The invention discloses a rotating disc type reaction chamber for lamp bead processing, which comprises a main body of the reaction chamber. An intake pipe is fixed in the middle of the upper and outer end of the main body of the reaction chamber, and a baffle is fixed in the central part of the intake pipe. The baffle extends to the main body of the reaction chamber, and the bottom end of the baffle is fixed with an airflow plate. An extension plate is fixed on the wall of the reaction chamber. A horizontal passage is formed between the horizontal plate and the extension plate. One end of the horizontal passage is fixed with a gas collecting trough in the middle of the upper part of the main body of the reaction chamber, and the lower end of the gas collecting trough is provided with an opening. By setting the main body of the spherical reaction chamber and the suitable airflow channel, and setting the solenoid valve on the airflow channel, the reaction gas can contact the substrate uniformly under the regulation of the solenoid valve, so that the epitaxial sheet produced by the reaction has good quality and better production effect.
【技术实现步骤摘要】
灯珠加工用旋转盘式反应室
本专利技术涉及LED生产过程中气相外延生长
,具体为一种灯珠加工用旋转盘式反应室。
技术介绍
LED生产过程中极为重要的步骤是利用MOCVD技术生产外延片,MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和Ⅴ、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压下通H2的冷壁石英或不锈钢反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),氢气通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。MOCVD技术在生产LED灯等以外延片为原材料的产品过程中起重要作用,但是目前的MOCVD反应室普遍存在反应气体与晶圆片之间接触的均匀性较差,导致生产出来的膜片质地不均,少数旋转盘式反应室通过设置多个反应气体进口使反应气与衬底均匀接触,这样不仅结构复杂而且实际操作时发现仍难以使每个进气口的反应气与衬底均匀接触。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种灯珠加工用旋转盘式反应室,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种灯珠加工用旋转盘式反应室,包括反应室主体,所述反应室主体外上端中部固定设置有进气管,所述进气管中央固定设置有隔流板,所述隔流板延伸至反应室主体内并且所述隔流板底端固定连接有气流板,所述气流板包括弧形板与水平板,所述弧形板与反应室内壁之间形 ...
【技术保护点】
1.灯珠加工用旋转盘式反应室,包括反应室主体(1),其特征在于:所述反应室主体(1)外上端中部固定设置有进气管(2),所述进气管(2)中央固定设置有隔流板(3),所述隔流板(3)延伸至反应室主体(1)内并且所述隔流板(3)底端固定连接有气流板(4),所述气流板(4)包括弧形板(5)与水平板(6),所述弧形板(5)与反应室内壁之间形成弧形通道(7),所述反应室内壁上固定设置有延伸板(8),所述水平板(6)与延伸板(8)之间形成水平通道(9),所述水平通道(9)一端在反应室主体(1)内上部中央固定设置有集气槽(10),所述集气槽(10)下端设有开口,所述反应室主体(1)中部底端外设置有电机(11),所述电机(11)的输出端通过联轴器连接有磁流体旋转轴(12),所述磁流体旋转轴(12)一端固定连接有旋转基座(13),所述旋转基座(13)下方设置有加热器(14),所述旋转基座(13)上端面固定设置有衬底基片(15),所述反应室主体(1)一侧的下方固定设置有排气管(16)。
【技术特征摘要】
1.灯珠加工用旋转盘式反应室,包括反应室主体(1),其特征在于:所述反应室主体(1)外上端中部固定设置有进气管(2),所述进气管(2)中央固定设置有隔流板(3),所述隔流板(3)延伸至反应室主体(1)内并且所述隔流板(3)底端固定连接有气流板(4),所述气流板(4)包括弧形板(5)与水平板(6),所述弧形板(5)与反应室内壁之间形成弧形通道(7),所述反应室内壁上固定设置有延伸板(8),所述水平板(6)与延伸板(8)之间形成水平通道(9),所述水平通道(9)一端在反应室主体(1)内上部中央固定设置有集气槽(10),所述集气槽(10)下端设有开口,所述反应室主体(1)中部底端外设置有电机(11),所述电机(11)的输出端通过联轴器连接有磁流体旋转轴(12),所述磁流体旋转轴(12)一端固定连接有旋转基座(13),所述旋转基座(13)下方设置有加热器(14),所述旋转基座(13)上端面固定设置有衬底基片(15),所述反应室主...
【专利技术属性】
技术研发人员:文波,
申请(专利权)人:绵阳市伯夏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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