【技术实现步骤摘要】
一种金刚石线锯上砂装置
本技术涉及电镀金刚线制造领域,具体涉及一种金刚石线锯上砂装置。
技术介绍
目前国内对硅片进行切割时主要是采用游离磨料线锯切割技术,即边切割边向钢丝送带有磨料的浆液(金刚石或碳化硅浆液);但是游离磨料线锯切割技术具有明显的缺点,切割效率低,锯口损耗大,表面粗糙和面型精度难以控制,浆液回收困难,工作环境恶劣等等,为解决上述问题,固结磨料线锯越来越受到国内外研究着的关注,特别是电镀金刚石线锯的研究。电镀金刚石线锯分三步:第一步为预镀即在钢丝基体上预镀一层镍,一般厚度为1—3um,第二步为上砂,第三步为加厚镀;目前的上砂方式有悬浮法和埋砂法,采用悬浮法对钢丝进行上砂时,由于钢丝为圆柱体,在钢丝的下表面和上表面上砂极不均匀,而我们需要的切割线锯需要在钢丝的四周上砂均匀,采用埋砂法对钢丝进行上砂时,上砂均匀,但是需要特殊的上砂槽,不易制作,且难以进行连续大规模的生产。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题,本技术提出一种金刚石线锯在线上砂装置,其结构简单,能够实现连续均匀稳定的上砂。本技术解决以上技术问题的技术方案:提供一种金刚石线锯上砂装置,包括储液槽、上砂槽和导线轮,在所述上砂槽两侧分别设有进线口和出线口,并且进线口和出线口外侧分别设置有所述导线轮,并且该导线轮配有驱动电机及减速机,金属线通过导线轮依次穿过上砂槽的进线口和出线口,在所述上砂槽下方设置有所述储液槽,所述储液槽底端设有出液口,并且该出液口连接进液管一端,进液罐另一端设置有喷淋管,所述喷淋管上均匀设有多个喷淋头,该喷淋头设置在所述上砂槽上方,并且对准上砂槽内的金属线,在所述上砂槽底端设有 ...
【技术保护点】
1.一种金刚石线锯上砂装置,包括储液槽(1)、上砂槽(2)和导线轮(10),其特征在于:在所述上砂槽(2)两侧分别设有进线口(3)和出线口(4),并且进线口(3)和出线口(4)外侧分别设置有所述导线轮(10),并且该导线轮配有驱动电机及减速机,金属线(13)通过导线轮(10)依次穿过上砂槽的进线口(3)和出线口(4),在所述上砂槽(2)下方设置有所述储液槽(1),所述储液槽(1)底端设有出液口,并且该出液口连接进液管(6)一端,进液管(6)另一端设置有喷淋管(7),所述喷淋管(7)上均匀设有多个喷淋头(12),该喷淋头(12)设置在所述上砂槽(2)上方,并且对准上砂槽(2)内的金属线(13),在所述上砂槽(2)底端设有回液口,所述回液口通过回液管道(14)与储液槽(1)相连接,并且在回流管道上设有单向阀(15)。
【技术特征摘要】
1.一种金刚石线锯上砂装置,包括储液槽(1)、上砂槽(2)和导线轮(10),其特征在于:在所述上砂槽(2)两侧分别设有进线口(3)和出线口(4),并且进线口(3)和出线口(4)外侧分别设置有所述导线轮(10),并且该导线轮配有驱动电机及减速机,金属线(13)通过导线轮(10)依次穿过上砂槽的进线口(3)和出线口(4),在所述上砂槽(2)下方设置有所述储液槽(1),所述储液槽(1)底端设有出液口,并且该出液口连接进液管(6)一端,进液管(6)另一端设置有喷淋管(7),所述喷淋管(7)上均匀设有多个喷淋头(12),该喷淋头(12)设置在所述上砂槽(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨军,
申请(专利权)人:江苏亿荣新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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