【技术实现步骤摘要】
风刀及采用该风刀的干燥装置
本专利技术涉及显示装置领域，尤其涉及一种风刀及采用该风刀的干燥装置。
技术介绍
在显示装置的各个部件的制作工艺中，常常需要用到湿式设备(Wet)。例如，清洗机(Cleaner)，用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除颗粒(Particle)和有机物等脏污；显影机(Develop)，用于玻璃基板涂布曝光后光阻的剥离，以形成所需的图案(pattern)。湿式设备一般主要由传送滚轮(roller)、喷淋冲洗、刷洗(brush)、风刀干燥等组成，其中具有干燥功能的风刀(AirKnife)是湿式设备重要的品质保障部分。待清洗基板，例如玻璃基板，在传送滚轮上传送经喷淋机构喷洒水或药液、洗剂将基板表面的颗粒、有机物脏污、光阻等冲洗脱离后，利用风刀狭缝喷出一定压力流量的气体，对清洗后的基板表面残留的水起到快速吹除干燥。图1是现有的风刀进行干燥作业时的侧视示意图。请参阅图1，风刀干燥装置包括分别设置在待干燥基板10两侧的上风刀11及下风刀12，一待干燥基板10在传送滚轮13的传送下从所述上风刀11及所述下风刀12之间通过，一定压力流量的干燥风从所述上风刀11...
【技术保护点】
1.一种风刀，其特征在于，包括一主风刀，所述主风刀用于向一待干燥基板输送一干燥气体，在所述主风刀背离所述待干燥基板运动方向的侧面设置有一导流板，所述导流板沿所述干燥气体的流向延伸，且所述导流板与所述待干燥基板所在的平面具有一夹角，所述夹角小于90度。
【技术特征摘要】
1.一种风刀，其特征在于，包括一主风刀，所述主风刀用于向一待干燥基板输送一干燥气体，在所述主风刀背离所述待干燥基板运动方向的侧面设置有一导流板，所述导流板沿所述干燥气体的流向延伸，且所述导流板与所述待干燥基板所在的平面具有一夹角，所述夹角小于90度。2.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，所述导流板上设置有多个贯穿所述导流板的过孔，在沿所述导流板的宽度方向上，多个所述过孔依序排列形成一排。3.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，所述导流板上设置有多个贯穿所述导流板的过孔，在沿所述干燥气体的流向方向，所述过孔的孔径逐渐增大。4.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，在所述过孔的一端设置有一盖子，所述盖子能够遮挡所述过孔。5.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，所述风刀还包括至少一辅助气管，所述辅助气管的一端连接至所述主风刀的一分支开口，所述辅助气管的另一端连接至所述过孔背离所述待干燥基板的一侧，所述主风刀经所述分支开口向所述辅助气管提供干燥气体，所述干燥气体经所述过孔吹向所述待干燥基板。6.根据权利要求5所述的风刀，其特征在于，所述辅助气管包括一接...
【专利技术属性】
技术研发人员：施杰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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