【技术实现步骤摘要】
容器门及密封容器
本技术涉及一种密封容器及容器门,特别是涉及一种用于储存或运输晶圆的密封容器及容器门。
技术介绍
现有的半导体容器,例如前开式晶圆盒(FOUP),该晶圆盒的门上设有闩锁机构以将门与盒体锁固,在门的外侧面设有钥匙孔以供钥匙插入而控制闩锁机构的锁定与释锁,在门的上、下两侧缘则设有开孔/穿孔以供闩锁机构的闩锁件凸伸而将门锁固于盒体上。门的内侧周缘设有密封件。当门与盒体组合时,密封件夹置于门与盒体之间以封闭门与盒体的间隙,藉此防止外界的微粒污染物进入晶圆盒内。而且为了使外界的微粒污染物不能由钥匙孔经过门的内部再经由开孔/穿孔进入晶圆盒内,钥匙孔、闩锁件及开孔/穿孔等结构/组件均需设置于门上较密封件更靠外侧面处。但是,因为密封件位于门的内侧,钥匙孔、闩锁件及开孔/穿孔等结构/组件需设置于外侧,也就是门的厚度必须能够同时容纳密封件、闩锁件及开孔/穿孔等结构/组件,如此不仅增加门的厚度,而且在盒体的开口内侧需要形成供密封件靠抵的肩部,也会增加晶圆盒整体在前后方向的尺寸。因此,要如何缩小半导体容器门以及容器整体的尺寸,特别是缩小其在前后方向上的尺寸,同时又要能兼顾 ...
【技术保护点】
1.一种容器门,适用于可拆离地与盒体组合以形成密封容器,其特征在于:该容器门包含:门体,该门体的两相对侧分别设有至少一穿孔,且该门体具有相互组合固定的外门板及内门板,该外门板的外周轮廓大于该内门板的外周轮廓,该外门板设有至少一锁孔;至少一闩锁机构,设于该外门板与该内门板之间,且包括位置对应该锁孔设置的控制件及两个与该控制件连接且分别对应所述穿孔设置的闩锁件,该控制件可由外部透过该锁孔而被操作以连动所述闩锁件,使所述闩锁件可在经由所述穿孔而凸伸出该门体外的锁定位置及不凸伸出该门体外的释锁位置间转换;及第一密封单元,连接于该闩锁机构上,以使该锁孔外侧经由该锁孔、该门体内部至所述 ...
【技术特征摘要】
2017.08.25 TW 1062125881.一种容器门,适用于可拆离地与盒体组合以形成密封容器,其特征在于:该容器门包含:门体,该门体的两相对侧分别设有至少一穿孔,且该门体具有相互组合固定的外门板及内门板,该外门板的外周轮廓大于该内门板的外周轮廓,该外门板设有至少一锁孔;至少一闩锁机构,设于该外门板与该内门板之间,且包括位置对应该锁孔设置的控制件及两个与该控制件连接且分别对应所述穿孔设置的闩锁件,该控制件可由外部透过该锁孔而被操作以连动所述闩锁件,使所述闩锁件可在经由所述穿孔而凸伸出该门体外的锁定位置及不凸伸出该门体外的释锁位置间转换;及第一密封单元,连接于该闩锁机构上,以使该锁孔外侧经由该锁孔、该门体内部至所述穿孔外侧间至少在所述闩锁件位于该锁定位置时不连通。2.根据权利要求1所述容器门,其特征在于:还包含环设于该门体的第二密封单元。3.根据权利要求1所述容器门,其特征在于:所述闩锁件各自具有可伸出对应的该穿孔的卡置部,该第一密封单元包括分别环绕每个卡置部凸出的环挡部。4.根据权利要求3所述容器门,其特征在于:每个环挡部在所述闩...
【专利技术属性】
技术研发人员:邱铭隆,陈尚宇,
申请(专利权)人:中勤实业股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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