一种连续型真空多彩镀膜系统技术方案

本发明专利技术公开了一种连续型真空多彩镀膜系统，其包括按续连接的进料辉光清洗真空腔体，中频溅射镀膜真空腔体和出料真空腔体，进料辉光清洗真空腔体可用于获得1.0E‑3数量级真空度，进行辉光除气，敏化金属表层，为增强膜层与镀膜表面的结合力做好准备；中频溅射镀膜真空腔体进行镀膜工作，其保持1Pa以下压力，并设置本底真空0.003Pa，用高能量金属粒子注入工件表层导电层，然后在此基础上通入一定比例的氮气、乙炔，获得彩色PVD膜层；出料真空腔体在使中频溅射镀膜真空腔体保持中高真空的同时用于换物料并隔绝大气。

【技术实现步骤摘要】
一种连续型真空多彩镀膜系统
本专利技术涉及镀膜领域，具体为涉及一种连续型真空多彩镀膜系统。
技术介绍
现有单体装备须要不断往复的接触及排除标况大气压环境，因腔体表面在生产过程中和产品同时被镀上纳米级别的膜层，这使得炉壁在接触大气的时候会吸附大量的极性及活泼气体(例如H2O，O2等)，再次获取高真空时，这些气体缓慢释放，降低了真空获得速度，并参与等离子体化学反应，造成膜层结合力下降，亮度始终在较低水平。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供一种连续型真空多彩镀膜系统。本专利技术通过以下技术方案来实现：一种连续型真空多彩镀膜系统，其具有连续的三个腔体：腔体1可用于获得-3数量级真空度，进行辉光除气，敏化金属表层，为增强膜层与镀膜表面的结合力做好准备；腔体2进行镀膜工作，其保持1Pa以下压力，并设置本底真空0.003Pa，用高能量金属粒子注入工件表层导电层，然后在此基础上通入一定比例的氮气、乙炔，获得彩色PVD膜层；腔体3在使腔体2保持中高真空的同时用于换物料并隔绝大气。本专利技术具有如下有益效果：本专利技术比传统的单体多彩PVD镀膜装备拥有更纯净的真空组分，转架系统经过特殊设计，可以公转也可以同时自转，使得产品每个表面都能均匀获得多彩膜层。另外自主设计的物流插板阀，摆脱了之前的技术瓶颈，比翻板阀拥有更小的活动体积，更大的口径，更简单的结构，更稳定的输出。结合大抽速，短节拍的配置设计，将使得新一代真空装备效率大幅度提升。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。图1是本专利技术的主视图。图2是本专利技术的俯视图。图中1-进料辉光清洗真空腔体；2-中频溅射镀膜真空腔体；3-出料真空腔体；4-装备机架；5-干式低真空泵；6-罗茨泵；7-传输性矩形插板阀；8-转架传动系统；9-真空管路；10-节流阀；11-高真空插板阀；12-分子泵；13-高真空直角挡板阀；14-观察窗；15-人工作业门；16-中频溅射系统；17-辉光清洗系统。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参考说明书附图1-2，该连续型真空多彩镀膜系统采用3腔体连续型排列：其中腔体1为进料辉光清洗真空腔体，用于隔绝大气和保持真空状态的腔体2，其还具备交流电辉光的功能，可以用于还原工件表面金属导电层的自然氧化膜。其工作过程为：步骤一获取真空0.005Pa，过程为240s；步骤二加电压2000V，输入50％的Ar，流量为1000sccm，气压为3Pa,节流阀设为0°,节拍时间为180s，频率25Hz；步骤三传送物料至腔体2，过程为40s；步骤四充过滤后的大气，过程为20s。腔体2为中频溅射镀膜真空腔体，其在初期获得0.005Pa真空度并100℃加热30分钟后就一直保持中高真空状态，而此时根据真空流体特性，气氛中主要是极少量的H2，CO2，N2，并且释放率当量小于等于分子泵自身漏率，这就形成了相当纯净且稳定、不受外界影响的镀膜用真空环境，再结合多弧离子镀及中频溅射镀膜，能够获取80℃以下环境工作温度的高亮度膜层，达到单体装备150℃加热30分钟以金属基材为基底制备的膜层亮度(L值＞80)水平。其具体工作过程为：步骤一为恢复真空0.003Pa，过程为30s；步骤二为Zr靶的功率设为20千瓦，输入氩气，流量为100sccm，偏压：200V，50％，节流阀角度为90°，节拍时间为90s，频率35Hz；步骤三为恢复真空0.003Pa，过程为30s；步骤四为Zr靶的功率设为32千瓦，输入氩气，气体流量为N2：50-150sccm，C2H2：50-150sccm偏压：80V，50％，节流阀角度为90°，节拍时间为90s，频率35Hz；步骤五为传送物料至腔体3，过程为40s。腔体3为出料真空腔体，其专门用作将大气隔离开，因此配备了大抽速泵组并留给了更长的抽真空时间。其具体工作过程为：步骤一获取真空0.005Pa，过程为200s；步骤二充过滤后的大气，过程为20s；步骤三为传送物料至外轨道，过程为40s。在腔体之间进行物料传输时采用自主研发传输用高真空插板阀，设计漏率1.0x10-5mbarl/s,用来代替传统翻板阀，厚度由翻板阀方案的400mm，缩短至180mm，漏率降低了一个数量级，这样的机构大大减少了转架的设计难度，仅需要重心支撑即可，而不需要翻板阀所必需的可移动对接轨道，同时也降低了异常停机概率。3个腔体还具有KF25接口用于连接KF25四通管，当四通管连接到腔体上时，其余三个端口分别连接热电阻规管热阴极电离规管和感温探头；均使用KF25卡口连接，这会降低腔体加工难度，节省炉顶元器件占用空间，方便走线，便于管理维护。上述说明示出并描述了本专利技术的优选实施例，如前所述，应当理解本专利技术并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述专利技术构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本专利技术的精神和范围，则都应在本专利技术所附权利要求的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续型真空多彩镀膜系统，包括进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)，其特征在于，通过按续连接所述进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)形成该连续型真空多彩镀膜系统。

【技术特征摘要】
1.一种连续型真空多彩镀膜系统，包括进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)，其特征在于，通过按续连接所述进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)形成该连续型真空多彩镀膜系统。2.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述进料辉光清洗真空腔体(1)用于获得-3数量级真空度，进行辉光除气，敏化金属表层。3.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述中频溅射镀膜真空腔体(2)用于进行镀膜工作，其保持1Pa以下压力，并设置本底真空0.003Pa，用高能量金属粒子注入工件表层导电层，然后在此基础上通入一定比例的氮气和乙炔，获得彩色PVD膜层。4.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述出料真空腔体(3)在使所述中频溅射镀膜真空腔体(2)保持中高真空的同时用于换物料并隔绝大气。5.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述进料辉光清洗真空腔体(1)的工作过程为：步骤一获取真空0.005Pa，过程时间为240s；步骤二加电压2000V，输入50％的Ar，流量为1000sccm，气压为3Pa,节流阀角度为0°,节拍时间为180s，频率25Hz；步骤三传送物料至腔体2，过程为40s；步骤四充过滤后的大气，过程...

【专利技术属性】
技术研发人员：张绍璞，范刚，庞亮，黄兴盛，何志聪，王忠明，林志敏，
申请(专利权)人：厦门建霖健康家居股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35