一种电容式压差传感器结构制造技术

本实用新型专利技术的目的在于公开一种电容式压差传感器结构，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；与现有技术相比，左半组件和右半组件是对称结构，受压膜片与左极板和右极板间距离很小，过载时受压膜片受到保护而不致破裂，连接针电极可以方便的插在PCB板上，避免信号干扰，减少寄生电容的存在因素，减少非线性，提高灵敏度和准确性并具有温度补偿能力；直接与被测气体连通，受压膜片直接感受气体压力变化，具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点，广泛用于压力、液位等测量中，特别是微小压差的测量，实现本实用新型专利技术的目的。

A Capacitive Differential Pressure Sensor Structure

The purpose of the utility model is to disclose a capacitive pressure difference sensor structure, which comprises left and right half components and compressed diaphragms symmetrically arranged; compared with the existing technology, the left and right half components are symmetrical structures, the distance between the compressed diaphragm and the left and right plates is very small, the compressed diaphragm is protected without rupture when overloaded, and the connecting needle electrodes can be square. Easy to insert on the PCB board, avoid signal interference, reduce parasitic capacitance factors, reduce non-linearity, improve sensitivity and accuracy, and have temperature compensation ability; directly connected with the measured gas, pressure diaphragm directly senses gas pressure changes, with simple structure, high temperature resistance, radiation resistance, high resolution, good dynamic response characteristics, etc., widely used in pressure, liquid, etc. The purpose of the utility model is realized in the level measurement, especially in the measurement of small pressure difference.

【技术实现步骤摘要】
一种电容式压差传感器结构
本技术涉及一种传感器结构，特别涉及一种电容式压差传感器结构。
技术介绍
在现有技术中，现有的电容式压差传感器，它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下，一个电容器的容量增大而另一个电容器的容量则相应减小，测量结果由差动式电路输出。测量的受压膜片的左右两室中充满硅油，它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时，受压膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好。但是，上述结构中，测量的受压膜片的左右两室中充满硅油，密封要求高，结构复杂，制造工艺较复杂，加工较困难，成本高，寄生电容影响大，降低了测量灵敏度，而且引起非线性输出；且由于寄生电容是随机变化的，因而使传感器处于不稳定的工作状态．影响测量准确度，不适合测量很小的压差。因此，特别需要一种电容式压差传感器结构，以解决上述现有存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电容式压差传感器结构，针对现有技术的不足，具有变极距，电容极板为差动式结构，寄生电容很小，非线性输出小，灵敏度高，准确度高，误差小，且具有温度补偿功能，适合测量很小的压差。本技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：一种电容式压差传感器结构，其特征在于，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；所述左半组件包括左连接针组、左壳体和左极板，所述左连接针组与所述左壳体互相密封锁紧，所述左连接针组的一端与左极板互相电接触导通，所述左极板与所述左壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述右半组件包括右连接针组、右壳体和右极板，所述右连接针组与所述右壳体互相密封锁紧，所述右连接针组的一端与右极板互相电接触导通，所述右极板与所述右壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述受压膜片设置在所述左极板和所述右极板之间，形成一个差动式电容结构。在本技术的一个实施例中，所述左半组件和所述右半组件之间通过螺栓互相紧密结合并锁紧。在本技术的一个实施例中，所述左极板与所述左壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。在本技术的一个实施例中，所述左壳体通过左极板和绝缘垫片将左壳体的内腔分成左上腔和左下腔，所述左上腔和所述左下腔之间通过工艺导通孔连通。在本技术的一个实施例中，所述左壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述左壳体的导气孔通过气管接头组件密封锁紧。在本技术的一个实施例中，所述右极板与所述右壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。在本技术的一个实施例中，所述右壳体通过右极板和绝缘垫片将右壳体的内腔分成右上腔和右下腔，所述右上腔和所述右下腔之间通过工艺导通孔连通。在本技术的一个实施例中，所述右壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述右壳体的导气孔通过气管接头组件密封锁紧。在本技术的一个实施例中，所述左壳体的端面上设置有凸形环，所述右壳体的端面上设置有凹形环槽，所述凸形环与所述凹形环槽相配合。在本技术的一个实施例中，所述左壳体的端面上装有密封圈，所述右壳体的端面上装有密封圈。在本技术的一个实施例中，所述左壳体和所述右壳体电接触导通并连接有两个连接柱。在本技术的一个实施例中，所述左壳体、右壳体、左极板、右极板、连接柱、左连接针组的针和右连接针组的针采用耐腐蚀、温度系数低和电阻率很低的导体金属材料制成；所述受压膜片采用耐腐蚀、电阻率很低和弹性好的的导体金属材料制成。本技术的电容式压差传感器结构，与现有技术相比，左半组件和右半组件是对称结构，受压膜片与左极板和右极板间距离很小，过载时受压膜片受到保护而不致破裂，连接针电极可以方便的插在PCB板上，避免信号干扰，减少寄生电容的存在因素，减少非线性，提高灵敏度和准确性并具有温度补偿能力；直接与被测气体连通，受压膜片直接感受气体压力变化，具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点，广泛用于压力、液位等测量中，特别是微小压差的测量，实现本技术的目的。本技术的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。附图说明图1为本技术的电容式压差传感器结构主视状态的结构示意图；图2为本技术的电容式压差传感器结构左视状态的结构示意图；图3为本技术的电容式压差传感器结构俯视状态的结构示意图；图4为本技术的电容式压差传感器结构A-A剖面的结构示意图；图5为本技术的电容式压差传感器结构B-B剖面的结构示意图；图6为本技术的电容式压差传感器结构C-C剖面的结构示意图；图7为本技术的电容式压差传感器结构立体状态的结构示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。实施例如图1至图7所示，本技术的电容式压差传感器结构，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片108；所述左半组件包括左连接针组101、左壳体105和左极板109；所述右半组件包括右连接针组102、右壳体106和右极板110；受压膜片108设置在左极板109和右极板110之间并用四根螺栓103互相紧密结合锁紧，形成一个差动式电容结构。所述左半组件中，左连接针组101与左壳体105密封锁紧；左连接针组101的针头一端与左极板109电接触导通，绝缘垫片111将左极板109与左壳体105隔离并有效绝缘。带四通孔的绝缘螺栓组113将左极板109与左壳体105连接，其中绝缘螺栓组113的螺纹部分涂有绝缘材料或带有绝缘套的螺栓，并使左壳体105与左极板109有效绝缘；通过左极板109和绝缘垫片111将左壳体105内腔分成左上腔125和左下腔127。绝缘螺栓组113的四通孔使连接部分的孔隙与所述左半组件的左下腔127连通，使腔体内各处气压平衡；密封堵头螺丝115将左壳体105的工艺孔有效密封堵住，密封堵头螺丝119和密封堵头螺丝121将两处相应的工艺孔有效密封堵住；工艺导通孔123将所述左半组件的左下腔127与左上腔125连通，使两腔体内各处气压平衡；气管接头组件129与左壳体105的导气孔密封锁紧。所述右半组件中，右连接针组102与右壳体106密封锁紧；右连接针组102的针头一端与右极板110电接触导通，绝缘垫片112将右极板110与右壳体106隔离并有效绝缘。带四通孔的绝缘螺栓114将右极板110与右壳体106连接，其中绝缘螺栓114的螺纹部分涂有绝缘材料或带有绝缘套的螺栓，使右壳体106与右极板111有效绝缘；通过右极板110和绝缘垫片112将右壳体106内腔分成右下腔128和右上腔126。绝缘螺栓114的四通孔使连接部分的孔隙与所述右半组件的右下腔128连通，使腔体内各处气压平衡；密封堵头螺丝116将右壳体106的工艺孔有效密封堵住，密封堵头螺丝120和密封堵头螺丝122将两处相应的工艺孔有效密封堵住；工艺导通孔124将所述右半组件的右下腔128与右上腔126连通，使两腔体内各处气压平衡；气管接头组件130与右壳体106的导气孔密封锁紧。左壳体105的端面上有凸形环117，右壳体106的端面上有凹形环槽118，凸形环117与凹形环槽118相配合；左壳体105上的端面上装有密封圈108；右壳体10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式压差传感器结构，其特征在于，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；所述左半组件包括左连接针组、左壳体和左极板，所述左连接针组与所述左壳体互相密封锁紧，所述左连接针组的一端与左极板互相电接触导通，所述左极板与所述左壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述右半组件包括右连接针组、右壳体和右极板，所述右连接针组与所述右壳体互相密封锁紧，所述右连接针组的一端与右极板互相电接触导通，所述右极板与所述右壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述受压膜片设置在所述左极板和所述右极板之间，形成一个差动式电容结构。

【技术特征摘要】
1.一种电容式压差传感器结构，其特征在于，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；所述左半组件包括左连接针组、左壳体和左极板，所述左连接针组与所述左壳体互相密封锁紧，所述左连接针组的一端与左极板互相电接触导通，所述左极板与所述左壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述右半组件包括右连接针组、右壳体和右极板，所述右连接针组与所述右壳体互相密封锁紧，所述右连接针组的一端与右极板互相电接触导通，所述右极板与所述右壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述受压膜片设置在所述左极板和所述右极板之间，形成一个差动式电容结构。2.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左半组件和所述右半组件之间通过螺栓互相紧密结合并锁紧。3.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左极板与所述左壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。4.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体通过左极板和绝缘垫片将左壳体的内腔分成左上腔和左下腔，所述左上腔和所述左下腔之间通过工艺导通孔连通。5.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述左壳体的导气孔通过气管接头组...

【专利技术属性】
技术研发人员：张和毅，张建忠，
申请(专利权)人：上海贤日测控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31