The utility model discloses an output mirror optical film for a 228.5 nm wavelength deep ultraviolet all-solid-state laser device, which comprises an output mirror sealing shell and a sealing circular plate. One side of the output mirror sealing shell is fixedly mounted with a sealing plate, the inner part of the sealing plate is provided with an installation hole, the sealing plate is embedded in the outer edge of the sealing circular plate, and the inner part of the sealing circular plate is fixedly mounted with an output mirror. The main body is provided with a injector on one side of the sealing plate, and a buffer chamber is arranged on both sides of the injector. Optical diaphragms are installed on both sides of the main body of the output mirror, and there are no less than four main bodies of the output mirror. A cavity is formed in the middle of the two main bodies of the output mirror, and the main body of the output mirror, the injector and the buffer chamber are connected. The utility model solves the problem of the output mirror. It is easy to be damaged and the work efficiency is relatively low.
【技术实现步骤摘要】
用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜
本技术涉及全固态激光装置
,具体为用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜。
技术介绍
全固态激光器是指以半导体激光器作为泵浦源的固体激光器,相对于只要求工作物质为固体激光材料的传统固体激光器,DPL的激光工作物质、激励源等部分均由固体物质构成,它集中了传统固体激光器和半导体激光器的优势于一身,具有体积小、重量轻、效率高、性能稳定、可靠性好、寿命长、易操作、运转灵便、易智能化、无污染等优点,成为目前最具潜力的新一代激光源之一。在全固态激光装置工作过程中,当激光器的输出功率达到数千瓦以上时,激光输出镜出现明显的损伤或损坏现象,随着功率的增大,输出镜使用寿命大大缩短,对激光输出造成较为严重的影响,一定程度上降低工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜,以解决上述
技术介绍
中提出的输出镜较易损坏及工作效率相对低下的问题。为解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜,包括输出镜密封壳和密封圆板,所述输出镜密封壳的一侧固定安装有密封板,所述密封板的内部开设有安装孔,所述密封板嵌入安装在密封圆板的外缘,所述密封圆板的内部固定安装有输出镜主体,所述密封板的一侧设置有喷吹器,所述喷吹器的两侧均开设有缓存腔。优选的,所述输出镜主体的两侧均安装有光学膜片,且输出镜主体设置有不少于四个,两个所述输出镜主体中部组成一个空腔,且输出镜主体、喷吹器和缓存腔之间连通。优选的,所述密封圆板呈两端密封中部 ...
【技术保护点】
1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜,其特征在于:包括输出镜密封壳(1)和密封圆板(4),所述输出镜密封壳(1)的一侧固定安装有密封板(3),所述密封板(3)的内部开设有安装孔(2),所述密封板(3)嵌入安装在密封圆板(4)的外缘,所述密封圆板(4)的内部固定安装有输出镜主体(5),所述密封板(3)的一侧设置有喷吹器(6),所述喷吹器(6)的两侧均开设有缓存腔(7)。
【技术特征摘要】
1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜,其特征在于:包括输出镜密封壳(1)和密封圆板(4),所述输出镜密封壳(1)的一侧固定安装有密封板(3),所述密封板(3)的内部开设有安装孔(2),所述密封板(3)嵌入安装在密封圆板(4)的外缘,所述密封圆板(4)的内部固定安装有输出镜主体(5),所述密封板(3)的一侧设置有喷吹器(6),所述喷吹器(6)的两侧均开设有缓存腔(7)。2.根据权利要求1所述的用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜,其特征在于:所述输出镜主体(5)的两侧均安装有光学膜片(8),且输...
【专利技术属性】
技术研发人员:曲轶,任永学,赵波,
申请(专利权)人:前海盛德技术深圳有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。