一种离子注入机的硅片公转盘制造技术

本发明专利技术公开了一种离子注入机的硅片公转盘，包括转动安装于摆动盘体内的公转盘体，所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，所述公转盘体可拆卸安装于摆动盘体上，公转盘体上圆周均布有若干个自转盘架，所述自转盘架可拆卸安装于公转盘体上，每个自转盘架均由自转动力装置驱动，所述自转盘架上设置有用于放置硅片的放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧或松开硅片边缘的卡紧装置。该硅片公转盘可以方便安装硅片，同时尽可能的节省了等待时间，提高离子注入机的注入效率。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的硅片公转盘
本专利技术涉及一种硅片公装盘，用于使用在离子注入机上用于安装硅片方便离子注入的硅片公装盘。
技术介绍
离子注入机是半导体生产过程中所使用的一种设备，其原理是通过离子源产生多种离子，然后通过磁铁分析仪对多种离子进行筛选，最终有用的目标离子形成离子束，离子束经过加速磁场的加速作用后可以直接注入到硅片内。然目前的硅片公装盘包括包括转动安装于摆动盘体内的公转盘体，所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，摆动盘体是通过摆动机构驱动在竖直位置和水平位置切换，摆动盘体在竖直位置时是与端盖配合，此位置也是离子注入位置。然目前的硅片公转盘存在以下缺点：1、硅片的安装并不合理，由于公转盘内需要安装多个硅片，因而公转盘的尺寸相对较大，安装比较麻烦，同时安装硅片时，离子注入机会处于待机等待状态，效率不高；2、目前的硅片在安装后需要卡紧装置压紧才能方便公转盘公转时硅片不松动，而目前的骨片的卡紧装置压紧硅片不能过紧，过紧可能造成硅片破碎，而硅片在放入时由于需要克服卡紧装置的卡紧力进行卡装，因此在硅片放置时也可能存在破碎现象。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种离子注入机的硅片公转盘，该硅片公转盘可以方便安装硅片，同时尽可能的节省了等待时间，提高离子注入机的注入效率。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种离子注入机的硅片公转盘，包括转动安装于摆动盘体内的公转盘体，所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，所述公转盘体可拆卸安装于摆动盘体上，公转盘体上圆周均布有若干个自转盘架，所述自转盘架可拆卸安装于公转盘体上，每个自转盘架均由自转动力装置驱动，所述自转盘架上设置有用于放置硅片的放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧或松开硅片边缘的卡紧装置。作为一种优选的方案，所述卡紧装置包括圆周均布于放置区域外周的至少三个卡紧块，该卡紧块水平弹性滑动安装于自转盘架上，所述卡紧块上设置有向放置区域中心径向延伸的倾斜端部，所述倾斜端部的底部与放置区域的底部之间具有与硅片厚度适配的间隙。作为一种优选的方案，所述卡紧块包括卡紧块本体和设置于卡紧块本体上的导向杆，所述导向杆的自由端水平贯穿自转盘架且露出，所述导向杆的自由端上设置有螺纹段且安装有限位螺母，所述卡紧块本体与自转盘架之间设置有压缩弹簧。作为一种优选的方案，所述卡紧块本体的倾斜端部的边角均为圆弧倒角，且倾斜端部的外部边缘均设置有耐磨塑料层。作为一种优选的方案，所述卡紧块包括卡紧块本体和设置于卡紧块本体上的至少两个导向杆，该卡紧块通过所述导向杆水平滑动安装于自转盘架上，所述卡紧块本体上水平固定有调节螺杆，所述自转盘架上转动安装有调节螺母，该调节螺母与调节螺杆螺纹连接。作为一种优选的方案，所述摆动盘体的中心处转动安装有中心轴，该中心轴由公转动力装置驱动，所述公转盘体可拆卸固定于中心轴上。作为一种优选的方案，所述中心轴的上端由上而下设置有螺纹轴段和多边形轴段，所述公转盘体的中心设置有与多边形轴段适配的多边形孔，所述多边形孔套装于多边形轴段，中心轴上的螺纹轴段上螺纹安装有用于卡紧公转盘体的压帽。作为一种优选的方案，所述自转盘架的放置区域内设置有弹性填料块。作为一种优选的方案，该公转盘体上转动安装有自转轴，该自转轴由自转动力装置驱动，该自转轴上设置有与自转轴旋转方向相反的螺纹段，所述自转盘架螺纹安装于自转轴的螺纹段上。采用了上述技术方案后，本专利技术的效果是：所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，所述公转盘体可拆卸安装于摆动盘体上，公转盘体上圆周均布有若干个自转盘架，所述自转盘架可拆卸安装于公转盘体上，每个自转盘架均由自转动力装置驱动，所述自转盘架上设置有用于放置硅片的放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧或松开硅片边缘的卡紧装置，这样，该硅片公转盘的公转盘体可以拆卸，那么当一盘硅片注入完成后，可以直接将公转盘体整体取出，然后更换另一个已经安装好了硅片的公转盘体，硅片的更换可以在硅片注入的过程中完成，这样极大的节省了更换等待时间，同时，自转盘架也是可拆卸安装于公转盘体上，因此在进行硅片安装时可以将自转盘架取下安装，安装更加方便，同时操作人员更能控制安装的力度，避免安装时对硅片造成破损。又由于所述卡紧装置包括圆周均布于放置区域外周的至少三个卡紧块，该卡紧块水平弹性滑动安装于自转盘架上，所述卡紧块上设置有向放置区域中心径向延伸的倾斜端部，所述倾斜端部的底部与放置区域的底部之间具有与硅片厚度适配的间隙，该卡紧块具有倾斜端部，因此，在安装硅片时卡紧块收到水平撑开的力从而弹性滑动，方便硅片的放置。又由于所述卡紧块包括卡紧块本体和设置于卡紧块本体上的导向杆，所述导向杆的自由端水平贯穿自转盘架且露出，所述导向杆的自由端上设置有螺纹段且安装有限位螺母，所述卡紧块本体与自转盘架之间设置有压缩弹簧。所述卡紧块本体的倾斜端部的边角均为圆弧倒角，且倾斜端部的外部边缘均设置有耐磨塑料层，利用限位螺母可以调节卡紧块本体压紧硅片的位置，而耐磨塑料层可以避免与硅片硬碰撞。又由于所述卡紧块包括卡紧块本体和设置于卡紧块本体上的至少两个导向杆，该卡紧块通过所述导向杆水平滑动安装于自转盘架上，所述卡紧块本体上水平固定有调节螺杆，所述自转盘架上转动安装有调节螺母，该调节螺母与调节螺杆螺纹连接，通过调节螺母可以驱动卡紧块本体水平移动，这样，当卡紧块本体水平移动后可以避让放置区域，而当硅片放置后，再通过反向转动调节螺母就可以使卡紧块本体滑动伸出，这样卡紧块本体就可以压住硅片，这样可以方便硅片放置，无需与卡紧块本体接触，这样就不会损坏。又由于所述自转盘架的放置区域内设置有弹性填料块，利用该弹性填料块可以给予一点向上的弹力，这样方便硅片的弹出，同时，再配合卡紧块的卡紧作用可以避免硅片松动。又由于该公转盘体上转动安装有自转轴，该自转轴由自转动力装置驱动，该自转轴上设置有与自转轴旋转方向相反的螺纹段，所述自转盘架螺纹安装于自转轴的螺纹段上，该自转盘架的拆卸非常简单，拆卸后的自转盘架可以再进行单个硅片的安装，这样无需在公转盘体上安装，可在其他的空间的位置安装，安装更加方便。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术实施例的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是公转盘体的结构示意图；图4是卡紧装置的其中一个结构示意图；图5是卡紧装置的另一个结构示意图；附图中：1.摆动盘体；2.中心轴；3.公转动力装置；4.公转盘体；5.自转盘架；6.压帽；7.自转动力装置；8.自转轴；81.螺纹段；9.弹性填料块；10.卡紧装置；101.卡紧块本体；102.导向杆；103.限位螺母；104.压缩弹簧；105.弹簧安装杆；106.耐磨塑料层；107.调节螺杆；108.调节螺母；109.导向杆；11.硅片。具体实施方式下面通过具体实施例对本专利技术作进一步的详细描述。如图1至图5所示，一种离子注入机的硅片11公转盘，包括转动安装于摆动盘体1内的公转盘体4，所述摆动盘体1上设置有驱动公转盘体4旋转的公转动力装置3，所述公转盘体4可拆卸安装于摆动盘体1上，公转盘体4上圆周均布有若干个自转盘架5，所述自转盘架5可拆卸安装于公转盘体4上，每个自转盘架5均由自转动力装置7驱动，所述自转盘架5上设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机的硅片公转盘，包括转动安装于摆动盘体内的公转盘体，所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，其特征在于：所述公转盘体可拆卸安装于摆动盘体上，公转盘体上圆周均布有若干个自转盘架，所述自转盘架可拆卸安装于公转盘体上，每个自转盘架均由自转动力装置驱动，所述自转盘架上设置有用于放置硅片的放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧或松开硅片边缘的卡紧装置。

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的硅片公转盘，包括转动安装于摆动盘体内的公转盘体，所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，其特征在于：所述公转盘体可拆卸安装于摆动盘体上，公转盘体上圆周均布有若干个自转盘架，所述自转盘架可拆卸安装于公转盘体上，每个自转盘架均由自转动力装置驱动，所述自转盘架上设置有用于放置硅片的放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧或松开硅片边缘的卡紧装置。2.如权利要求1所述的一种离子注入机的硅片公转盘，其特征在于：所述卡紧装置包括圆周均布于放置区域外周的至少三个卡紧块，该卡紧块水平弹性滑动安装于自转盘架上，所述卡紧块上设置有向放置区域中心径向延伸的倾斜端部，所述倾斜端部的底部与放置区域的底部之间具有与硅片厚度适配的间隙。3.如权利要求2所述的一种离子注入机的硅片公转盘，其特征在于：所述卡紧块包括卡紧块本体和设置于卡紧块本体上的导向杆，所述导向杆的自由端水平贯穿自转盘架且露出，所述导向杆的自由端上设置有螺纹段且安装有限位螺母，所述卡紧块本体与自转盘架之间设置有压缩弹簧。4.如权利要求3所述的一种离子注入机的硅片公转盘，其特征在于：所述卡紧块本体的倾斜端部的边角均为圆弧倒角，且倾斜端部的外部边缘均...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁桃宝，肖加政，
申请(专利权)人：苏州晋宇达实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32