下载液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法的技术资料

文档序号:20121892

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本发明提供一种液体材料吐出装置及方法,其可改善在负压环境下配置吐出装置时所产生的因关闭不良所导致的液体的泄漏的问题。一种液体材料吐出装置,具备:贮存容器;压缩气体供给源,其对贮存容器进行加压;喷嘴,其具有吐出流路;进行往返动作的阀杆;致动器...
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