A monolithic 3D IC uses one or more local interlayer interconnections tightly integrated with at least one structure of at least one transistor on at least one transistor layer in a 3D IC. In some embodiments, the local interlayer interconnection intersects the gate electrode or source/drain region of at least one transistor and extends through at least one interlayer dielectric layer between the first and second transistor layers provided in the 3D IC. Local interlayer interconnection facilitates direct vertical connection between transistors in different layers of 3D IC without transverse wiring around the occupied area (i.e., transverse or planar area) of the transistor layer above or below the interconnection.
【技术实现步骤摘要】
具有局部层间互连的单片三维(3D)IC
本专利技术的实施例一般涉及集成电路(IC),以及更具体来说涉及单片三维(3D)IC。
技术介绍
单片IC一般包括多个晶体管,例如在平面衬底、例如硅晶圆之上所制作的金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)。虽然摩尔定律数十年来在IC工业中一直成立,但是IC维度的横向缩放对于现在低于20nm的MOSFET栅维度变得更加困难。随着装置尺寸持续减小,将达到继续标准平面缩放变得不切实际的阶段。这个转折点可能归因于经济学或物理学,例如极高的电容或者基于量子的可变性。按照三维的晶体管的堆叠(通常称作垂直缩放或3D集成)因此是达成更大晶体管密度的有希望途径。虽然3D集成可例如通过堆叠单独制造的芯片在封装层面实现,但是单片3D方式提供最大层间互连密度,从而允许3D电路在最低层并且以最紧密电路密度来构成。一般来说,单片3DIC需要两层或更多层的晶体管,其在衬底之上依次制作和互连。例如,开始于第一半导体衬底,第一层晶体管采用常规技术来制作。施体衬底然后接合到第一衬底,以及分裂施体衬底的一部分,以留下第一层晶体管之上的半导体薄膜。这种方法当然只是得到第二层装置的单晶衬底的许多方式其中之一。第二层晶体管然后在半导体薄膜中制作,以及层间互连在晶体管层之间形成。虽然晶体管层之间的更大对齐对单片3DIC是可能的,但是层间互连的架构在取得单片3DIC的平面占用面积随晶体管层的数量成比例地减小的规模经济中是重要的。附图说明通过附图、作为举例而不是限制来说明本文所述的资料。为了说明的简洁和清晰起见,图中所示的元件不一定按比例绘制。例如,为了清晰起见, ...
【技术保护点】
1.一种微电子装置,包括:晶体管,包含:鳍,包括单晶材料;栅电极,与所述鳍的侧壁相邻并且在所述鳍的顶面之上;源和漏,被耦合到所述鳍;源金属化,接触顶面或所述源的侧壁中的至少一个;漏金属化,接触顶面或所述漏的侧壁中的至少一个;以及在所述鳍下面的介电材料,其中所述源金属化和漏金属化中的至少一个通过所述介电阶层延伸,并且与所述介电材料下面的金属化接触。
【技术特征摘要】
1.一种微电子装置,包括:晶体管,包含:鳍,包括单晶材料;栅电极,与所述鳍的侧壁相邻并且在所述鳍的顶面之上;源和漏,被耦合到所述鳍;源金属化,接触顶面或所述源的侧壁中的至少一个;漏金属化,接触顶面或所述漏的侧壁中的至少一个;以及在所述鳍下面的介电材料,其中所述源金属化和漏金属化中的至少一个通过所述介电阶层延伸,并且与所述介电材料下面的金属化接触。2.如权利要求1所述的装置,还包括第二晶体管,所述第二晶体管包含:第二鳍,包括单晶材料,所述第二鳍在所述介电材料下面并且相对所述鳍;第二栅电极,与所述第二鳍的侧壁相邻;第二源和第二漏,被耦合到所述第二鳍;第二源金属化,接触所述第二源;以及第二漏金属化,接触所述第二漏;以及其中在所述介电材料下面的所述金属化包括所述第二源金属化或所述第二漏金属化并且通过所述介电材料与所述源金属化或所述漏金属化电耦合。3.如权利要求2所述的装置,其中通过介电材料延伸的所述源金属化或所述漏金属化与所述第二源金属化或所述第二漏金属化直接接触。4.如权利要求2所述的装置,其中通过所述介电材料延伸的所述源金属化或所述漏金属化与本地互连金属化直接接触,所述本地互连金属化与所述第二源金属化或所述第二漏金属化直接接触。5.如权利要求2所述的装置,其中所述源和漏具有与所述第二源和第二漏互补的导电率类型。6.如权利要求1所述的装置,还包括互连金属化,所述互连金属化与所述栅电极相交、通过所述介电材料延伸并且与所述第二栅电极电耦合。7.如权利要求6所述的装置,其中所述互连金属化沿所述栅电极的至少一个侧壁延伸。8.一种单片三维(3D)SRAM单元结构,包括:第一晶体管层上的第一对晶体管,其中所述第一对晶体管中的每个还包括:第一鳍,包括单晶材料;第一栅电极,与所述第一鳍的侧壁相邻;第一源和第一漏,被耦合到所述第一鳍;所述第一晶体管层之上的第二晶体管层上的第二对晶体管,其间有介电材料阶层,其中所述第二对晶体管中的每个还包括:第二鳍,包括单晶材料;第二栅电极,与所述第二鳍的侧壁相邻;第二源和第二漏,被耦合到所述第二鳍;第一对层间互连,每个耦合到所述第二漏中的一个、通过所述介电材料阶层延伸、耦合到第一漏中的一个并且耦合到所述第一栅电极中的一个;以及第二对层间互连,每个耦合到所述第二栅电极中的一个、通过所述介电材料阶层延伸并且耦合到所述第一栅电极中的一个。9.如权利要求8所述的SRAM单元结构,其中所述第一和第二对晶体管包括通过所述第一和第二对层间互连交叉-耦合的反相器。10.如权利要求8所述的SRAM单元结构,还包括在所述第二晶体管层上的一对通栅晶体管,其中所述通栅晶体管中的每个还包括:第三鳍,包括单晶材料;第三栅电极,与所述第三鳍的侧壁相邻;第三源和第三漏,被耦合到所述第三...
【专利技术属性】
技术研发人员:P莫罗,K军,MC韦布,DW奈尔逊,
申请(专利权)人:英特尔公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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