一种剥离液再生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种剥离液再生装置，涉及的装置结构包括沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔、薄膜蒸发器和脱色精馏塔，脱水精馏塔进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池和一级膜过滤池。本实用新型专利技术有助于提高剥离液整体再生效率和剥离液终产率，满足光刻胶剥离液废液的回收利用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离液再生装置
本技术涉及剥离液再生
，特别涉及一种剥离液再生装置。
技术介绍
国内电子制造产业发展迅速，使剥离液等电子化学品的使用量大幅度増加。液晶显示面板、半导体集成电路等电子元器件生产过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去，通常使用的剥离液是由有机胺与极性有机溶剂组成的混合物，并含有少量以水分为代表的轻组分。上述有机胺包括单乙醇胺（MEA）、二甲基乙酰胺（DMAC）、N-甲基甲酰胺（NMF）或N-甲基二乙醇胺（MDEA）等；极性有机溶剂包括二乙二醇甲醚（DGME）、二乙二醇单丁醚（DGBE）或二甲基亚砜（DMSO）等。使用剥离液对光刻胶进行去除时会产生大量剥离液废液，剥离液废液中除了含有少量高分子树脂（或PR胶）和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而这些溶剂价格昂贵直接排放容易造成严重的环境污染，且提高了企业的经营成本。现有光刻胶去除工艺中，使用的主流剥离液组分包括70%的乙醇胺和30%的二甲基亚砜；剥离液在光刻胶清洗完成后即为剥离液废液，剥离液废液的组分包括水、光刻胶、乙醇胺和二甲基亚砜；回收后期望得到的组分中乙醇胺含量接近70%，二甲基亚砜接近30%，水分含量＜0.2%，光刻胶未检出，以及其他金属离子含量为PPB级。采用现有技术进行剥离液废液再生时，整体再生效率低下，产率不高，影响光刻胶剥离液废液的回收利用效果。
技术实现思路
本技术的目的是，对现有的剥离液废液回用再生技术存在的技术问题，设计一种剥离液再生装置，提高剥离液整体再生效率和剥离液终产率，满足光刻胶剥离液废液的回收利用需求。本技术通过以下技术方案实现：一种剥离液再生装置，其特征在于，结构包括：沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）和脱色精馏塔（3）；所述脱水精馏塔（1）进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池（12）和一级膜过滤池（14）；所述剥离液废液熔炼池（12）、一级膜过滤池（14）、脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）及脱色精馏塔（3）沿剥离液废液流动方向依次连通；所述剥离液废液熔炼池（12）进料口端设置原料进料泵（11），一级膜过滤池（14）进料口端设置废液输送泵（13），脱水精馏塔（1）进料口端设置雾化泵（15）；所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）出口端通过分支管路分别连通至脱水精馏塔（1）和薄膜蒸发器（2）；所述脱水精馏塔（1）底部连接有脱水塔循环泵（18），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与脱水再沸器（17）连接，脱水再沸器（17）出口端连通至脱水精馏塔（1），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与预热器（16）连通；所述脱水精馏塔（1）顶部出口端连接脱水塔冷凝器（101），脱水塔冷凝器（101）外接一级去真空系统（104），脱水塔冷凝器（101）底部连接脱水塔回流罐（102），脱水塔回流罐（102）底部连接脱水塔回流泵（103），脱水塔回流泵（103）通过分支管路分别连接至脱水精馏塔（1）和一级工艺废水输出阀（105）；所述薄膜蒸发器（2）底部设置残渣中储罐（21），残渣中储罐（21）底部设置残渣出料泵（22），残渣出料泵（22）出口端设置残渣卸料阀（23）；所述脱色精馏塔（3）左下侧设置精馏塔再沸器（31），精馏塔再沸器（31）出口端连接至脱色精馏塔（3），脱色精馏塔（3）底端部设置精馏塔循环泵（32），精馏塔循环泵（32）出口端通过分支管路分别连接至薄膜蒸发器（2）和精馏塔再沸器（31）；脱色精馏塔（3）连接精制塔冷凝器（33），精制塔冷凝器（33）连接精制塔回流罐（34），精制塔回流罐（34）连接精制塔回流泵（35）；所述精制塔冷凝器（33）外接二级去真空系统；所述精制塔回流泵（35）的输出端连接至在线混料器（4）；所述在线混料器（4）外接乙醇胺添加泵（41）和二甲基亚砜添加泵（42）。进一步，所述脱水再沸器为降膜式再沸器。进一步，所述薄膜蒸发器（2）外接有剥离液纯品雾化泵（24），剥离液纯品雾化泵（24）外接剥离液纯品储存罐（2401）。进一步，所述一级膜过滤池（14）内部集成有2组可独立控制的中空纤维膜组件（1400）。进一步，所述中空纤维膜组件（1400）输出端设置有用于对中空纤维膜组件（1400）输出管路进行控制的电磁控制阀（1401）。进一步，所述脱水塔冷凝器（101）与一级去真空系统（104）之间设置有气体过滤器（1010），气体过滤器（1010）内部装配有一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012），一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012）均采用外孔径为1.6mm、内孔径为1.3mm、长度为3mm的中空纤维膜丝堆积而成，一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012）外层采用滤网包裹。进一步，所述一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012）均通过软密封连接件与气体过滤器（1010）内侧壁软密封连接。进一步，所述薄膜蒸发器（2）底端设置有与薄膜蒸发器（2）联动的轴承，轴承连接有用于驱动薄膜蒸发器（2）转动的薄膜蒸发器驱动电机。基于上述剥离液再生装置的剥离液再生工艺，包括以下步骤：步骤1）采用原料进料泵（11）将剥离液废液泵送至剥离液废液熔炼池（12），剥离液废液在剥离液废液熔炼池（12）内完成熔炼液化，获得完全液化的一级剥离液废液；步骤2）采用废液输送泵（13）将步骤1）中完全液化的一级剥离液废液泵送至一级膜过滤池（14）内部，采用一级膜过滤池（14）对输入的金属离子进行膜过滤分离，获得二级剥离液废液；步骤3）采用雾化泵（15）将步骤2）中获得的二级剥离液废液泵送至脱水精馏塔（1）内部，采用脱水精馏塔（1）对输入的二级剥离液废液进行脱水处理，获得一级浓缩液；步骤4）采用薄膜蒸发器（2）对步骤3）中脱水后获得的一级浓缩液进行蒸发分离，获得的组分为乙醇胺和二甲基亚砜的二级浓缩液经由薄膜蒸发器（2）输出；步骤5）采用脱色精馏塔（3）对步骤4）中经由薄膜蒸发器（2）输出的二级浓缩液进行脱色纯化，脱色后获得的组分为乙醇胺和二甲基亚砜的剥离液提纯品在精制塔冷凝器（33）内完成冷凝，冷凝后获得的剥离液提纯品储存至精制塔回流罐（34），储存至精制塔回流罐（34）经由精制塔回流泵（35）后进入在线混料器（4），输入的剥离液提纯品在在线混料器（4）内部完成乙醇胺与二甲基亚砜比例的调配，获得乙醇胺：二甲基亚砜为7：3的剥离液再生品；所述剥离液废液熔炼池（12）外设有经由PLC控制器控制的温控系统；所述薄膜蒸发器（2）外接有剥离液纯品雾化泵（24），剥离液纯品雾化泵（24）外接剥离液纯品储存罐（2401），所述步骤4）中在利用薄膜蒸发器（2）对一级浓缩液进行蒸发分离时，剥离液纯品雾化泵（24）持续地从剥离液纯品储存罐（2401）中抽取剥离液并泵送至薄膜蒸发器（2）内表面；所述一级膜过滤池（14）内部集成有中空纤维膜组件；所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）出口端通过分支管路分别连通至脱水精馏塔（1）和薄膜蒸发器（2）；所述脱水精馏塔（1）底部连接有脱水塔循环泵（本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种剥离液再生装置，其特征在于，结构包括：沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）和脱色精馏塔（3）；所述脱水精馏塔（1）进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池（12）和一级膜过滤池（14）；所述剥离液废液熔炼池（12）、一级膜过滤池（14）、脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）及脱色精馏塔（3）沿剥离液废液流动方向依次连通；所述剥离液废液熔炼池（12）进料口端设置原料进料泵（11），一级膜过滤池（14）进料口端设置废液输送泵（13），脱水精馏塔（1）进料口端设置雾化泵（15）；所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）出口端通过分支管路分别连通至脱水精馏塔（1）和薄膜蒸发器（2）；所述脱水精馏塔（1）底部连接有脱水塔循环泵（18），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与脱水再沸器（17）连接，脱水再沸器（17）出口端连通至脱水精馏塔（1），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与预热器（16）连通；所述脱水精馏塔（1）顶部出口端连接脱水塔冷凝器（101），脱水塔冷凝器（101）外接一级去真空系统（104），脱水塔冷凝器（101）底部连接脱水塔回流罐（102），脱水塔回流罐（102）底部连接脱水塔回流泵（103），脱水塔回流泵（103）通过分支管路分别连接至脱水精馏塔（1）和一级工艺废水输出阀（105）；所述薄膜蒸发器（2）底部设置残渣中储罐（21），残渣中储罐（21）底部设置残渣出料泵（22），残渣出料泵（22）出口端设置残渣卸料阀（23）；所述脱色精馏塔（3）左下侧设置精馏塔再沸器（31），精馏塔再沸器（31）出口端连接至脱色精馏塔（3），脱色精馏塔（3）底端部设置精馏塔循环泵（32），精馏塔循环泵（32）出口端通过分支管路分别连接至薄膜蒸发器（2）和精馏塔再沸器（31）；脱色精馏塔（3）顶部连接精制塔冷凝器（33），精制塔冷凝器（33）连接精制塔回流罐（34），精制塔回流罐（34）连接精制塔回流泵（35）；所述精制塔回流泵（35）的输出端连接至在线混料器（4）；所述精制塔冷凝器（33）外接二级去真空系统；所述在线混料器（4）外接乙醇胺添加泵（41）和二甲基亚砜添加泵（42）；所述在线混料器（4）出口端设置剥离液纯品输送泵（401）。...

【技术特征摘要】
1.一种剥离液再生装置，其特征在于，结构包括：沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）和脱色精馏塔（3）；所述脱水精馏塔（1）进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池（12）和一级膜过滤池（14）；所述剥离液废液熔炼池（12）、一级膜过滤池（14）、脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）及脱色精馏塔（3）沿剥离液废液流动方向依次连通；所述剥离液废液熔炼池（12）进料口端设置原料进料泵（11），一级膜过滤池（14）进料口端设置废液输送泵（13），脱水精馏塔（1）进料口端设置雾化泵（15）；所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）出口端通过分支管路分别连通至脱水精馏塔（1）和薄膜蒸发器（2）；所述脱水精馏塔（1）底部连接有脱水塔循环泵（18），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与脱水再沸器（17）连接，脱水再沸器（17）出口端连通至脱水精馏塔（1），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与预热器（16）连通；所述脱水精馏塔（1）顶部出口端连接脱水塔冷凝器（101），脱水塔冷凝器（101）外接一级去真空系统（104），脱水塔冷凝器（101）底部连接脱水塔回流罐（102），脱水塔回流罐（102）底部连接脱水塔回流泵（103），脱水塔回流泵（103）通过分支管路分别连接至脱水精馏塔（1）和一级工艺废水输出阀（105）；所述薄膜蒸发器（2）底部设置残渣中储罐（21），残渣中储罐（21）底部设置残渣出料泵（22），残渣出料泵（22）出口端设置残渣卸料阀（23）；所述脱色精馏塔（3）左下侧设置精馏塔再沸器（31），精馏塔再沸器（31）出口端连接至脱色精馏塔（3），脱色精馏塔（3）底端部设置精馏塔循环泵（32），精馏塔循环泵（32）出口端通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：周建，蔡雅棠，马晓明，申丹丹，王超，
申请(专利权)人：四川久远化工技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51