一种干式真空泵的清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种干式真空泵的清洁装置，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及清洁气体供给装置；主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及副排气管道，主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。

【技术实现步骤摘要】
一种干式真空泵的清洁装置
本技术涉及一种干式真空泵，具体涉及一种干式真空泵的清洁装置。
技术介绍
干式真空泵是一种能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵；由于泵腔内没有其他工作介质，减少工艺污染，并且具有一定的耐腐蚀性，因此，干式真空泵在半导体以及化工等行业中是经常用到的一种高端真空泵；而这种真空泵在我国目前主要以进口为主，价格昂贵，维修的成本高。由于干式真空泵抽气的气体中会有粉尘以及其他颗粒，同时，干式真空泵工作时，会有大量的气体吹扫，并且干式真空泵内具有一定的温度，因此，如果真空泵停止工作，泵内的温度就会逐渐下降，导致泵内残留的粉尘以及其他颗粒凝结在真空泵螺杆上，停止时间过长就会妨碍螺杆转动，最终造成螺杆卡死；而为了不让螺杆卡死，常用的做法是保持真空泵一直运行，保证干式真空泵内的温度不下降，从而使得螺杆能够正常转动，但是这样会直接导致制氮、加热以及冷却等辅助设备也要不停地运行，造成其他设备的性能下降，寿命缩短；同时，管道、阀门及辅助设备保养时干式真空泵必须停机，而经过一段时间后，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干式真空泵的清洁装置，其特征在于，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及用于提供清洁气体的清洁气体供给装置；其中，所述主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；所述干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及连接在主排气管道上的副排气管道，所述主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，所述副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。

【技术特征摘要】
1.一种干式真空泵的清洁装置，其特征在于，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及用于提供清洁气体的清洁气体供给装置；其中，所述主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；所述干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及连接在主排气管道上的副排气管道，所述主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，所述副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。2.根据权利要求1所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述清洁气体供给装置包括与副管道连接的气瓶以及设置在第二开关阀与气瓶之间的加热装置，所述加热装置设置在副管道的外壁上，所述气瓶内装有压缩的清洁气体，气瓶的出气口设有出气开关阀。3.根据权利要求2所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述第二开关阀与气瓶之间设有第一温度计。4.根据权利要求1-3任一项所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，沿着气体在副排气管道上的移动方向，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：万金梅，翟雨佳，南志华，侯振华，李文红，朱佰喜，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44