The invention provides a silicon wafer automatic insertion device, which includes a work bench, an electric cylinder, a water tank, a film basket, a slide way and a waterway system. The upper part of the electric cylinder is fixed with a film basket bracket. The film basket is placed on the film basket bracket. The slide way is adjacent to the film basket, and the side near the film basket is inclined downward. An empty film basket is placed on the film basket bracket, and the electric cylinder is activated. The piston rod drives the basket to move, and aligns the wafer to the first slot of the basket. The wafer is placed on the slide, and the wafer slides down the slide to the basket. At this time, the cylinder drives the basket to move down a slot height and continues to put the wafer into the basket, so that the cycle operation can be carried out. After the basket is filled, the wafer basket is put into a new basket. The invention can automatically insert wafers into the basket along the slideway, adopt the automatic insertion method, reduce the error of artificial insertion, shorten the working time, reduce manual participation and improve the working efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动插片设备
本专利技术创造涉及半导体材料领域,特别是涉及一种硅片自动插片设备。
技术介绍
在半导体材料领域,有一道工序是将半导体硅晶圆片插入片篮中,现有技术中,大多采用人为水中插篮,人为晶圆插篮容易出现误操作、划伤硅片的现象,且插篮效率低下,难以操作,随着半导体材料领域对硅片质量要求越来越高,人工插片已难以满足厂家的要求。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术创造旨在克服上述现有技术中存在的缺陷,提供一种硅片自动插片设备。为达到上述目的,本专利技术创造的技术方案是这样实现的:一种硅片自动插片设备,包括工作台架、电缸、水槽、片篮、滑道和水路系统,所述工作台架的上部设有控制箱,下部设有储物柜,控制箱与储物柜之间通过背板固定连接,所述背板位于控制箱与储物柜的同侧,所述水路系统位于储物柜之内,所述储物柜之上围设有工作台;所述水槽置于工作台之内,水槽与背板之间留有空腔,所述电缸设于所述工作台架与水槽之间的空腔内,其下部穿过并固定于储物柜顶部,所述电缸包括外壳和活塞杆,所述活塞杆的一端插入外壳之内,另一端固定连接有片篮支架,所述片篮支架向下伸入水槽之中,与水槽内壁相依,其下部设有横板,所述片篮放置于横板之上;所述滑道位于片篮远离片篮支架的一侧,由固设于水槽内壁的支撑结构支撑,所述滑道与片篮相邻,邻近片篮的一侧向下倾斜,所述滑道上表面高于片篮内底面且与片篮的底面平行。进一步地,所述电缸、片篮支架、片篮和滑道沿同一角度倾斜,所述滑道远离片篮的一端高于水槽边缘,另一端伸入水槽之内。进一步地,所述支撑结构包括支撑板和支撑台,支撑台位于支撑板的上方,所述支撑台的底部设有螺杆 ...
【技术保护点】
1.一种硅片自动插片设备,其特征在于:包括工作台架(1)、电缸(2)、水槽(3)、片篮(4)、滑道(5)和水路系统(6),所述工作台架(1)的上部设有控制箱(11),下部设有储物柜(12),控制箱(11)与储物柜(12)之间通过背板(13)固定连接,所述背板(13)位于控制箱(11)与储物柜(12)的同侧,所述水路系统(6)位于储物柜(12)之内,所述储物柜(12)之上围设有工作台(7);所述水槽(3)置于工作台(7)之内,水槽(3)与背板(13)之间留有空腔,所述电缸(2)设于所述工作台架(1)与水槽(3)之间的空腔内,其下部穿过并固定于储物柜(12)顶部,所述电缸(2)包括外壳(22)和活塞杆(21),所述活塞杆(21)的一端插入外壳(22)之内,另一端固定连接有片篮支架(41),所述片篮支架(41)向下伸入水槽(3)之中,与水槽(3)内壁相依,其下部设有横板(411),所述片篮(4)放置于横板(411)之上;所述滑道(5)位于片篮(4)远离片篮支架(41)的一侧,由固设于水槽(3)内壁的支撑结构支撑,所述滑道(5)与片篮(4)相邻,邻近片篮(4)的一侧向下倾斜,所述滑道(5)上表 ...
【技术特征摘要】
1.一种硅片自动插片设备,其特征在于:包括工作台架(1)、电缸(2)、水槽(3)、片篮(4)、滑道(5)和水路系统(6),所述工作台架(1)的上部设有控制箱(11),下部设有储物柜(12),控制箱(11)与储物柜(12)之间通过背板(13)固定连接,所述背板(13)位于控制箱(11)与储物柜(12)的同侧,所述水路系统(6)位于储物柜(12)之内,所述储物柜(12)之上围设有工作台(7);所述水槽(3)置于工作台(7)之内,水槽(3)与背板(13)之间留有空腔,所述电缸(2)设于所述工作台架(1)与水槽(3)之间的空腔内,其下部穿过并固定于储物柜(12)顶部,所述电缸(2)包括外壳(22)和活塞杆(21),所述活塞杆(21)的一端插入外壳(22)之内,另一端固定连接有片篮支架(41),所述片篮支架(41)向下伸入水槽(3)之中,与水槽(3)内壁相依,其下部设有横板(411),所述片篮(4)放置于横板(411)之上;所述滑道(5)位于片篮(4)远离片篮支架(41)的一侧,由固设于水槽(3)内壁的支撑结构支撑,所述滑道(5)与片篮(4)相邻,邻近片篮(4)的一侧向下倾斜,所述滑道(5)上表面高于片篮(4)内底面且与片篮(4)的底面平行。2.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备,其特征在于:所述电缸(2)、片篮支架(41)、片篮(4)和滑道(5)沿同一角度倾斜,所述滑道(5)远离片篮(4)的一端高于水槽(3)边缘,另一端伸入水槽(3)之内。3.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备,其特征在于:所述支撑结构包括支撑板(31)和支撑台(51),支撑台(51)位于支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨学新,齐风,周聪熠,张淳,戴超,谭永麟,孙晨光,
申请(专利权)人:天津中环领先材料技术有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
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