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本实用新型一种可调压排废同时支持高速旋转传动的真空腔结构，旋涂腔的底部设置有真空抽气口，所述真空抽气口连接的真空管路一上串接有旋涂腔电磁阀，所述中空旋转轴的中空腔体连接的真空管路二上串接有载物盘电磁阀，所述真空管路一和真空管路二后连通至一总...
该专利属于江苏雷博科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雷博科学仪器有限公司授权不得商用。

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