【技术实现步骤摘要】
一套分子泵叶盘
本专利技术是一种真空泵叶片的设计方法。传统分子泵叶片和电风扇叶片相似，叶片越长排风效果越好，同时叶片强度变差，易断裂。本专利技术用打上孔的动盘和挖了槽的静盘代替叶片。这个设计降低了加工成本，减小了叶片热变形，加强了结构强度，提高了抽气效果。
技术介绍
真空镀膜机的尺寸越做越大，相应的给真空镀膜机抽气的涡轮分子泵也越来越大。现有的大口径分子泵口径最大400毫米，叶片尺寸长，结构强度低，易变形引发碎泵事故。本专利技术用带透孔的平盘代替分子泵动片，用盘面上加工有半封闭凹槽的平盘代替分子泵静片。动盘、静盘在极小距离内高速相互运动，静盘凹槽在与动盘透孔重合时，静盘凹槽内气体压强低，气体分子会通过动盘盘面上的透孔向下层运动，达到真空除气的目的。
技术实现思路
动盘在上，静盘在下，材料均为铝合金。动盘上分布着规则的透孔，透孔由里到外连成一条一条的斜线段，线段方向与水平轴成一定的夹角。静盘上的凹槽为半封闭结构，只有上面开口。静盘凹槽的中线与动盘透孔连成的斜线段长度相等，方向相反。附图说明附图1为动盘结构图，材质铝合金。动盘面上小孔起气体通道作用，同时也增加了动盘表面积，增进对空气分子能量传输效果。附图2为静盘结构图，材质铝合金。静盘表面加工有半封闭凹槽，此凹槽只有上口开放，工作时起到微型真空泵的作用，同时也是气体分子通道。静盘外圈还有一端打孔的环形槽，也是气体分子通道。附图3为工作原理图，动盘于上，静盘在下。盘面上的箭头分别表明各自旋转方向。两段黑箭头表示气路走向。具体实施方式动静盘在相距不到一毫米的距离内相对运动，转速高达几万转。夹在动静盘之间的空气分子与动...
【技术保护点】
1.本专利技术用带透孔的平盘代替分子泵动片，用盘面上加工有半封闭凹槽的平盘代替分子泵静片。动盘、静盘在极小距离内高速相互运动，静盘凹槽在与动盘透孔重合时，静盘凹槽内气体压强低，气体分子会通过动盘盘面上的透孔向下层运动，达到真空除气的目的。
【技术特征摘要】
1.本发明用带透孔的平盘代替分子泵动片，用盘面上加工有半封闭凹槽的平盘代替分子泵静片。动盘、静盘在极小距离内高速相互...
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