一种匀气冷却装置用内部水路检测机构制造方法及图纸

一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置，匀气冷却装置的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置边缘设置有进水柱和出水柱，进水柱与出水柱对称设置，所述的匀气冷却装置设置在基座上，基座内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块相连接，温控模块设置在基座的外部下方；所述的基座设置在其下方的支撑工作台上，水冷装置设置在支撑工作台的左侧或右侧，水冷装置通过连接水管与匀气冷却装置相连接；所述的匀气冷却装置的上方设置有热成像仪；本发明专利技术结构简单，稳定性好，易于操作，适用于在零件发给客户前进行检测，可以很容易检测内部的水路是否有堵塞，便于及时维修；有效保证了出货产品的合格率；大大提高了生产效率。

An Inside Waterway Inspection Device for Uniform Air Cooling Device

An internal waterway detection mechanism for uniform cooling device includes a uniform cooling device with several cooling waterways inside, an inlet column and an outlet column at the edge of the uniform cooling device, a symmetrical arrangement of the inlet column and the outlet column, the said uniform cooling device is arranged on the base, a heating module is arranged inside the base, and a phase control module is arranged through a conductor and a temperature control module. The temperature control module is arranged at the outer and lower parts of the base; the base is arranged on the supporting workbench below, the water cooling device is arranged on the left or right side of the supporting workbench, and the water cooling device is connected with the uniform cooling device through the connecting pipe; the thermal imager is arranged above the uniform cooling device; the structure of the present invention is simple, stable, easy to operate and suitable. Used for testing before parts are sent to customers, it is easy to detect whether the internal waterway is blocked or not, which is convenient for timely maintenance; it effectively ensures the qualified rate of the products delivered; and greatly improves the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种匀气冷却装置用内部水路检测机构
本专利技术涉及水路检测的领域，尤其涉及一种匀气冷却装置用内部水路检测机构。
技术介绍
MOCVD金属有机化学气相沉积法将II或III族金属有机化合物的气体，与含IV或V族元素的氢化物气体引入MOCVD设备的反应腔内，使两者的混合气体送到放置于反应腔内底部基座上的基片表面时，能够在基片表面发生热分解反应，从外延生长形成化合物单晶薄膜。MOCVD匀气及冷却装置使输送的有机金属气体与氢化物气体在基座上及在各基片上都能够均匀分布，工艺时需要使用冷却剂在匀气及冷却装置中流动，使进气装置的温度保持在适当水平，保证MOCVD设备长期稳定工作。由于MOCVD匀气及冷却装置是使用真空钎焊焊接起来，内部有很多冷却水路，由于钎焊料的流动性太好，焊接时有可能造成局部水路堵塞，且常规检测很难检查出水路是否有堵塞，在客户端使用会造成局部气体温度无法冷却，导致工艺不稳定，严重时水路附近开裂，严重影响生产。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，结构简单，操作方便，保证了出货前水路通畅，增加了产品合格率，解决了以上技术问题。为了实现上述技术目的，达到上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置（1），匀气冷却装置（1）的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置（1）边缘设置有进水柱（9）和出水柱（10），进水柱（9）与出水柱（10）对称设置，其特征在于：所述的匀气冷却装置（1）设置在基座（2）上，基座（2）内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块（5）相连接，温控模块（5）设置在基座（2）的外部下方；所述的基座（2）设置在其下方的支撑工作台（3）上，水冷装置（4）设置在支撑工作台（3）的左侧或右侧，水冷装置（4）通过连接水管与匀气冷却装置（1）相连接；所述的匀气冷却装置（1）的上方设置有热成像仪（6）。

【技术特征摘要】
1.一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置（1），匀气冷却装置（1）的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置（1）边缘设置有进水柱（9）和出水柱（10），进水柱（9）与出水柱（10）对称设置，其特征在于：所述的匀气冷却装置（1）设置在基座（2）上，基座（2）内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块（5）相连接，温控模块（5）设置在基座（2）的外部下方；所述的基座（2）设置在其下方的支撑工作台（3）上，水冷装置（4）设置在支撑工作台（3）的左侧或右侧，水冷装置（4）通过连接水管与匀气...

【专利技术属性】
技术研发人员：游利，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32