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本实用新型公开了一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，包括有紫外激光光源、光纤传导、整形光路、投影镜头、曝光基板，紫外激光光源为半导体的激光器，且多组激光器通过多合一光纤合束，光束经过光纤传导后照在整形光路上，再经整形光路的相位调制作用照射...
该专利属于东莞市多普光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市多普光电设备有限公司授权不得商用。

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