一种溅镀用固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆、右支撑杆，所述左支撑杆、右支撑杆平行设置，所述左支撑杆、右支撑杆之间设有两个滑杆，两个滑杆平行设置，所述两个滑杆之间设有固定板，所述固定板下侧两端设有滑套，所述滑套套设在滑杆上，所述固定板一侧设有调整气缸，所述调整气缸的输出轴安装在固定板上，调整气缸的缸体安装在左支撑杆或右支撑杆上，所述固定板上一端设有固定支撑板、另一端设有滑动压板，所述滑动压板安装在压紧气缸上，所述压紧气缸通过压紧气缸固定座安装在固定板上。本实用新型专利技术可以非常方便的调整放置位置，以适应不同的工件，另外，可以根据需求调整不同的固定位置，而且，可以在平面内进行多方位调整。

A Fixed Device for Sputtering

The utility model provides a fixing device for sputtering plating, which comprises a left support rod and a right support rod, which are arranged in parallel. The left support rod and the right support rod are arranged in parallel, and two sliding rods are arranged in parallel. A fixing plate is arranged between the two sliding rods. The lower ends of the fixing plate are provided with sliding sleeves, and the sliding sleeve is arranged on the sliding rod. One side of the fixing plate is provided with an adjusting cylinder, the output shaft of the adjusting cylinder is installed on the fixing plate, the cylinder block of the adjusting cylinder is installed on the left support rod or the right support rod, one end of the fixing plate is provided with a fixed support plate, the other end is provided with a sliding pressure plate, the sliding pressure plate is installed on the compressed cylinder, and the compressed cylinder is installed on the fixing plate through the fixing seat of the compressed cylinder. The utility model can adjust the placement position very conveniently to adapt to different workpieces, in addition, different fixed positions can be adjusted according to requirements, and multi-direction adjustment can be made in the plane.

【技术实现步骤摘要】
一种溅镀用固定装置
本技术涉及溅镀设备
，具体为一种溅镀用固定装置。
技术介绍
溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等最高，Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glowdischarge)产生，在10-1—10Pa真空度，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。但是，目前的溅镀装置其工件夹具通常放置在底部，不可调节，这就导致溅镀效率低。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种溅镀用固定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆、右支撑杆，所述左支撑杆、右支撑杆平行设置，所述左支撑杆、右支撑杆之间设有两个滑杆，两个滑杆平行设置，所述两个滑杆之间设有固定板，所述固定板下侧两端设有滑套，所述滑套套设在滑杆上，所述固定板一侧设有调整气缸，所述调整气缸的输出轴安装在固定板上，调整气缸的缸体安装在左支撑杆或右支撑杆上，所述固定板上一端设有固定支撑板、另一端设有滑动压板，所述滑动压板安装在压紧气缸上，所述压紧气缸通过压紧气缸固定座安装在固定板上。所述固定板两侧设有限位挡板，所述限位挡板可拆卸的安装在固定板上。所述滑杆两端设有滑块，左支撑杆、右支撑杆上设有滑槽，滑块滑动安装在滑槽内，左支撑杆、右支撑杆两端设有支撑杆固定块，调整气缸的缸体安装在滑块上。所述固定支撑板包括支撑板，所述支撑板下端设有固定部，所述支撑板与固定部垂直设置，所述支撑板与固定部为一体成型结构，所述支撑板上开设有定位孔I、定位孔II，所述定位孔I、定位孔II平行设置，所述支撑板顶端设有沉槽，沉槽内设有垫板，所述沉槽内开设有螺孔，螺孔上安装有双头螺柱，双头螺柱外端连接于另一支撑板。所述固定部下端设有沉槽，沉槽内开设有螺孔，螺孔上安装有双头螺柱，双头螺柱外端连接于固定板或另一支撑板，所述支撑板与固定部之间连接处设有卡槽，卡槽设置在过渡凸台上，过渡凸台设置在固定部上侧。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术可以非常方便的调整放置位置，以适应不同的工件，另外，可以根据需求调整不同的固定位置，而且，可以在平面内进行多方位调整。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的固定支撑板结构示意图。具体实施方式为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。实施例1如图1所示，一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆1、右支撑杆2，所述左支撑杆1、右支撑杆2平行设置，所述左支撑杆1、右支撑杆2之间设有两个滑杆3，两个滑杆3平行设置，所述两个滑杆3之间设有固定板13，所述固定板13下侧两端设有滑套8，所述滑套8套设在滑杆3上，所述固定板13一侧设有调整气缸10，所述调整气缸10的输出轴安装在固定板13上，调整气缸10的缸体安装在左支撑杆1或右支撑杆2上，所述固定板13上一端设有固定支撑板7、另一端设有滑动压板6，所述滑动压板6安装在压紧气缸5上，所述压紧气缸5通过压紧气缸固定座4安装在固定板13上。实施例2如图1所示，一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆1、右支撑杆2，所述左支撑杆1、右支撑杆2平行设置，所述左支撑杆1、右支撑杆2之间设有两个滑杆3，两个滑杆3平行设置，所述两个滑杆3之间设有固定板13，所述固定板13下侧两端设有滑套8，所述滑套8套设在滑杆3上，所述固定板13一侧设有调整气缸10，所述调整气缸10的输出轴安装在固定板13上，调整气缸10的缸体安装在左支撑杆1或右支撑杆2上，所述固定板13上一端设有固定支撑板7、另一端设有滑动压板6，所述滑动压板6安装在压紧气缸5上，所述压紧气缸5通过压紧气缸固定座4安装在固定板13上。所述固定板13两侧设有限位挡板9，所述限位挡板9可拆卸的安装在固定板13上。所述滑杆3两端设有滑块11，左支撑杆1、右支撑杆2上设有滑槽，滑块11滑动安装在滑槽内，左支撑杆1、右支撑杆2两端设有支撑杆固定块12，调整气缸10的缸体安装在滑块11上。实施例3如图1、图2所示，一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆1、右支撑杆2，所述左支撑杆1、右支撑杆2平行设置，所述左支撑杆1、右支撑杆2之间设有两个滑杆3，两个滑杆3平行设置，所述两个滑杆3之间设有固定板13，所述固定板13下侧两端设有滑套8，所述滑套8套设在滑杆3上，所述固定板13一侧设有调整气缸10，所述调整气缸10的输出轴安装在固定板13上，调整气缸10的缸体安装在左支撑杆1或右支撑杆2上，所述固定板13上一端设有固定支撑板7、另一端设有滑动压板6，所述滑动压板6安装在压紧气缸5上，所述压紧气缸5通过压紧气缸固定座4安装在固定板13上。所述固定支撑板7包括支撑板72，所述支撑板72下端设有固定部77，所述支撑板72与固定部77垂直设置，所述支撑板72与固定部77为一体成型结构，所述支撑板72上开设有定位孔I73、定位孔II74，所述定位孔I73、定位孔II74平行设置，所述支撑板72顶端设有沉槽78，沉槽78内设有垫板71，所述沉槽78内开设有螺孔，螺孔上安装有双头螺柱，双头螺柱外端连接于另一支撑板72。所述固定部77下端设有沉槽，沉槽78内开设有螺孔，螺孔上安装有双头螺柱，双头螺柱外端连接于固定板13或另一支撑板72，所述支撑板72与固定部77之间连接处设有卡槽75，卡槽75设置在过渡凸台76上，过渡凸台76设置在固定部77上侧。本技术在固定板13下侧两端设有滑套8，所述滑套8套设在滑杆3上，所述固定板13一侧设有调整气缸10，所述调整气缸10的输出轴安装在固定板13上，调整气缸10的缸体安装在左支撑杆1或右支撑杆2上，可以非常方便的调整放置位置，以适应不同的工件，另外，固定板13上一端设有固定支撑板7、另一端设有滑动压板6，所述滑动压板6安装在压紧气缸5上，可以根据需求调整不同的固定位置，另外，滑杆3两端设有滑块11，左支撑杆1、右支撑杆2上设有滑槽，滑块11滑动安装在滑槽内，可以在平面内进行多方位调整。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆、右支撑杆，其特征在于：所述左支撑杆、右支撑杆平行设置，所述左支撑杆、右支撑杆之间设有两个滑杆，两个滑杆平行设置，所述两个滑杆之间设有固定板，所述固定板下侧两端设有滑套，所述滑套套设在滑杆上，所述固定板一侧设有调整气缸，所述调整气缸的输出轴安装在固定板上，调整气缸的缸体安装在左支撑杆或右支撑杆上，所述固定板上一端设有固定支撑板、另一端设有滑动压板，所述滑动压板安装在压紧气缸上，所述压紧气缸通过压紧气缸固定座安装在固定板上。

【技术特征摘要】
1.一种溅镀用固定装置，包括：左支撑杆、右支撑杆，其特征在于：所述左支撑杆、右支撑杆平行设置，所述左支撑杆、右支撑杆之间设有两个滑杆，两个滑杆平行设置，所述两个滑杆之间设有固定板，所述固定板下侧两端设有滑套，所述滑套套设在滑杆上，所述固定板一侧设有调整气缸，所述调整气缸的输出轴安装在固定板上，调整气缸的缸体安装在左支撑杆或右支撑杆上，所述固定板上一端设有固定支撑板、另一端设有滑动压板，所述滑动压板安装在压紧气缸上，所述压紧气缸通过压紧气缸固定座安装在固定板上。2.根据权利要求1所述的一种溅镀用固定装置，其特征在于：所述固定板两侧设有限位挡板，所述限位挡板可拆卸的安装在固定板上。3.根据权利要求1所述的一种溅镀用固定装置，其特征在于：所述滑杆两端设有滑块，左支撑杆、右支撑杆上设有滑槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍凯，
申请(专利权)人：苏州凡特真空溅镀科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32