The invention relates to a gas sensitive coating material and a preparation method thereof, belonging to the field of semiconductor coating materials. A gas-sensitive coating was sprayed on the surface of metal oxide semiconductor materials by plasma spraying technology, and a porous coating was formed on the surface of materials by manipulator at one time. The porous structure of the prepared porous coating increases the specific surface area of metal oxide semiconductor, increases the sensitivity to gas, improves the stability, conductivity and selectivity of the matrix material, improves the response speed of the carrier material, and reduces the response recovery time.
【技术实现步骤摘要】
一种气敏涂层材料及其制备方法
本专利技术涉及一种气敏涂层材料及其制备方法,属于半导体涂层材料领域。
技术介绍
氧化物半导体气敏传感器因具有灵敏度高,制造成本低和信号测量手段简单等特性而受到重点关注,但是单一组分的金属氧化物半导体材料气敏材料往往因为灵敏度低,选择性差,稳定性差和抗环境干扰能力差等缺点难以满足实际应用,将不同材料复合化是当代材料发展的方向。复合材料中由于强的界面相互作用使各个组分不仅能够保持各自的独立性,同时具备各个组分间协同作用而产生的单一材料并不具备的综合物理化学性能,进而弥补了上述单一材料的缺点。纳米复合材料或材料表面改性应用在气体传感器上,能够提升敏感度,改善传感器选择性,降低工作温度等。但传统的表面方法存在有不足之处,如溅射法只能在金属氧化物半导体气敏材料溅射单一的某种贵金属(Au/Pt/Pd),且贵金属成本较高,浸渍法/水热法/微波辐射法存在表面改性的物质和金属氧化物半导体气敏材料之间粘结性不好,容易脱落,影响气敏材料的使用性能。所以,利用传统的改性方法仍然不能得到性能优异,且优异的持续时间长的金属氧化物半导体气敏改性材料。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种气敏涂层材料,具体为:在金属氧化物半导体材料表面喷涂覆盖气敏涂层,所述涂层由以下原料制备得到,各原料及其重量份数为:原料A为40-50重量份,原料B为20-30重量份,原料C为5-10重量份,原料D为10-35重量份;所述原料A为氧化铜、氧化锌、氧化镍中的一种;所述原料B为氧化锆、纳米氧化铟、氧化钛中的一种;所述原料C为砷化镓、纳米氧化锡、硅中的一种;所述原料D为二氧化锰 ...
【技术保护点】
1.一种气敏涂层材料,其特征在于:在金属氧化物半导体材料表面喷涂覆盖气敏涂层,所述涂层由以下原料制备得到,各原料及其重量份数为:原料A为40‑50重量份,原料B为20‑30重量份,原料C为5‑10重量份,原料D为10‑35重量份;所述原料A为氧化铜、氧化锌、氧化镍中的一种;所述原料B为氧化锆、纳米氧化铟、氧化钛中的一种;所述原料C为砷化镓、纳米氧化锡、硅中的一种;所述原料D为二氧化锰、锑中的一种。
【技术特征摘要】
1.一种气敏涂层材料,其特征在于:在金属氧化物半导体材料表面喷涂覆盖气敏涂层,所述涂层由以下原料制备得到,各原料及其重量份数为:原料A为40-50重量份,原料B为20-30重量份,原料C为5-10重量份,原料D为10-35重量份;所述原料A为氧化铜、氧化锌、氧化镍中的一种;所述原料B为氧化锆、纳米氧化铟、氧化钛中的一种;所述原料C为砷化镓、纳米氧化锡、硅中的一种;所述原料D为二氧化锰、锑中的一种。2.根据权利要求1中所述气敏涂层材料,其特征在于:纳米氧化铟的粒度为25~35nm,纳米氧化锡的粒度为20~30nm。3.权利要求1中所述气敏涂层材...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋鹏,吕凯月,陆建生,
申请(专利权)人:昆明理工大学,
类型:发明
国别省市:云南,53
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