一种交替进料系统技术方案

本实用新型专利技术实施例公开一种交替进料系统，其包括传送部、真空储存室、物料传输系统、缓冲室以及抽真空系统，其中，传送部包括传送区域，传送区域包括N个传送位置，N为大于3的自然数，在N个传送位置上放置最多N‑1个真空储存室，每个传送位置上最多放置1个真空储存室，真空储存室在传送位置之间按预设方向移动，物料传输系统与第一传送位置相对接，缓冲室与第N传送位置相对接，抽真空系统与中间任一个传送位置相对接。本实用新型专利技术使得物料能够集中储存和提前处理，降低物料进行后续操作的等待时间，有效提高作业效率和产能。

An Alternating Feeding System

The embodiment of the utility model discloses an alternating feeding system, which includes a transmission section, a vacuum storage chamber, a material transmission system, a buffer chamber and a vacuum pumping system. The transmission section includes a transmission area, which includes N transmission positions, where N is a natural number greater than 3, and a maximum of N 1 vacuum storage chamber is placed on N transmission positions, and a maximum of 1 vacuum storage chamber is placed on each transmission position. Vacuum storage chamber, the vacuum storage chamber moves in the preset direction between the transmission positions, the material transmission system is connected with the first transmission position, the buffer chamber is connected with the N transmission position, and the vacuum pumping system is connected with any transmission position in the middle. The utility model enables the material to be centralized stored and pre-processed, reduces the waiting time for subsequent operation of the material, and effectively improves the operation efficiency and productivity.

【技术实现步骤摘要】
一种交替进料系统
本公开涉及物料处理
，具体涉及一种交替进料系统。
技术介绍
太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。近几年，太阳能电池成为了全球热门的研究方向，作为太阳能电池发展的第三代——铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池，是最先进最有发展前景的薄膜发电技术之一。目前，铜铟镓硒薄膜太阳能电池的产业化发展已经由欧美进入中国，这种薄膜太阳能电池可以基于玻璃、钢、塑料等材料基底制成，具有轻薄的特点，可方便制成刚性或柔性的太阳能组件。目前，铜铟镓硒薄膜太阳能电池主要采用物理气相沉积(PVD，PhysicalVaporDeposition)真空溅射工艺进行镀膜操作，其中，采用物理气相沉积真空溅射工艺的镀膜设备具有沉积快、膜厚均匀、可大规模连续作业等优点。在铜铟镓硒薄膜太阳能电池的生产工艺中，背电极Mo、上电极TCO或其他一些功能膜层都会优先考虑物理气相沉积技术的使用，可以说物理气相沉积设备在铜铟镓硒薄膜太阳能电池生产线上是必不可少的部分。物理气相沉积真空溅射工艺对于真空度的要求极高，腔体内合理平稳的真空度是保证工艺稳定的前提，真空度一般要求在10E-2Pa量级。现有采用物理气相沉积真空溅射工艺的镀膜设备会在溅射腔室和进料口间增加一个预抽真空腔室，也就是缓冲室，物料或者基板从外界进入缓冲室后，通过外接真空泵(例如，可以是罗兹泵或离心泵等)预抽真空(1-10Pa量级)；当达到预定真空度后，物料会进入溅射腔室，以分子泵抽真空的方式进行溅射，然后将缓冲室打开，接收下一个物料。但是，由于缓冲室与大气直接接触，每一次物料的进入都要使得缓冲室与外界相通，在物料传输时间内导致缓冲室的气压与外界气压平衡，待缓冲室的阀门关闭后又要重新从大气压抽至真空状态(从10E5至1Pa量级)。目前，上述操作方式会增加分子泵泵体的工作强度和后续物料等待的时间，增加物料堆货的风险，影响产能的提高。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的上述问题，本技术的一方面的目的在于提供一种交替进料系统，以实现物料的批量预处理，减少操作的等待时间，还可以实现真空度的平稳过度，提高处理效率和产能。为了实现上述目的，本技术提供了一种交替进料系统，其包括传送部、真空储存室、物料传输系统、缓冲室以及抽真空系统，其中，传送部包括传送区域，传送区域包括N个传送位置，N为大于3的自然数，在N个传送位置上放置最多N-1个真空储存室，每个传送位置上最多放置1个真空储存室，真空储存室在传送位置之间按预设方向移动，物料传输系统与N个传送位置中的第一传送位置相对接，缓冲室与N个传送位置中的第N传送位置相对接，抽真空系统与中间任一个传送位置相对接。在一些实施例中，传送部还包括传送导轨，传送导轨布置在传送区域上，真空储存室通过传送导轨在传送位置之间移动。在一些实施例中，抽真空系统为真空泵。在一些实施例中，物料传输系统为物料传送带。在一些实施例中，在真空储存室和缓冲室上均设有阀门对接部。在一些实施例中，抽真空系统通过连接管或者对接口与真空储存室相连通。在一些实施例中，在真空储存室上设有进料口，当真空储存室位于第一传送位置时，进料口与物料传输系统相对接。在一些实施例中，N等于4，传送区域采用2方格*2方格的田字型形式布置。在一些实施例中，N等于6，传送区域为2方格*3方格的形式布置。在一些实施例中，N个传送位置采用圆形布置。与现有技术相比较，本技术中提供的交替进料系统，一方面使得物料能够集中批量储存，批量提前处理，降低物料进行后续操作，例如溅射处理的等待时间，有效提高作业效率和产能；另一方面减少物料进入缓冲室预抽真空的时间，使得缓冲室能够长时间保持较高的真空度。应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本公开。本申请文件提供本公开中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。附图说明在不一定按比例绘制的附图中，相同的附图标记可以在不同的视图中描述相似的部件。具有字母后缀或不同字母后缀的相同附图标记可以表示相似部件的不同实例。附图大体上通过举例而不是限制的方式示出各种实施例，并且与说明书以及权利要求书一起用于对所公开的实施例进行说明。在适当的时候，在所有附图中使用相同的附图标记指代同一或相似的部分。这样的实施例是例证性的，而并非旨在作为本装置或方法的穷尽或排他实施例。图1为本技术实施例的交替进料系统的结构示意图。附图标记：1-物料传输系统；2-抽真空系统；3-第一位置；4-第二位置；5-第三位置；6-第四位置；7-缓冲室；8-第一真空储存室；9-第二真空储存室；10-第三真空储存室；11-传送部。具体实施方式为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。本公开的以下实施例提供了一种交替进料系统，其在制造铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件的过程中，适用于物理气相沉积机台的物料进料操作，其中，这种物料可以是覆盖有背电极Mo的基板、覆盖有上电极TCO的基板或者其他一些需要采用物理气相沉积真空溅射工艺进行镀膜的功能基板，如图1所示，图1示出了一种交替进料系统的结构示意图。具体地，该交替进料系统包括传送部11和真空储存室，其中，传送部11配置为使得真空储存室在一定区域内移动。具体地，传送部11包括传送区域(未示出)和传送导轨(未示出)，其中，传送部11中的传送区域配置为容纳或者放置真空储存室，传送导轨布置在传送区域上，其配置为驱动真空储存室在传送区域中的不同位置间移动，这样，通过传送导轨能够使得真空储存室在传送区域中按预设顺序或者方向移动。真空储存室配置为存储物料并能够在传送区域内进行移动，其中，每个真空储存室可以存储多个物料。本实施例涉及的交替进料系统还包括物料传输系统1、缓冲室7和抽真空系统2，其中，物料传输系统1配置为将物料传输至真空储存室中，其与传送部11的传送区域中的第一个传送位置相对接，例如，可以在真空储存室上设有进料口，当真空储存室移动到第一个传送位置时打开真空储存室的进料口，通过物料传输系统1将物料通过进料口传送至真空储存室的内部，传送完毕后关闭进料口。可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种交替进料系统，其包括传送部(11)、真空储存室、物料传输系统(1)、缓冲室(7)以及抽真空系统(2)，其中，所述传送部(11)包括传送区域，所述传送区域包括N个传送位置，N为大于3的自然数，在N个所述传送位置上放置最多N‑1个所述真空储存室，每个所述传送位置上最多放置1个所述真空储存室，所述真空储存室在所述传送位置之间按预设方向移动，所述物料传输系统(1)与N个所述传送位置中的第一传送位置相对接，所述缓冲室与N个所述传送位置中的第N传送位置相对接，所述抽真空系统(2)与中间任一个所述传送位置相对接。

【技术特征摘要】
1.一种交替进料系统，其包括传送部(11)、真空储存室、物料传输系统(1)、缓冲室(7)以及抽真空系统(2)，其中，所述传送部(11)包括传送区域，所述传送区域包括N个传送位置，N为大于3的自然数，在N个所述传送位置上放置最多N-1个所述真空储存室，每个所述传送位置上最多放置1个所述真空储存室，所述真空储存室在所述传送位置之间按预设方向移动，所述物料传输系统(1)与N个所述传送位置中的第一传送位置相对接，所述缓冲室与N个所述传送位置中的第N传送位置相对接，所述抽真空系统(2)与中间任一个所述传送位置相对接。2.根据权利要求1所述的交替进料系统，其特征在于，所述传送部(11)还包括传送导轨，所述传送导轨布置在所述传送区域上，所述真空储存室通过所述传送导轨在所述传送位置之间移动。3.根据权利要求1所述的交替进料系统，其特征在于，所述抽真空系统(2)为真空泵。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：马坤，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11