一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构制造技术

本实用新型专利技术一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，旋涂腔的底部设置有真空抽气口，所述真空抽气口连接的真空管路一上串接有旋涂腔电磁阀，所述中空旋转轴的中空腔体连接的真空管路二上串接有载物盘电磁阀，所述真空管路一和真空管路二后连通至一总管路上，总管路经总电磁阀连通至抽真空装置。本实用新型专利技术一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，通过抽真空方式达到减少内部气流的目的，从而提高了成膜效果，并且设置不同的真空管路分别对旋涂腔和载物盘进行单独控制，使得相互独立不影响，保证生产效率和成膜质量。

A Vacuum Cavity Structure with Adjustable Pressure and Waste Discharge and Supporting High Speed Rotary Drive

The utility model relates to a vacuum cavity structure which can adjust pressure and discharge waste while supporting high-speed rotary transmission. The bottom of the rotary coating cavity is provided with a vacuum suction port. The vacuum pipeline connected by the vacuum suction port is connected with a rotary coating cavity solenoid valve in series on one side, and the vacuum pipeline connected by the hollow cavity body of the hollow rotary shaft is connected with a carrier plate solenoid valve in series on two sides, and the vacuum pipeline is connected with the vacuum pipeline after two sides. To the main pipeline, the main pipeline is connected to the vacuum pumping device through the main solenoid valve. The utility model relates to a vacuum cavity structure which can adjust pressure and discharge waste while supporting high-speed rotary transmission. The purpose of reducing internal air flow is achieved by vacuum pumping, thereby improving the film-forming effect. Different vacuum pipelines are set to control the rotary coating cavity and the carrier disc separately, so as to make each other independent and not affect each other, and ensure the production efficiency and film-forming quality.

【技术实现步骤摘要】
一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构
本技术涉及一种真空腔结构，尤其是涉及一种应用于匀胶机上的真空腔结构，其具有墙内压力调节、排废液体功能，属于光电

技术介绍
目前,匀胶机在使用时气流对成膜效果造成了极大影响，迫切需要一种方式来减少或解决气流扰动；同时，在实际使用中发现，旋涂腔内气流泄压时冲出的气流会污染集片，从而严重影响成膜质量；最后，残余在旋涂腔内的胶液没有相应的去除方法，需要定期停机清理，严重影响了其生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构；通过抽真空方式达到减少内部气流的目的，从而提高了成膜效果，并且设置不同的真空管路分别对旋涂腔和载物盘进行单独控制，使得相互独立不影响，保证生产效率和成膜质量。本技术的目的是这样实现的：一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，所述结构包含有驱动载物盘的中空旋转轴，旋涂腔的底部设置有真空抽气口，所述中空旋转轴上套装有一扰流板，且扰流板位于真空抽气口的上方，所述真空抽气口连接的真空管路一上串接有旋涂腔电磁阀，所述中空旋转轴的中空腔体连接的真空管路二上串接有载物盘电磁阀，所述真空管路一和真空管路二后连通至一总管路上，总管路经总电磁阀连通至抽真空装置。本技术一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，所述中空旋转轴上套装有孔用弹性挡圈、上油封、油腔和下油封。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术采用双管路设计，一方面可调节旋涂腔内负压，另一方面可以调节载物盘吸附面负压。两者可以随意切换；同时，利用真空负压可保证废液及时排出真空旋涂腔，无需停机维护清理，极大的提高了其使用效果、降低了维护成本。附图说明图1为本技术一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构的示意图。图2为本技术一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构管路示意图。其中：中空旋转轴1、扰流板2、孔用弹性挡圈3、上油封4、油腔5、下油封6、真空抽气口7。具体实施方式参见图1和图2，本技术涉及的一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，所述结构包含有驱动载物盘的中空旋转轴1，真空腔下部的旋涂腔的底部设置有真空抽气口7，所述中空旋转轴1上套装有一扰流板2，且扰流板2位于真空抽气口7的上方(扰流板2的存在可防止气流泄压时气流冲出污染基片)，所述真空抽气口7连接的真空管路一上串接有旋涂腔电磁阀，所述中空旋转轴1的中空腔体连接的真空管路二上串接有载物盘电磁阀，所述真空管路一和真空管路二后连通至一总管路上，总管路经总电磁阀连通至抽真空装置；进一步的，所述中空旋转轴1上套装有孔用弹性挡圈3、上油封4、油腔5和下油封6；起到转动密封作用；使用时，管路切换通过电磁阀通断进行，总电磁阀进行总管路的通断。当匀胶机正常吸附工作时，载物盘处的电磁阀导通，旋涂腔处的电磁阀闭合。当切换成旋涂腔内真空时，旋涂腔处的电磁阀导通，载物盘处的电磁阀闭合；上油封4和下油封6处的两个油封间的油腔5内填充润滑冷却油脂；提供高速时的冷却以及润滑，增强使用寿命；中空旋转轴1高速运转时负压开启，上油封4和下油封6在负压作用下紧抱中空旋转轴1，实现气密跟液体密封，可有效杜绝气体泄漏。进一步的，所述旋涂腔的底部设置有一排废口，该排废口通过管路对外连通，且管路上串接有控制阀；通过排废口可方便的进行排液处理；另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，所述结构包含有驱动载物盘的中空旋转轴(1)，其特征在于：旋涂腔的底部设置有真空抽气口(7)，所述中空旋转轴(1)上套装有一扰流板(2)，且扰流板(2)位于真空抽气口(7)的上方，所述真空抽气口(7)连接的真空管路一上串接有旋涂腔电磁阀，所述中空旋转轴(1)的中空腔体连接的真空管路二上串接有载物盘电磁阀，所述真空管路一和真空管路二后连通至一总管路上，总管路经总电磁阀连通至抽真空装置。

【技术特征摘要】
1.一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，所述结构包含有驱动载物盘的中空旋转轴(1)，其特征在于：旋涂腔的底部设置有真空抽气口(7)，所述中空旋转轴(1)上套装有一扰流板(2)，且扰流板(2)位于真空抽气口(7)的上方，所述真空抽气口(7)连接的真空管路一上串接有旋涂腔电磁阀，所述中空旋转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：宣海，汪竹，曹喜喜，
申请(专利权)人：江苏雷博科学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32