弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种过孔电极不易从压电体脱落的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)(压电体)，具有相互对置的一个主面(2a)以及另一个主面(2b)；过孔电极(8a)，贯通压电基板(2)；以及布线电极(4a)，设置在压电基板(2)的一个主面(2a)上。过孔电极(8a)的一个端部与布线电极(4a)连接，过孔电极(8a)在布线电极(4a)侧的一个端部具有延伸以使得相接到压电基板(2)的一个主面(2a)上的卡止部(8a2)。

Elastic wave device

The present invention provides an elastic wave device whose through-hole electrode is not easy to fall off from the piezoelectric body. The elastic wave device (1) has a piezoelectric substrate (2) (piezoelectric body), one main surface (2a) and another main surface (2b) opposite to each other, a through-hole electrode (8a), a through-piezoelectric substrate (2), and a wiring electrode (4a), which is arranged on one main surface (2a) of the piezoelectric substrate (2). One end of the through-hole electrode (8a) is connected with the wiring electrode (4a), and the through-hole electrode (8a) is extended at one end of the side of the wiring electrode (4a) so as to connect to a clamp (8a2) on a main surface (2a) of the piezoelectric substrate (2).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，在压电基板设置有贯通孔。在压电基板上设置有元件布线，使得覆盖该贯通孔。在元件布线设置有凹部，使得与贯通孔连续。在贯通孔内以及凹部内设置有过孔电极。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-252351号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题若在弹性波装置的制造工序中或使用弹性波装置时产生温度变化，则在弹性波装置的各构件、安装弹性波装置的电路基板、对弹性波装置进行密封的树脂中分别产生热膨胀。而且，因为上述各部分的热膨胀系数分别不同，所以热膨胀的大小也分别不同。因此，会对弹性波装置施加使过孔电极从压电基板剥离的力。在该情况下，在专利文献1记载的弹性波装置中，因为过孔电极只是相对于贯通孔侧面通过蒸镀、溅射等进行粘接，所以过孔电极与贯通孔的粘接力弱，过孔电极容易从压电基板脱落。本专利技术的目的在于，提供一种过孔电极不易从压电体脱落的弹性波装置。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置具备：压电体，具有相互对置的一个主面以及另一个主面；过孔电极，贯通所述压电体；以及布线电极，设置在所述压电体的所述一个主面上，所述过孔电极的一个端部与所述布线电极连接，所述过孔电极在所述布线电极侧的所述一个端部具有卡止部，所述卡止部延伸以使得相接到所述压电体的所述一个主面上。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的方式中，所述压电体具有贯通孔，所述过孔电极具有位于所述贯通孔内的贯通部，所述过孔电极的所述卡止部的与所述压电基板的所述一个主面接触的部分的横截面积大于所述贯通部的所述一个主面侧的端部的横截面积。在该情况下，过孔电极更加不易从压电体脱落。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，所述卡止部的与所述布线电极接触的面是粗糙面。在该情况下，能够更进一步增大过孔电极与布线电极的接触面积。因而，能够更进一步降低电阻。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，所述布线电极是具有多个层的层叠体，所述布线电极具有难蚀刻层，所述难蚀刻层是比该布线电极中的所述压电基板侧的最外层更难以被湿式蚀刻的层。在该情况下，在制造弹性波装置时，能够更进一步对压电基板侧的最外层进行侧方蚀刻。因而，能够更进一步增大设置在空洞部内的过孔电极的卡止部的与压电基板的一个主面接触的部分的横截面积。因此，过孔电极更加不易从压电基板脱落。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，在所述压电基板的所述一个主面上设置有激励电极。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，设置有所述布线电极的所述压电基板是盖体，所述弹性波装置还具备配置在与该盖体对置的位置且设置有激励电极的其它压电基板。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述激励电极是IDT电极。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种过孔电极不易从压电体脱落的弹性波装置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图2是图1的过孔电极附近的放大图。图3是本专利技术的第一实施方式中的过孔电极的俯视图。图4是本专利技术的第二实施方式涉及的弹性波装置的、过孔电极附近的放大主视剖视图。图5是本专利技术的第三实施方式涉及的弹性波装置的、过孔电极附近的放大主视剖视图。图6是本专利技术的第四实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图7是图6的过孔电极附近的放大图。具体实施方式以下，通过参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，从而明确本专利技术。另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。弹性波装置1具有作为压电体的压电基板2。压电基板2具有作为相互对置的一个主面以及另一个主面的主面2a以及主面2b。压电基板2由钽酸锂构成。另外，压电基板2例如也可以由铌酸锂、铌酸钾、石英、硅酸镓镧、ZnO、PZT、四硼酸锂等压电材料构成。弹性波装置1的压电体也可以是压电薄膜。在压电基板2的主面2a上设置有作为激励电极的IDT电极3。通过对IDT电极3施加交流电压，从而激励弹性波。IDT电极3例如能够使用Al、Pt、Cu、Au、Ti、Ni、Cr、W、Ag、Pd、Co、Mn等金属、包含它们中的至少一种的合金等。IDT电极3可以是单层，或者也可以是具有多个金属层的层叠体。在压电基板2上设置有布线电极4a、4b。在本实施方式中，布线电极4a、4b与IDT电极3电连接。布线电极4a具有第一电极层4a1、第二电极层4a2。布线电极4b也具有第一电极层4b1、第二电极层462。第一电极层4a1、4b1位于比第二电极层4a2、4b2更靠压电基板2侧。布线电极4a、4b例如能够使用Al、Pt、Cu、Au、Ti、Ni、Cr、W、Ag、Pd、Co、Mn等金属、包含它们中的至少一种的合金等。布线电极4a、4b可以是单层，或者也可以是具有多个金属层的层叠体。布线电极4a、4b以及IDT电极3例如能够通过溅射法、蒸镀法等来设置。在压电基板2的主面2a上设置有具有开口部5a的支承构件5。支承构件5设置为覆盖布线电极4a、4b的至少一部分。IDT电极3位于开口部5a内，IDT电极3被支承构件5包围。支承构件5由适当的树脂等构成。支承构件5例如能够通过光刻法等来设置。在支承构件5上设置有覆盖构件6，使得覆盖开口部5a。由此，形成有被压电基板2、支承构件5以及覆盖构件6包围的中空空间。弹性波装置1具有设置为贯通压电基板2且与布线电极4a连接的过孔电极8a。如作为图1的放大图的图2所示，在压电基板2设置有贯通孔7a，使得贯通压电基板2。另一方面，在布线电极4a设置有空洞部16a，使得与贯通孔7a连续，且到达压电基板2的主面2a。过孔电极8a具有位于贯通孔7a内的贯通部8a1。图2中的虚线A示出贯通部8a1的、压电基板2的主面2a侧的端部。过孔电极8a具有位于空洞部16a内且与布线电极4a连接的卡止部8a2。贯通部8a1是过孔电极8a用的金属填充在贯通孔7a内的部分，卡止部8a2是上述金属填充在空洞部16a内的部分。在本实施方式中，空洞部16a设置在第一电极层4a1，未到达第二电极层4a2。另外，空洞部16a也可以到达第二电极层4a2，卡止部8a2也可以到达第二电极层4a2。卡止部8a2延伸到主面2a上。如作为过孔电极8a的俯视图的图3所示，过孔电极8a的平面形状没有特别限定，在本实施方式中是圆形。如图2以及图3所示，卡止部8a2的与主面2a接触的部分的横截面积(图3：用卡止部8a2的外周圆示出的截面积)大于贯通部8a1的主面2a侧的端部的横截面积(图3：用虚线A的外周圆示出的截面积)。在本实施方式中，过孔电极8a具有与贯通孔7a接触的外层811和设置在外层8l1的内侧的内层8l2。内层8l2从贯通孔7a到达空洞部16a。另外，过孔电极8a也可以是单层。返回到图1，与过孔电极8a同样地，过孔电极8b也具有位于在压电基板2设置的贯通孔7b内的贯通部8b1。过孔电极8b具有卡止部8b2，卡止部8b2位于在布线电极4b设置的空洞部16b内，且与布线电极4b连接。另外，只要弹性波装置1中的至少一个过孔电极具有过孔电极8a的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：压电体，具有相互对置的一个主面以及另一个主面；过孔电极，贯通所述压电体；以及布线电极，设置在所述压电体的所述一个主面上，所述过孔电极的一个端部与所述布线电极连接，所述过孔电极在所述布线电极侧的所述一个端部具有卡止部，所述卡止部延伸以使得相接到所述压电体的所述一个主面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.09 JP 2016-1152261.一种弹性波装置，具备：压电体，具有相互对置的一个主面以及另一个主面；过孔电极，贯通所述压电体；以及布线电极，设置在所述压电体的所述一个主面上，所述过孔电极的一个端部与所述布线电极连接，所述过孔电极在所述布线电极侧的所述一个端部具有卡止部，所述卡止部延伸以使得相接到所述压电体的所述一个主面上。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电体具有贯通孔，所述过孔电极具有位于所述贯通孔内的贯通部，所述过孔电极的所述卡止部的与所述压电基板的所述一个主面接触的部分的横截面积大于所述贯通部的所述一个主面侧的端部的横截面积。...

【专利技术属性】
技术研发人员：关家大辅，菊知拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP