测试系统及测试方法技术方案

本申请实施例提供一种测试系统及一种测试方法，该测试系统包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器。所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动。所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器。所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。本申请方案可以测试获得待测MEMS的扫描振镜慢轴的共振频率。

Testing System and Testing Method

The embodiment of this application provides a test system and a test method, which includes a processor, a signal generator and a data acquisition device connected with the processor and the MEMS to be tested respectively. The signal generator transmits a pulse signal to the MEMS to be measured based on the signal generation instruction, so as to deflect the slow axis of the scanning mirror of the MEMS to a certain angle, and damp the vibration with resonance frequency after the pulse signal disappears. The data acquisition device collects the vibration signal when the slow axis of the scanning galvanometer is used to damp the vibration based on the signal acquisition instruction, and transmits the vibration signal to the processor. The processor is used to send the signal generation instruction to the signal generator, the signal acquisition instruction to the data collector, and the resonance frequency of the slow axis of the scanning galvanometer is determined based on the vibration signal collected by the data collector. The application scheme can test and obtain the resonance frequency of the slow axis of the scanning mirror of the MEMS to be tested.

【技术实现步骤摘要】
测试系统及测试方法
本申请实施例涉及虚拟现实
，尤其涉一种测试系统及一种测试方法。
技术介绍
MEMS(微机电系统，MicroelectromechanicalSystems)中的扫描振镜是激光扫描投影设备中的关键器件。激光器发射的激光光束需要通过扫描振镜的快速震动将激光光束反射到光幕上的不同位置处，从而实现待扫描图像快速的点扫描最终呈现该待扫描图像。扫描振镜可以分为快轴扫描和慢轴扫描。其中，快轴扫描利用扫描振镜快轴的共振实现快速扫描，慢轴扫描是利用电磁力或者静电力等外力驱动扫描振镜慢轴实现匀速扫描。扫描振镜慢轴的驱动信号频率需要远离扫描振镜慢轴的共振频率，因为当扫描振镜慢轴的驱动信号包含等于或接近扫描振镜慢轴的共振频率时会产生共振效应，使扫描振镜慢轴的无法实现匀速扫描，从而影响待投影图像的成像质量。为了避免扫描振镜慢轴的驱动信号内包含扫描振镜慢轴的共振频率，可以在扫描振镜慢轴的驱动电路中增加滤波电路以滤除驱动信号中的共振频率。但由于不同的扫描振镜具有不同的扫描振镜慢轴共振频率，因此在生产激光扫描投影设备时需要预先获得扫描振镜慢轴的共振频率，以实现对激光扫描投影设备中电路设计。
技术实现思路
本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，用以通过测试获得待测MEMS中扫描振镜慢轴的共振频率。本申请提供了一种测试系统，包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器；所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动；所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器；所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。优选地，所述待测MEMS包括与所述扫描振镜慢轴连接的线圈及用于检测所述扫描振镜慢轴角位移的传感组件；其中，所述信号发生器与所述待测MEMS的线圈连接用于发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述线圈基于所述脉冲信号发生扭转并触发与所述线圈相连的扫描振镜慢轴偏转一定角度；所述数据采集器与所述传感组件连接，用于采集所述传感组件检测所述扫描振镜慢轴做阻尼振动时角位移随时间变化而生成的振动信号，并将所述振动信号传输至所述处理器。优选地，还包括与所述处理器连接的电源模块；所述处理器用于发送电源控制指令至所述电源模块；所述电源模块与所述传感组件连接，用于根据所述电源控制指令为所述传感组件提供偏置电源。优选地，所述传感组件包括第一可变电阻、第二电阻、第三电阻及第四电阻；其中，所述第一可变电阻和第三电阻的电阻值相等，所述第二电阻和所述第四电阻的电阻值相等；所述扫描振镜慢轴偏转引起所述第一可变电阻的阻值发生变化；其中，所述第一可变电阻的阻值变化与所述扫描振镜慢轴的角位移相关；所述第一可变电阻、所述第二电阻、所述第三电阻及所述第四电阻构成所述扫描振镜慢轴的电桥电路。优选地，所述电桥电路的第一对角线对应的连接节点连接所述电源模块；所述电桥电路的第二对角线对应的连接节点连接所述数据采集器；所述数据采集器基于所述第二对角线对应的连接节点采集获得所述电桥电路输出的电压信号；所述处理器基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率是基于所述数据采集器采集的所述电压信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。优选地，所述第一可变电阻包括压敏电阻。本申请还提供了一种测试方法，包括：发送脉冲信号至待测MEMS，使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动；采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号；基于所述振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。优选地，所述基于所述振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率包括：将所述振动信号进行傅里叶变换，获得频域的振动信号；确定所述频域的振动信号中幅值最大的频率为所述扫描振镜慢轴的共振频率。优选地，该方法用于测试系统；所述测试系统包括处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器；所述发送脉冲信号至待测MEMS包括：发送信号生成指令至所述信号发生器；控制所述信号发生器发送脉冲信号至所述待测MEMS；所述采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号包括：发送信号采集指令至所述数据采集器；控制所述数据采集器采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号并获取所述数据采集器采集的振动信号。优选地，所述待测MEMS包括传感组件；所述控制所述数据采集器采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号包括：控制所述数据采集器采集所述传感组件检测所述扫描振镜慢轴做阻尼振动时角位移随时间变化而生成的振动信号。本申请实施实例提供了一种测试系统及一种测试方法，该测试系统包括处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器。信号发生器发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动。数据采集器采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器。所述处理器基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。本申请通过在待扫描MEMS上增加脉冲信号，使得扫描振镜慢轴受外力驱动后偏转一定的角度，当该脉冲信号撤销后，扫描振镜慢轴受到的外力消失，便会在平衡位置附近做阻尼振动并逐渐回到平衡位置静止，而扫描振镜慢轴进行阻尼振动时的振动频率即扫描振镜慢轴的共振频率。因此通过数据采集器采集所述扫描振镜慢轴做阻尼振动时的振动信号。即可基于该振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率，为后续设计和生产激光扫描投影设备奠定基础。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示出了本申请提供的一种测试系统一个实施例的结构示意图；图2示出了本申请提供的一种测试系统又一个实施例的结构示意图；图3示出了本申请提供的所述数据采集器采集获得任一待测MEMS的扫描振镜慢轴的电压信号的示意图；图4示出了本申请提供的图3实施例中采集获得的扫描振镜慢轴的电压信号对应的频域信号的示意图；图5示出了本申请提供的一种测试方法一个实施例的流程图；图6示出了本申请提供的一种测试方法又一个实施例的流程图；图7示出了本申请提供的一种测试装置一个实施例的结构示意图；图8示出了本申请提供的一种测试装置一个实施例的结构示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。在本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的描述的一些流程中，包含了按照特定顺序出现的多个操作，但是应该清楚了解，这些操作可以不按照其在本文中出现的顺序来执行或并行执行，操作的序号如101、102等，仅仅是用于区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试系统，其特征在于，包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器；所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动；所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器；所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。

【技术特征摘要】
1.一种测试系统，其特征在于，包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器；所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动；所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器；所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述待测MEMS包括与所述扫描振镜慢轴连接的线圈及用于检测所述扫描振镜慢轴角位移的传感组件；其中，所述信号发生器与所述待测MEMS的线圈连接用于发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述线圈基于所述脉冲信号发生扭转并触发与所述线圈相连的扫描振镜慢轴偏转一定角度；所述数据采集器与所述传感组件连接，用于采集所述传感组件检测所述扫描振镜慢轴做阻尼振动时角位移随时间变化而生成的振动信号，并将所述振动信号传输至所述处理器。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括与所述处理器连接的电源模块；所述处理器用于发送电源控制指令至所述电源模块；所述电源模块与所述传感组件连接，用于根据所述电源控制指令为所述传感组件提供偏置电源。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述传感组件包括第一可变电阻、第二电阻、第三电阻及第四电阻；其中，所述第一可变电阻和第三电阻的电阻值相等，所述第二电阻和所述第四电阻的电阻值相等；所述扫描振镜慢轴偏转引起所述第一可变电阻的阻值发生变化；其中，所述第一可变电阻的阻值变化与所述扫描振镜慢轴的角位移相关；所述第一可变电阻、所述第二电阻、所述第三电阻及所述第四电阻构成所述扫描振镜慢轴的电桥电路。5.根据权利要求4所述的系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝瑞娜，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37