液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液体材料吐出装置及方法，其可改善在负压环境下配置吐出装置时所产生的因关闭不良所导致的液体的泄漏的问题。一种液体材料吐出装置，具备：贮存容器；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具有吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的前端对连通孔进行开闭；所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，具备被配置在上述阀杆的下端的树脂膜、或者被配置在阀座的上表面且具有与上述连通孔连通的贯通孔的树脂膜。

Liquid material spitting device, coating device and coating method

The invention provides a liquid material ejection device and a method, which can improve the leakage of liquid caused by poor closure when the ejection device is disposed in a negative pressure environment. A liquid material ejection device is provided with: a storage container; a compressed gas supply source, which pressurizes the storage container; a nozzle, which has an ejection flow path; a valve stem for reciprocating action; an actuator, which drives the valve stem; a valve seat, which has a connecting hole connected with the ejection flow path; and an ejection control device, which controls the actuator and opens the connecting hole using the front end of the valve stem. The liquid material ejection device is used in a negative pressure space, having a resin film arranged at the lower end of the valve stem or a resin film arranged on the upper surface of the valve seat and having a through hole connected with the connecting hole.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法
本专利技术涉及一种在负压环境下吐出液体材料的装置及方法。本说明书中的“负压环境”包含真空环境。
技术介绍
在对安装有半导体部件等的基板涂布液状的树脂(液体材料)的工序(例如，封装(potting)或底部填充(underfill)等)中，若液体材料中存在有气泡，则带来吐出量不均匀、涂布形状或涂布位置不一定(描绘线散乱)、气泡与吐出同时地被排出并使液体材料飞溅的、多余的液体附着于喷嘴的吐出口周边等、各种不良影响。作为用于消除这些气泡的不良影响的方法，具有将液体材料放置于真空环境下进行脱气等的方法。进行脱气的最普通的方法是在进行作业之前，将用于实际作业的贮存有液体材料的容器(注射器)直接放入其它的密闭容器之中，通过对密闭容器内进行真空抽吸而进行液体材料的脱气的方法。此外，作为其他的方法，提出了一种涂布装置，其将进行涂布的空间本身作为密闭空间，且通过对内部进行真空吸引而进行液体材料的脱气。例如，专利文献1是如下涂布装置：在具备收纳液体材料并自吐出口吐出液体材料的收纳吐出部，且对涂布对象物涂布液体材料的液体材料涂布装置中，具备：涂布空间，其至少包围收纳吐本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具有吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的下端对连通孔进行开闭，所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，所述液体材料吐出装置具备被配置于所述阀杆的下端的树脂膜、或者被配置于阀座的上表面且具有与所述连通孔连通的贯通孔的树脂膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.31 JP 2016-1092081.一种液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具有吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的下端对连通孔进行开闭，所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，所述液体材料吐出装置具备被配置于所述阀杆的下端的树脂膜、或者被配置于阀座的上表面且具有与所述连通孔连通的贯通孔的树脂膜。2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述树脂膜由相较于所述阀杆的下端及所述阀座为低弹性模量的树脂所构成。3.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述树脂膜具有10～1000μm的厚度。4.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述阀杆的下端或所述阀座的上表面与所述树脂膜面接触。5.如权利要求4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述阀杆的下端为平面，且所述阀座的上表面为平面。6.如权利要求1～5中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述树脂膜的拉伸强度为50MPa以上。7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述树脂膜由工程塑料所构成。8.如权利要求6或7所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述阀杆的下端及所述阀座由金属所构成。9.如权利要求1～8中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述阀座由被机械性地固定的阀座构件所构成。10.如权利要求1～9中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述吐出控制装置通过将利用所述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au控制在2～300ms的范围内，从而防止伴随着阀杆的上升的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：生岛和正，
申请(专利权)人：武藏工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP