The utility model discloses a mixing device for ITO film, which comprises a support, a column, a mixing chamber and a servo motor. A column is arranged in the middle of the support, and a screw rod is arranged on the column. The screw rod is connected with a servo motor. A mixing chamber is arranged on the screw rod, an In2O3 solution box is arranged on the left side of the support, and a first conveyor pipe is arranged on the In2O3 solution box. The first conveyor pipe connects the mixing chamber, and the SnO 2 solution box on the right side of the bracket is provided with a second conveyor pipe. The second conveyor pipe connects the mixing chamber, and spiral tubes are wound around the mixing chamber. The mixing device for ITO film provided by the utility model can effectively distribute the temperature generated in the mixing process in time, ensure the quality of the solution after mixing, and improve the uniformity of the mixing.
【技术实现步骤摘要】
一种用于ITO膜的混料装置
本技术涉及混料
，特别涉及一种用于ITO膜的混料装置。
技术介绍
分光光度当今ITO膜的用途十分广泛，其需求量也很大，尤其在平板的显示领域，不过这种ITO膜是采用溅射蒸发来获得的。本专利技术是介绍采用真空蒸发的ITO膜，主要是应用于精密光学领域内的光学元件上，具体来说有两个方面：一是高方阻值的防电磁辐射光学元件，二是低阻值的发热光学元件。ITO膜也称为透明导电膜，常用的主要材料为氧化铟锡，即In2O3与SnO2的混合料，混合比例一般为：95/5、90/10、80/20等混合比例。它属于N－氧缺陷型半导体材料，载流子浓度约为1020～1021数量级，电阻率为10－4Ω·cm，禁带宽度为3.5～4eV；在紫外波段吸收大、可见光区吸收小、而在中远红外波段又具有加高的反射率。根据现有的工艺，ITO主要由In2O3溶液和SnO2溶液制成，In2O3溶液和SnO2溶液在混料过程中会产生热量，产生的热量会对混料的溶液质量有影响，同时在混料过程中没有离子浓度的监控，造成ITO镀膜不符合要求。因此，现有的混料装置还需要进一步改进。
技术实现思路
针对上述现...
【技术保护点】
1.一种用于ITO膜的混料装置，其特征在于，包括支架、立柱、混料室和伺服电机，所述支架的中部设置有立柱，所述立柱上设置有丝杆，所述丝杆与伺服电机连接，所述丝杆上设置有混料室，所述支架的左侧设置有In2O3溶液箱，所述In2O3溶液箱上设置有第一输送管，所述第一输送管连接混料室，所述支架的右侧SnO2溶液箱，所述SnO2溶液箱上设置有第二输送管，所述第二输送管连接混料室，所述混料室的四周缠绕有螺旋管。
【技术特征摘要】
1.一种用于ITO膜的混料装置，其特征在于，包括支架、立柱、混料室和伺服电机，所述支架的中部设置有立柱，所述立柱上设置有丝杆，所述丝杆与伺服电机连接，所述丝杆上设置有混料室，所述支架的左侧设置有In2O3溶液箱，所述In2O3溶液箱上设置有第一输送管，所述第一输送管连接混料室，所述支架的右侧SnO2溶液箱，所述SnO2溶液箱上设置有第二输送管，所述第二输送管连接混料室，所述混料室的四周缠绕有螺旋管。2...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜见锋，
申请(专利权)人：苏州市唯嘉光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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