振动器件、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供振动器件、电子设备以及移动体。能够适当地对两个振子的振荡频率进行温度补偿。振动器件包含：第1振子，其生成基准时钟信号；第2振子，其生成第1时钟信号，该第1时钟信号的频率根据所述基准时钟信号而调整；以及电路装置，其具备第1振子的振荡频率的温度补偿用的温度传感器。温度传感器以在与电路装置的基板垂直的方向上俯视时第1振子和温度传感器重叠的方式配置在电路装置中。

Vibration devices, electronic devices and mobile devices

The invention provides a vibration device, an electronic device and a mobile body. It can compensate the oscillation frequency of two oscillators appropriately. The vibration device includes: the first oscillator, which generates the reference clock signal; the second oscillator, which generates the first clock signal, whose frequency is adjusted according to the reference clock signal; and the circuit device, which has a temperature sensor for temperature compensation of the oscillation frequency of the first oscillator. The temperature sensor is arranged in the circuit device in a way that the first oscillator and the temperature sensor overlap when looking down perpendicularly to the substrate of the circuit device.

【技术实现步骤摘要】
振动器件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及振动器件、电子设备以及移动体等。
技术介绍
在通过使压电振子等振子振荡而生成时钟信号的振动器件中，需要使振子的振荡频率高精度化。作为高精度化的方法，已知根据检测温度来补偿振荡频率的温度特性的方法。作为振动器件的一例，在专利文献1中公开了一种使用两个石英振荡器来实现时间数字转换的现有技术。在该专利文献1的现有技术中，使用两个石英振荡器生成第1、第2时钟信号(时钟脉冲)，边沿一致检测电路检测第1、第2时钟信号的下降沿相互一致的同步点。然后，当检测到同步点时，同步计数器与第1、第2时钟信号同步地开始计数处理，根据计数处理的结果进行计算从开始脉冲到停止脉冲的未知时间的时间测定。专利文献1：日本特开平5-087954号公报在专利文献1中，由于生成第1、第2时钟信号的两个石英振荡器分别通过彼此独立地振荡的石英振荡器实现，因此，可能无法进行适当的温度补偿。由于两个石英振荡器的振荡频率影响时间数字转换的性能(例如，时间的测定精度、时间分辨率)，因此，期望对两个石英振荡器的振荡频率适当地进行温度补偿。
技术实现思路
本专利技术是为了解决所述课题中的至少一部分而完成的，作为以下形态或方式来实现。本专利技术的一个方式涉及振动器件，所述振动器件包含：第1振子，其生成基准时钟信号；第2振子，其生成第1时钟信号，该第1时钟信号的频率根据所述基准时钟信号而调整；以及电路装置，其具备基板和所述第1振子的振荡频率的温度补偿用的温度传感器，所述第1振子以在与所述基板垂直的方向上的俯视时所述第1振子与所述温度传感器重叠的方式被配置于所述电路装置。根据本专利技术的一个方式，在俯视时，温度传感器以第1振子和温度传感器重叠的方式配置在电路装置中，由此，温度传感器能够适当地检测出第1振子的温度。由此能够根据由温度传感器检测出的温度高精度地对第1振子的振荡频率进行温度补偿。并且，在本专利技术的一个方式中，根据使用第1振子生成的基准时钟信号来调整使用第2振子生成的第1时钟信号的频率。由于基准时钟信号的频率已被温度补偿，因此，其结果是，能够得到与第1时钟信号的频率被高精度地温度补偿的情况相同的状态。这样，能够适当地对第1、第2振子的振荡频率进行温度补偿。例如能够实现电路装置进行的处理的高性能化等。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述第1振子被第1支承部支承于所述电路装置，所述第2振子被第2支承部支承于所述电路装置。这样，成为第1、第2振子分别被第1、第2支承部支承于电路装置的结构。因此，能够提供在实现处理电路的处理的高性能化等的情况下紧凑地收纳第1、第2振子和电路装置的小型振动器件等。此外，在降低了第1支承部的高度时，使得温度传感器与第1振子之间的距离缩短，从而能够高精度地测定第1振子的温度。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述第1支承部将所述第1振子的端子电极和所述电路装置的第1端子电连接，所述第2支承部将所述第2振子的端子电极和所述电路装置的第2端子电连接。这样，能够有效利用用于借助电路装置支承第1振子的第1支承部将与电路装置的第1振荡电路连接的第1端子和第1振子的一侧电极的端子电极电连接。此外，能够有效利用用于借助电路装置支承第2振子的第2支承部将与电路装置的第2振荡电路连接的第2端子和第2振子的一侧电极的端子电极电连接。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述第1支承部和所述第2支承部是导电性的凸块。这样，使得第1振子被导电性的凸块支承于电路装置。通过使用凸块连接，能够使第1振子的基板和电路装置的基板之间的距离非常接近。由此，能够利用被配置成在俯视时与第1振子重叠的温度传感器高精度地测定第1振子的温度。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，在所述俯视时，所述第1振子以及所述第2振子的面积小于所述电路装置的面积。这样，可以借助电路装置支承第1振子和第2振子，以使得在俯视时第1振子以及第2振子整体与电路装置重叠。由此，能够在实现电路装置进行的处理的高性能化等的情况下，使俯视时的振动器件的尺寸紧凑。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述振动器件包含用于生成第2时钟信号的第3振子，该第2时钟信号的频率根据所述基准时钟信号而调整。这样，由于基准时钟信号的频率已被温度补偿，因此，其结果是，能够得到与第1、第2时钟信号的频率被高精度地温度补偿的情况相同的状态。这样，能够适当地对第1、第2、第3振子的振荡频率进行温度补偿。例如，可以使用第1、第2时钟信号实现电路装置进行的处理的高性能化等。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述电路装置包含：第1PLL电路，其进行所述基准时钟信号和所述第1时钟信号的相位同步；和第2PLL电路，其进行所述基准时钟信号和所述第2时钟信号的相位同步。通过这样使用第1PLL电路、第2PLL电路进行相位同步，与利用一个PLL电路进行第1、第2时钟信号的相位同步的情况相比，能够提高相位同步的频度，从而能够实现使用第1、第2时钟信号的时间数字转换的高性能化。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述电路装置包含时间数字转换电路，该时间数字转换电路根据所述第1时钟信号和所述第2时钟信号，将时间转换为数字值。这样，能够实现使用第1、第2时钟信号的高精度的时间数字转换处理。在本专利技术的一个方式中，由于第1、第2时钟信号的温度特性被降低，因此，能够实现时间数字转换处理的高精度化。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述电路装置包含时间数字转换电路，该时间数字转换电路根据所述基准时钟信号和所述第1时钟信号，将时间转换为数字值。这样，能够实现使用基准时钟信号和第1时钟信号的高精度的时间数字转换处理。在本专利技术的一个方式中，由于基准时钟信号被高精度地温度补偿，根据基准时钟信号而被调整频率的第1时钟信号的温度特性被降低，因此，能够实现时间数字转换处理的高精度化。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述电路装置包含：第1振荡电路，其使用所述第1振子生成所述基准时钟信号；和第2振荡电路，其使用所述第2振子生成所述第1时钟信号，所述电路装置被配置成，在所述俯视时所述第1振子和所述温度传感器重叠，并且所述第1振子和所述第1振荡电路重叠，所述电路装置被配置成，在所述俯视时所述第2振子和所述第2振荡电路重叠。这样，可以通过最短的连接路径将第1振荡电路和第1振子连接起来。此外，还可以通过最短的连接路径将第2振荡电路和第2振子连接起来。由此，能够减少这些连接路径上的额外的寄生电阻和寄生电容。因此，能够防止由于这些寄生电阻和寄生电容的原因而引起的性能劣化，从而能够实现高精度的振荡器等。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述电路装置包含：第1信号线，其将所述第1时钟信号提供给所述时间数字转换电路；和第2信号线，其将所述第2时钟信号提供给所述时间数字转换电路，在所述第1信号线与所述第2信号线之间布置有第1屏蔽线。这样，可以利用第1屏蔽线减少第1、第2时钟信号中的一方的时钟信号的时钟噪声对另一方的时钟信号产生的不利影响，从而能够实现使用第1、第2时钟信号的时间数字转换的高性能化。此外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，所述电路装置还包含第2屏蔽线和第3屏蔽线，所述第1信号线配置在所述第2屏蔽线与所述第1屏蔽线之间，所述第2信本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动器件，其特征在于，所述振动器件包含：第1振子，其生成基准时钟信号；第2振子，其生成第1时钟信号，该第1时钟信号的频率根据所述基准时钟信号而调整；以及电路装置，其具备基板和所述第1振子的振荡频率的温度补偿用的温度传感器，所述第1振子以在与所述基板垂直的方向上的俯视时所述第1振子与所述温度传感器重叠的方式被配置于所述电路装置。

【技术特征摘要】
2017.07.27 JP 2017-1450701.一种振动器件，其特征在于，所述振动器件包含：第1振子，其生成基准时钟信号；第2振子，其生成第1时钟信号，该第1时钟信号的频率根据所述基准时钟信号而调整；以及电路装置，其具备基板和所述第1振子的振荡频率的温度补偿用的温度传感器，所述第1振子以在与所述基板垂直的方向上的俯视时所述第1振子与所述温度传感器重叠的方式被配置于所述电路装置。2.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，所述第1振子被第1支承部支承于所述电路装置，所述第2振子被第2支承部支承于所述电路装置。3.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，所述第1支承部将所述第1振子的端子电极和所述电路装置的第1端子电连接，所述第2支承部将所述第2振子的端子电极和所述电路装置的第2端子电连接。4.根据权利要求2或3所述的振动器件，其特征在于，所述第1支承部和所述第2支承部是导电性的凸块。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，在所述俯视时，所述第1振子以及所述第2振子的面积小于所述电路装置的面积。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，所述振动器件包含用于生成第2时钟信号的第3振子，该第2时钟信号的频率根据所述基准时钟信号而调整。7.根据权利要求6所述的振动器件，其特征在于，所述电路装置包含：第1PLL电路，其进行所述基准时钟信号和所述第1时钟信号的相位同步；和第2PLL电路，其进行所述基准时钟信号和所述第2时钟信号的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中敦嗣，堤昭夫，小松史和，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP