容器门及密封容器制造技术

一种容器门及密封容器，该容器门包含门体、闩锁机构及第一密封单元。门体两相对侧分别设有至少一穿孔，且具有外门板及内门板，外门板的外周轮廓大于内门板的外周轮廓，外门板设有锁孔。闩锁机构设于外门板与内门板之间，且包括位置对应锁孔设置的控制件及与控制件连接且分别对应穿孔设置的闩锁件，控制件可由外部透过锁孔被操作以连动闩锁件，使闩锁件可在经由所述穿孔凸伸出门体外的锁定位置及不凸伸出门体外的释锁位置之间转换。第一密封单元连接于闩锁机构上以使锁孔外侧经由锁孔、门体内部至穿孔外侧间至少在闩锁件位于锁定位置时不连通，如此能使该容器门与该盒体组合并锁固时，避免外界的颗粒污染物经由该锁孔及所述穿孔进入该密封容器内。

【技术实现步骤摘要】
容器门及密封容器
本技术涉及一种密封容器及容器门，特别是涉及一种用于储存或运输晶圆的密封容器及容器门。
技术介绍
现有的半导体容器，例如前开式晶圆盒(FOUP)，该晶圆盒的门上设有闩锁机构以将门与盒体锁固，在门的外侧面设有钥匙孔以供钥匙插入而控制闩锁机构的锁定与释锁，在门的上、下两侧缘则设有开孔/穿孔以供闩锁机构的闩锁件凸伸而将门锁固于盒体上。门的内侧周缘设有密封件。当门与盒体组合时，密封件夹置于门与盒体之间以封闭门与盒体的间隙，藉此防止外界的微粒污染物进入晶圆盒内。而且为了使外界的微粒污染物不能由钥匙孔经过门的内部再经由开孔/穿孔进入晶圆盒内，钥匙孔、闩锁件及开孔/穿孔等结构/组件均需设置于门上较密封件更靠外侧面处。但是，因为密封件位于门的内侧，钥匙孔、闩锁件及开孔/穿孔等结构/组件需设置于外侧，也就是门的厚度必须能够同时容纳密封件、闩锁件及开孔/穿孔等结构/组件，如此不仅增加门的厚度，而且在盒体的开口内侧需要形成供密封件靠抵的肩部，也会增加晶圆盒整体在前后方向的尺寸。因此，要如何缩小半导体容器门以及容器整体的尺寸，特别是缩小其在前后方向上的尺寸，同时又要能兼顾门与盒体结合后的密封效果以对其内容物提供充分的保护，便成为相关业界亟欲解决的课题。
技术实现思路
本技术的一目的在于提供一种可以解决前述至少一问题的容器门。本技术容器门在一些实施态样中，是适用于可拆离地与盒体组合以形成密封容器，该容器门包含门体、至少一闩锁机构，及第一密封单元。该门体的两相对侧分别设有至少一穿孔，且该门体具有相互组合固定的外门板及内门板，该外门板的外周轮廓大于该内门板的外周轮廓，该外门板设有至少一锁孔。该至少一闩锁机构设于该外门板与该内门板之间，且包括位置对应该锁孔设置的控制件及两个与该控制件连接且分别对应所述穿孔设置的闩锁件，该控制件可由外部透过该锁孔而被操作以连动所述闩锁件，使所述闩锁件可在经由所述穿孔而凸伸出该门体外的锁定位置及不凸伸出该门体外的释锁位置之间转换。该第一密封单元连接于该闩锁机构上，以使该锁孔外侧经由该锁孔、该门体内部至所述穿孔外侧间至少在所述闩锁件位于该锁定位置时不连通。在一些实施态样中，还包含环设于该门体的第二密封单元。在一些实施态样中，所述闩锁件各自具有可伸出对应的穿孔的卡置部，该第一密封单元包括分别环绕每个卡置部凸出的环挡部。在一些实施态样中，每个环挡部在所述闩锁件位于该锁定位置时与对应的该穿孔周缘呈气密接触。在一些实施态样中，该第一密封单元包括两个密封圈，在所述闩锁件位于该锁定位置时，所述密封圈夹置于对应的环挡部与该内门板之间以气密地封闭所述穿孔。在一些实施态样中，所述密封圈分别套设于每个闩锁件的该卡置部且相邻对应的该环挡部，以在所述闩锁件位于该锁定位置时，所述密封圈夹置于对应的环挡部与该内门板之间以气密地封闭所述穿孔，且所述密封圈随对应的每个闩锁件移动，而在所述闩锁件位于该释锁位置时，所述密封圈离开所述穿孔。在一些实施态样中，该控制件为转盘且该转盘的轴心对齐该锁孔，该第一密封单元包括夹置于该外门板与该控制件之间且围绕该锁孔的密封件，且该密封件分别与该外门板及该控制件呈气密接触。在一些实施态样中，该控制件形成有用以定位该密封件的定位槽。在一些实施态样中，该外门板形成有用以定位该密封件的定位槽。本技术的另一目的，在提供一种包含前述容器门的密封容器。本技术的密封容器在一些实施态样中，包含：盒体；及如前述中任一实施态样中所述的容器门，该容器门可拆离地与该盒体气密地组合。本技术具有以下功效：藉由在该闩锁机构上连接该第一密封单元，以能在所述闩锁件位于该锁定位置时使所述锁孔外侧经由该锁孔、该门体内部至所述穿孔外侧间不连通，如此能使该容器门与该盒体组合并锁固时，避免外界的微粒污染物经由该锁孔及所述穿孔进入该密封容器内。附图说明本技术的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：图1是本技术密封容器的一第一实施例的一立体图；图2是该第一实施例的一立体分解图；图3是该第一实施例的一门的一立体图；图4是图3的一立体分解图；图5是该第一实施例的该门移除外门板的一立体图；图6是图5的一立体分解图；及图7是本技术密封容器的一第二实施例的一局部剖面示意图。具体实施方式在本技术被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图1与图2，本技术密封容器的一第一实施例，包含一盒体1及一容器门2。该盒体1具有彼此间隔相对直立的两个侧壁11，一连接于所述侧壁11顶端的顶壁12，一连接于所述侧壁11底端的底壁13，一同时连接于所述侧壁11、该顶壁12、该底壁13后端的后壁14，及一呈框状且同时连接于所述侧壁11、该顶壁12、该底壁13前端的门框15。该门框15界定一相对于该后壁14的开口151且设有至少两个分别位于相对两侧的卡槽152。在第一实施例中，在该门框15的上下两侧各设有两个卡槽152，上侧的两个卡槽152分别与下侧的两个卡槽152的位置相对应，使上下相对应的两个卡槽152为一组，共有两组卡槽152。该容器门2可拆离地与该盒体1组合以气密地封闭该开口151。参阅图3至图6，该容器门2包括一门体21、至少一闩锁机构22、一第一密封单元23及一第二密封单元24。该门体21具有相互组合固定的一外门板211及一内门板212。该外门板211的外周轮廓大于该内门板212的外周轮廓，且该门体21与该盒体1组合时与该门框15相嵌合(见图1)并使该外门板211露出于外，该外门板211设有至少一用以供一钥匙(未图示)伸入的锁孔211a。参阅图2、图4与图6，具体而言，在第一实施例中，该外门板211设有两个贯穿该外门板211的锁孔211a，且还设有两个自该外门板211的外表面凹入但未贯穿该外门板211的定位孔211b，以分别供制程机台用来吸取该容器门2以进行开关门的动作的两个吸盘装置(未图示)对位。该内门板212为一体成形的结构，还具有一平板部212b及一自该平板部212b的周缘垂直延伸的围壁部212c。在该围壁部212c的上下两侧各形成两个穿孔212a。同样地，上下相对应的两个穿孔212a为一组，共有两组穿孔212a，以分别与该门框15上的两组卡槽152相对应。同时，两组穿孔212a分别与两个锁孔211a相对应，使每一锁孔211a与对应的一组穿孔212a及一组卡槽152在上下方向相互对应排列。参阅图2、图4至图6，在第一实施例中，该容器门2包括两组闩锁机构22，设于该外门板211与该内门板212之间，且两组闩锁机构22分别对应该外门板211的两个锁孔211a以及两组穿孔212a及卡槽152。每一组闩锁机构22都包括有位置对应该锁孔211a设置的一控制件221、两个与该控制件221连接且分别对应所述穿孔212a设置的闩锁件222，以及一弹性臂223。该控制件221可受该钥匙操作以连动所述闩锁件222，具体而言，该控制件221为轴心对齐该锁孔211a的一转盘，且具有一盘体221a、一凸出该盘体221a的转轴221b，及一凸出该盘体221a且靠近该盘体221a外周的定位柱221c。该盘体221a设有两个分别对应所述闩锁件222的导引槽221d，以利用凸轮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种容器门，适用于可拆离地与盒体组合以形成密封容器，其特征在于：该容器门包含：门体，该门体的两相对侧分别设有至少一穿孔，且该门体具有相互组合固定的外门板及内门板，该外门板的外周轮廓大于该内门板的外周轮廓，该外门板设有至少一锁孔；至少一闩锁机构，设于该外门板与该内门板之间，且包括位置对应该锁孔设置的控制件及两个与该控制件连接且分别对应所述穿孔设置的闩锁件，该控制件可由外部透过该锁孔而被操作以连动所述闩锁件，使所述闩锁件可在经由所述穿孔而凸伸出该门体外的锁定位置及不凸伸出该门体外的释锁位置间转换；及第一密封单元，连接于该闩锁机构上，以使该锁孔外侧经由该锁孔、该门体内部至所述穿孔外侧间至少在所述闩锁件位于该锁定位置时不连通。

【技术特征摘要】
2017.08.25 TW 1062125881.一种容器门，适用于可拆离地与盒体组合以形成密封容器，其特征在于：该容器门包含：门体，该门体的两相对侧分别设有至少一穿孔，且该门体具有相互组合固定的外门板及内门板，该外门板的外周轮廓大于该内门板的外周轮廓，该外门板设有至少一锁孔；至少一闩锁机构，设于该外门板与该内门板之间，且包括位置对应该锁孔设置的控制件及两个与该控制件连接且分别对应所述穿孔设置的闩锁件，该控制件可由外部透过该锁孔而被操作以连动所述闩锁件，使所述闩锁件可在经由所述穿孔而凸伸出该门体外的锁定位置及不凸伸出该门体外的释锁位置间转换；及第一密封单元，连接于该闩锁机构上，以使该锁孔外侧经由该锁孔、该门体内部至所述穿孔外侧间至少在所述闩锁件位于该锁定位置时不连通。2.根据权利要求1所述容器门，其特征在于：还包含环设于该门体的第二密封单元。3.根据权利要求1所述容器门，其特征在于：所述闩锁件各自具有可伸出对应的该穿孔的卡置部，该第一密封单元包括分别环绕每个卡置部凸出的环挡部。4.根据权利要求3所述容器门，其特征在于：每个环挡部在所述闩...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭隆，陈尚宇，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71