入匹配电路，涉及电子技术领域，所述电路包括：射频信号发生器；第一电容，所述第一电容与所述射频信号发生器连接；输入匹配电路，所述输入匹配电路与所述第一电容连接；偏置电路，所述偏置电路的输入端接入一偏置电压，输出端与所述输入匹配电路的输入端连接；射频功率放大管，所述射频功率放大管与所述输入匹配电路连接。解决了由于输入匹配电路是利用牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗的技术问题，达到了实现射频功率放大器的高稳定性、调整增益平坦度及改善输入驻波比的同时避免了信号传输过程中的功率损耗的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种射频功率放大器输入匹配电路
本专利技术涉及电子
，特别涉及一种射频功率放大器输入匹配电路。
技术介绍
射频电源是用于产生射频功率信号的装置，属于半导体工艺设备的核心部件，所有产生等离子体进行材料处理的设备都需要射频电源提供能量。其中，输入匹配电路主要用于解决稳定性，曾以极其平坦度，以及输入驻波比的问题。但本申请专利技术人在实现本专利技术中技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：现有技术中的输入匹配电路经常是以牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗。
技术实现思路
本专利技术通过提供一种射频功率放大器输入匹配电路，解决了现有技术中由于输入匹配电路是利用牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗的技术问题，达到了实现射频功率放大器的高稳定性、调整增益平坦度及改善输入驻波比的目的，而且避免了信号传输过程中的功率损耗，实现信号源的最大功率传输，提高了功率放大器的性能技术效果。鉴于上述问题，提出了本专利技术以便提供一种射频功率放大器输入匹配电路。一种射频功率放大器输入匹配电路，所述电路包括：射频信号发生器，所述射频信号发生器发送射频信号；第一电容，所述第一电容的输入端与所述射频信号发生器的输出端连接，接收所述射频信号发生器发送的所述射频信号；输入匹配电路，所述输入匹配电路的输入端与所述第一电容的输出端连接，接收所述第一电容发送的所述射频信号，同时对元件间的阻抗进行匹配；偏置电路，所述偏置电路的输入端接入一偏置电压，所述偏置电路的输出端与所述输入匹配电路的输入端连接；射频功率放大管，所述射频功率放大管的输入端与所述输入匹配电路的输出端连接，对所述输入匹配电路输出的所述射频信号进行放大。优选的，所述输入匹配电路包括：并联谐振电路，所述并联谐振电路的输入端与所述偏置电路的输出端连接，所述并联谐振电路的输出端与所述射频功率放大管的基极连接，阻止所述射频信号经所述偏置电路分流。优选的，所述并联谐振电路包括：电感，所述电感的输入端与所述偏置电路的输出端连接，所述电感的输出端与所述射频功率放大管的基极连接；第二电容，所述第二电容与所述电感并联连接。优选的，所述输入匹配电路还包括：第三电容，所述第三电容的输入端与所述射频功率放大管的基极连接，所述第三电容的输出端与所述射频功率放大管的集电极连接。优选的，所述第三电容具体为密勒电容。优选的，所述第一电容为隔直电容。优选的，所述射频功率放大管的发射极接地，所述射频功率放大管的集电极将所述射频信号输出，并连接至一电源电压。本专利技术中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：1.本专利技术提供的一种射频功率放大器输入匹配电路，所述电路包括：射频信号发生器，所述射频信号发生器发送射频信号；第一电容，所述第一电容的输入端与所述射频信号发生器的输出端连接，接收所述射频信号发生器发送的所述射频信号；输入匹配电路，所述输入匹配电路的输入端与所述第一电容的输出端连接，接收所述第一电容发送的所述射频信号，同时对元件间的阻抗进行匹配；偏置电路，所述偏置电路的输入端接入一偏置电压，所述偏置电路的输出端与所述输入匹配电路的输入端连接；射频功率放大管，所述射频功率放大管的输入端与所述输入匹配电路的输出端连接，对所述输入匹配电路输出的所述射频信号进行放大。解决了现有技术中由于输入匹配电路是利用牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗的技术问题，达到了实现射频功率放大器的高稳定性、调整增益平坦度及改善输入驻波比的目的，而且避免了信号传输过程中的功率损耗，实现信号源的最大功率传输，提高了功率放大器的性能技术效果。2.本专利技术通过并联谐振电路，所述并联谐振电路的输入端与所述偏置电路的输出端连接，所述并联谐振电路的输出端与所述射频功率放大管的基极连接的技术方案，解决了现有技术中由于输入匹配电路是利用牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗的技术问题，进一步达到了阻止射频输入信号经偏置电路分流的技术效果。3.本专利技术通过所述输入匹配电路还具有第三电容，所述第三电容的输入端与所述射频功率放大管的基极连接，所述第三电容的输出端与所述射频功率放大管的集电极连接，解决了现有技术中由于输入匹配电路是利用牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗的技术问题，从而进一步达到扩展工作频率与稳定工作状态的技术效果。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。附图说明为了更清楚地说明本专利技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的一种射频功率放大器输入匹配电路的连接示意图。附图标号说明：射频信号发生器1，射频功率放大电路2，射频功率检测器3，供电线路4，电压检测电路21，电压电流转换模块22，偏置电路23，第一晶体管24，第一电阻211，第二电阻212，第三电阻213，第二晶体管214.具体实施方式本专利技术提供的一种射频功率放大器输入匹配电路，用以解决现有技术中由于输入匹配电路是利用牺牲增益和输出功率为代价换取稳定性的，导致信号传输过程中存在交大的功率损耗的技术问题。本专利技术提供的一种射频功率放大器输入匹配电路的总体方案如下：射频信号发生器，所述射频信号发生器发送射频信号；第一电容，所述第一电容的输入端与所述射频信号发生器的输出端连接，接收所述射频信号发生器发送的所述射频信号；输入匹配电路，所述输入匹配电路的输入端与所述第一电容的输出端连接，接收所述第一电容发送的所述射频信号，同时对元件间的阻抗进行匹配；偏置电路，所述偏置电路的输入端接入一偏置电压，所述偏置电路的输出端与所述输入匹配电路的输入端连接；射频功率放大管，所述射频功率放大管的输入端与所述输入匹配电路的输出端连接，对所述输入匹配电路输出的所述射频信号进行放大。达到了实现射频功率放大器的高稳定性、调整增益平坦度及改善输入驻波比的目的，而且避免了信号传输过程中的功率损耗，实现信号源的最大功率传输，提高了功率放大器的性能技术效果。下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。实施例一图1为本专利技术实施例提供的一种射频功率放大器输入匹配电路的连接示意图。如图1所示，所述电路包括：射频信号发生器1，所述射频信号发生器1发送射频信号；具体而言，射频信号是经过调制的，拥有一定发射频率的电波，而射频信号发生器1是信号发生器的一种。信号发生器按信号源有很多种分类方法，其中一种方法可分为混和信号源和逻辑信号源两种。其中混和信号源主要输出模拟波形；逻辑信号源输出数字码形。混和信号源又可分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频功率放大器输入匹配电路，其特征在于，所述电路包括：射频信号发生器，所述射频信号发生器发送射频信号；第一电容，所述第一电容的输入端与所述射频信号发生器的输出端连接，接收所述射频信号发生器发送的所述射频信号；输入匹配电路，所述输入匹配电路的输入端与所述第一电容的输出端连接，接收所述第一电容发送的所述射频信号，同时对元件间的阻抗进行匹配；偏置电路，所述偏置电路的输入端接入一偏置电压，所述偏置电路的输出端与所述输入匹配电路的输入端连接；射频功率放大管，所述射频功率放大管的输入端与所述输入匹配电路的输出端连接，对所述输入匹配电路输出的所述射频信号进行放大。

【技术特征摘要】
1.一种射频功率放大器输入匹配电路，其特征在于，所述电路包括：射频信号发生器，所述射频信号发生器发送射频信号；第一电容，所述第一电容的输入端与所述射频信号发生器的输出端连接，接收所述射频信号发生器发送的所述射频信号；输入匹配电路，所述输入匹配电路的输入端与所述第一电容的输出端连接，接收所述第一电容发送的所述射频信号，同时对元件间的阻抗进行匹配；偏置电路，所述偏置电路的输入端接入一偏置电压，所述偏置电路的输出端与所述输入匹配电路的输入端连接；射频功率放大管，所述射频功率放大管的输入端与所述输入匹配电路的输出端连接，对所述输入匹配电路输出的所述射频信号进行放大。2.如权利要求1所述的电路，其特征在于，所述输入匹配电路包括：并联谐振电路，所述并联谐振电路的输入端与所述偏置电路的输出端连接，所述并联谐振电路的输出端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔晨，李勇滔，孙小孟，李楠，赵丽莉，夏洋，
申请(专利权)人：北京泰龙电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11