A GPP screen printing passivation layer method includes: S1, primary printing passivation layer; S2, drying passivation layer; S3, secondary printing passivation layer; S4, drying passivation layer. Compared with the passivation protection method of electrophoretic glass, the method of screen printing glass in this application shortens the passivation time and effectively improves GPP production efficiency; is suitable for mass production, the allocation utilization ratio of glass liquid reaches 90%-100%, improves the productivity, the chemical dosage of glass paste is very small, the environmental protection and energy saving are also reduced, and the safety concealment is also reduced. It has many advantages, such as low cost, high reliability, high productivity, environmental protection and energy saving, and is suitable for large-scale production.
【技术实现步骤摘要】
一种GPP丝网印刷钝化层的方法
本申请属于GPP生产
,具体地说,涉及一种GPP丝网印刷钝化层的方法。
技术介绍
GPP是Glassivationpassivationparts的缩写,是玻璃钝化类器件的统称。该产品就是在现有产品普通硅整流扩散片的基础上对拟分割的管芯P/N结面四周烧制一层玻璃,玻璃与单晶硅有很好的结合特性,使P/N结获得最佳的保护,免受外界环境的侵扰,提高器件的稳定性,信赖性极佳。也因此GPP在电子领域的应用越来越广泛。相应的GPP生产工艺,尤其钝化工艺,越来越受到行业内的关注,如何更有效、更快速、更高品质的生产GPP成为一个课题。现行业中主要使用3种工艺用于生产GPP芯片:刀刮工艺、电泳工艺、光阻玻璃工艺,此三种工艺中,刀刮法GPP成本低、可靠性差;电泳工艺成本较高,可靠性高;光阻玻璃法成本最高,可靠性高。
技术实现思路
有鉴于此,本申请所要解决的技术问题是提供了一种GPP丝网印刷钝化层的方法,能够有效缩短玻钝时长,大大提高GPP的生产效率,适合大批量规模化生产。为了解决上述技术问题,本申请公开了一种GPP丝网印刷钝化层的方法,并采用以下技术方案来实现。一种GPP丝网印刷钝化层的方法,步骤包括:S1、一次印刷钝化层;S2、烘干钝化层;S3、二次印刷钝化层;S4、烘干钝化层。进一步的,所述S1工位前设有上片工位,所述上片工位处还设有外观检查工位,剔除不良品。进一步的,所述外观检查工位后料道由单料道改为双料道。进一步的,所述上片工位处还设有周转缓冲站,用以在硅片周转过程中不断料。进一步的,所述S1和/或所述S3的具体步骤包括:①将硅片放在 ...
【技术保护点】
1.一种GPP丝网印刷钝化层的方法,步骤包括:S1、一次印刷钝化层;S2、烘干钝化层;S3、二次印刷钝化层;S4、烘干钝化层。
【技术特征摘要】
1.一种GPP丝网印刷钝化层的方法,步骤包括:S1、一次印刷钝化层;S2、烘干钝化层;S3、二次印刷钝化层;S4、烘干钝化层。2.根据权利要求1所述GPP丝网印刷钝化层的方法,其特征在于:所述S1工位前设有上片工位,所述上片工位处料道由单料道改为双料道。3.根据权利要求2所述GPP丝网印刷钝化层的方法,其特征在于:所述上片工位处还设有周转缓冲站,用以在硅片周转过程中不断料。4.根据权利要求1所述GPP丝网印刷钝化层的方法,其特征在于:所述S1和/或所述S3的具体步骤包括:①将硅片放在载片台上,并调整硅片在合适的位置;②回墨刀回料至印刷初始位置,刮刀向下施压向前推动浆料,到达印刷结束位置后,刮刀抬起;③将印刷后硅片送至传出处。5.根据权利要求4所述GPP丝网印刷钝化层的方法,其特征在于:所述②中各印刷参数范围为:印刷压力为30N~120N,印刷速度为50mm/S~300mm/S,刮刀与硅片平面的角度为40...
【专利技术属性】
技术研发人员:王晓捧,王彦君,孙晨光,徐长坡,陈澄,武卫,梁效峰,王宏宇,杨玉聪,史丽萍,徐艳超,甄辉,齐风,张会生,
申请(专利权)人:天津环鑫科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。