喷涂系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在密封舱体上，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，自动化控制系统包括气体检测装置，设置在密封舱体上，用于实时检测密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。

Spraying system

The utility model discloses a spraying system, which comprises a sealed cabin, a spraying gun, which is arranged on the sealed cabin for spraying operation of the workpiece, an automatic control system for controlling the spraying process of the workpiece, and an automatic control system including a gas detection device, which is installed on the sealed cabin for real-time detection of the gas content inside the sealed cabin. The spraying system is equipped with automatic control system, which can accurately control the state of the workpiece during spraying process and has a high degree of integration. It can realize automatic control through Ethernet to ensure the stable operation of the spraying system. The automatic control system is equipped with a gas detection device, which can real-time detect the gas content in the sealed cabin, solve the problem of uncontrollable gas content in the process of rotating spraying, ensure the stability and consistency of the workpiece in the process of sputtering coating, make the gas content in the workpiece meet the production requirements, and obtain the sputtering coating target with high quality.

【技术实现步骤摘要】
喷涂系统
本技术涉及喷涂
，特别是涉及一种喷涂系统。
技术介绍
喷涂工艺能够实现对靶材进行溅射镀膜的目的，以得到符合工业需求的溅射镀膜靶材。随着工业发展的需求，溅射镀膜靶材的质量要求也越来越高，因此，在喷涂过程中，需要严格控制靶材的气体含量。传统的喷涂系统，一般将靶材放置在车床上，利用大气等离子在大气环境下进行旋转喷涂生产。或者，在对靶材进行溅射镀膜的过程中使用高真空舱室，充入惰性气体进行反应镀膜。但是，在喷涂过程中，靶材内的气体含量无法控制，从而影响溅射镀膜的正常操作，容易造成跳靶、溅射膜层色差、溅射功率不稳定以及靶材溅射使用不均匀等后果。
技术实现思路
基于此，有必要针对在喷涂过程中，靶材内的气体含量无法控制的问题，提供一种喷涂系统。一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在所述密封舱体上，所述喷枪具有朝向所述密封舱体内部的枪头，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，所述自动化控制系统包括气体检测装置，设置在所述密封舱体上，用于实时检测所述密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷涂系统，其特征在于，包括：密封舱体；喷枪，设置在所述密封舱体上，所述喷枪具有朝向所述密封舱体内部的枪头，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，所述自动化控制系统包括气体检测装置，设置在所述密封舱体上，用于实时检测所述密封舱体内部的气体含量。

【技术特征摘要】
1.一种喷涂系统，其特征在于，包括：密封舱体；喷枪，设置在所述密封舱体上，所述喷枪具有朝向所述密封舱体内部的枪头，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，所述自动化控制系统包括气体检测装置，设置在所述密封舱体上，用于实时检测所述密封舱体内部的气体含量。2.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述密封舱体内部设有进气管道，所述进气管道用于补充惰性气体；所述密封舱体内部还设有除尘风管，所述除尘风管连接至除尘器。3.根据权利要求2所述的喷涂系统，其特征在于，所述密封舱体内部还设有抽风管道，所述抽风管道连接至所述气体检测装置。4.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述自动化控制系统设有触摸屏和控制箱，所述触摸屏和控制箱安装在所述密封舱体外部的支架上。5.根据权利要求1所述的喷涂系统，其特征在于，所述密封舱体包括拆卸舱、与所述拆卸舱连接的工作舱、与所述工作舱连接的移动舱，且所述拆卸舱、工作舱、移动舱的中心线处于...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄小军，顾宗慧，周钧，庄猛，诸斌，程银兵，
申请(专利权)人：基迈克材料科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32