一种检测丙酮气体的传感器及制备方法技术

技术编号:20220420 阅读:45 留言:0更新日期:2019-01-28 19:23
一种检测丙酮气体的传感器及制备方法,属于传感器技术领域。它提供一种能够减少干扰气体、增大与检测气体接触面积的检测丙酮气体的传感器。所述防干扰装置设置在封装外壳内且位于封装外壳的通气孔处,用于吸收干扰气体,所述传感器本体的绝缘层和气敏层之间设有多个通气腔,通气腔能够增加丙酮气体与气敏层的接触面积。一种检测丙酮气体的传感器制备方法:步骤一,制备传感器本体,在基底的支撑层上先形成SiO2绝缘膜;然后,再在支撑层上溅射加热电极和检测电极;之后在加热电极和检测电极上溅射SiO2绝缘膜形成绝缘层,且绝缘层与硅支撑板粘接,硅支撑板与硅晶片粘接。本发明专利技术提高了丙酮的测量精度。

【技术实现步骤摘要】
一种检测丙酮气体的传感器及制备方法
本专利技术属于传感器
,特别是涉及一种检测丙酮气体的传感器。
技术介绍
随着人们生活水平的提高、人口老龄化和生活方式的改变,糖尿病呈快速增长的流行趋势。目前,中国正面临着糖尿病带来的巨大负担,其成人中糖尿病患病率已达11.6%,且50.1%的成人处于糖尿病前期。无创诊断与监控糖尿病是当前的研究热点。人体呼出气中的丙酮是糖尿病的潜在生物标志物。通过检测人体呼出气成分来无创地诊断临床疾病或监控人体代谢状况的呼吸分析技术(breathanalysis)为糖尿病诊断与监控开辟了新的途径。在实际的丙酮检测过程中,人体呼出的气体中含有大量的二氧化碳、水汽以及其他杂质容易对丙酮的检测形成干扰,从而造成检测结果出现偏差的问题,此外,气体与气体传感器的气敏元件的接触面积大接触更充分检测效果会更精确,但随着科技的发展,传感器逐渐有小型精良化的发展趋势,不易增大气敏元件的物理面积。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题,本专利技术提供一种能够减少干扰气体、增大与检测气体接触面积的检测丙酮气体的传感器及制备方法。本专利技术所采取的技术方案是:一种检测丙酮气体的传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测丙酮气体的传感器,包括传感器本体(1)及封装外壳(2);所述传感器本体(1)固定封装在封装外壳(2)内,其特征在于:所述检测丙酮气体的传感器还包括防干扰装置(3),所述防干扰装置(3)设置在封装外壳(2)内且位于封装外壳(2)的通气孔(2‑3)处,用于吸收干扰气体,所述传感器本体(1)的绝缘层(1‑4)和气敏层(1‑5)之间设有多个通气腔,通气腔能够增加丙酮气体与气敏层(1‑5)的接触面积。

【技术特征摘要】
1.一种检测丙酮气体的传感器,包括传感器本体(1)及封装外壳(2);所述传感器本体(1)固定封装在封装外壳(2)内,其特征在于:所述检测丙酮气体的传感器还包括防干扰装置(3),所述防干扰装置(3)设置在封装外壳(2)内且位于封装外壳(2)的通气孔(2-3)处,用于吸收干扰气体,所述传感器本体(1)的绝缘层(1-4)和气敏层(1-5)之间设有多个通气腔,通气腔能够增加丙酮气体与气敏层(1-5)的接触面积。2.根据权利要求1所述的一种检测丙酮气体的传感器,其特征在于:所述传感器本体(1)包括基底(1-1)、支撑层(1-2)、加热层(1-3)、绝缘层(1-4)及气敏层(1-5);所述支撑层(1-2)设置在基底(1-1)上,所述加热层(1-3)设置在支撑层(1-2)上,所述绝缘层(1-4)覆盖在支撑层(1-2)和加热层(1-3)上,所述气敏层(1-5)设置在绝缘层(1-4)上,所述加热层(1-3)上设置有加热电极(1-31)和检测电极(1-32)。3.根据权利要求2所述的一种检测丙酮气体的传感器,其特征在于:所述封装外壳(2)包括上盖(2-1)及壳体(2-2),所述上盖(2-1)和壳体(2-2)可拆卸连接,上盖(2-1)上端面开设有多个通气孔(2-3),所述壳体(2-2)与基底(1-1)固定连接。4.根据权利要求2所述的一种检测丙酮气体的传感器,其特征在于:所述防干扰装置(3)包括环形支撑圈(3-1)、吸水膜(3-2)、环形隔离圈一(3-3)、二氧化碳分离膜(3-4)、环形隔离圈二(3-5)、过滤网(3-6)及环形隔离圈三(3-7);所述环形支撑圈(3-1)与壳体(2-2)内圆周面同心固定设置,所述环形支撑圈(3-1)上从下到上依次支撑有吸水膜(3-2)、二氧化碳分离膜(3-...

【专利技术属性】
技术研发人员:谷俊涛孔庆明曲家兴孙威董守田
申请(专利权)人:东北农业大学黑龙江省网络空间研究中心
类型:发明
国别省市:黑龙江,23

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