一种基于衍射元件的LDI激光整形系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，包括有紫外激光光源、光纤传导、整形光路、投影镜头、曝光基板，紫外激光光源为半导体的激光器，且多组激光器通过多合一光纤合束，光束经过光纤传导后照在整形光路上，再经整形光路的相位调制作用照射在投影镜头上，通过投影镜头投影至曝光基板上端；整形光路包括有衍射元件及准直透镜组。本实用新型专利技术将光束整形成准直透镜组所需的均匀光斑，充分利用了衍射元件体积小、重量轻、可集成度高、衍射效率高等优点，并且缩短整形光路，且可减小成像模组体积，增大模组装调空间。故本实用新型专利技术具有仅单个薄片即可实现整形要求，且衍射元件批量化成本低，非常适合于LDI激光整形的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于衍射元件的LDI激光整形系统
本技术涉及曝光机的激光整形
，尤其涉及一种基于衍射元件的LDI激光整形系统。
技术介绍
随着电子信息发展迅速，芯片、液晶显示及PCB用量大幅增长，尤其PCB行业更是朝着越来越精细的方向发展。其中最重要的工序为光刻/曝光，目前传统曝光机采用菲林印制已出现瓶颈，行业内对于激光直接成像系统(Laserdirectimaging，LDI)越来越迫切。LDI系统常采用DMD投影技术，该DMD为方形的空间调制器，为了满足批量化生产，光源必须通过整形系统照射到DMD上。目前激光整形系统多采用柯勒照明系统、自由曲面系统或微透镜阵列系统，柯勒照明采用光阑调制，光能利用率偏低，且均匀性调制能力较差；自由曲面系统用于实现方形均匀光斑，其面型非常复杂，加工难度较大；微透镜阵列系统可以很好地实现均匀光斑，然而光路较长且需要滤光处理，不利于成像模组的轻量化。成像模组每次只能曝光一小部分，对于大面积曝光需要实现扫面拼接处理。因此简化成像模组，对其装调和精密运动控制将产生极大的作用。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足而提供一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，该系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，其特征在于：包括有紫外激光光源(1)、光纤传导(2)、整形光路(3)、投影镜头(4)、曝光基板(5)，紫外激光光源(1)为半导体的激光器，且多组激光器通过多合一光纤合束，光束经过光纤传导(2)后照在整形光路(3)上，再经整形光路(3)的相位调制作用照射在投影镜头(4)上，通过投影镜头(4)投影至曝光基板(5)上端；整形光路(3)包括有衍射元件(31)及准直透镜组(32)。

【技术特征摘要】
1.一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，其特征在于：包括有紫外激光光源(1)、光纤传导(2)、整形光路(3)、投影镜头(4)、曝光基板(5)，紫外激光光源(1)为半导体的激光器，且多组激光器通过多合一光纤合束，光束经过光纤传导(2)后照在整形光路(3)上，再经整形光路(3)的相位调制作用照射在投影镜头(4)上，通过投影镜头(4)投影至曝光基板(5)上端；整形光路(3)包括有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈振才，
申请(专利权)人：东莞市多普光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44