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一种匀气冷却装置用内部水路检测机构,包括匀气冷却装置,匀气冷却装置的内部设置有若干冷却水路,匀气冷却装置边缘设置有进水柱和出水柱,进水柱与出水柱对称设置,所述的匀气冷却装置设置在基座上,基座内部设置有加热模块,并通过导线与温控模块相连接,温...该专利属于靖江先锋半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过靖江先锋半导体科技有限公司授权不得商用。
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一种匀气冷却装置用内部水路检测机构,包括匀气冷却装置,匀气冷却装置的内部设置有若干冷却水路,匀气冷却装置边缘设置有进水柱和出水柱,进水柱与出水柱对称设置,所述的匀气冷却装置设置在基座上,基座内部设置有加热模块,并通过导线与温控模块相连接,温...