下载用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜的技术资料

文档序号:20308093

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本实用新型公开了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜,包括输出镜密封壳和密封圆板,所述输出镜密封壳的一侧固定安装有密封板,所述密封板的内部开设有安装孔,所述密封板嵌入安装在密封圆板的外缘,所述密封圆板的内部固定安装有输出...
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