一种微电子器件除尘装置制造方法及图纸

技术编号:20078072 阅读:57 留言:0更新日期:2019-01-15 01:33
本发明专利技术公开了一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒,所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒,所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱,所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器,所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板,所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同一个横板。本发明专利技术结构简单,离子发生器可以产生离子风并通过离子风枪吹向微电子器件的表面,毛刷可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器通过吸尘头和吸尘盒将灰尘吸走,使得离子风枪可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上,除静电的效果好,且吸尘头可以近距离的吸走毛刷和离子风枪从微电子器件清除的灰尘,可以及时将灰尘吸走,避免二次污染,使用方便。

A Dust Removal Device for Microelectronic Devices

The invention discloses a microelectronic device dust removal device, which comprises a rectangular box. The top of both sides of the inner wall of the rectangular box is welded with a conical box. The inner wall of the conical box is welded with a hollow cylinder. The two sides of the hollow cylinder are respectively fixed with an ion generator and a vacuum cleaner. The inner wall of the conical box is welded with a circular plate, and the inner walls of the rectangular box are welded with two sides of the hollow cylinder. The same cross plate is welded. The invention has simple structure. The ion generator can generate ionic wind and blow it to the surface of microelectronic devices through an ionic wind gun. The brush can brush away the dust which can not be blown off by the ionic wind. At the same time, the dust is sucked away by a vacuum cleaner through a dust suction head and a vacuum box, so that the ionic wind gun can concentrate and blow the ionic wind to the surface of microelectronic devices at a close distance, and the effect of removing static electricity is good, and the dust is sucked. The head can absorb the dust from the brush and the ion gun in close range, and can absorb the dust from the microelectronic devices in time to avoid secondary pollution and use conveniently.

【技术实现步骤摘要】
一种微电子器件除尘装置
本专利技术涉及微电子除尘
,尤其涉及一种微电子器件除尘装置。
技术介绍
公告号为CN206443651U的专利技术公开了一种微电子器件除尘装置,包括支撑圆板,支撑圆板的外周设有环形套,环形套的套体为中空结构,环形套的套体内侧开设数个通气孔,环形套连接导管的一端,导管的另一端连接吸尘器;支撑圆板的中间处安装离子风枪,离子风枪连接离子发生器。本专利技术中,通过环形套扣在芯片上,形成一个较为封闭的空间,灰尘由外周的通气孔吸走,避免灰尘飘落,提高除尘效率。但是该微电子器件除尘装置的离子风是由风扇从顶部吹向微电子器件的,距离较远,会造成吹到微电子器件表面的离子风比较分散,导致除静电的效果不好,且吸尘口距离微电子器件的中间区域较远,不能及时将灰尘吸走,会造成二次污染,所以我们提出一种微电子器件除尘装置,用以解决上述所提到的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种微电子器件除尘装置。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒,所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒,所述锥形盒的内壁上焊接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒(2),其特征在于,所述矩形盒(2)的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒(9),所述锥形盒(9)的内壁上焊接有空心圆柱(21),所述空心圆柱(21)的两侧分别固定安装有离子发生器(10)和吸尘器(11),所述锥形盒(9)的内壁上焊接有圆形板(8),所述矩形盒(2)的两侧内壁上焊接有同一个横板(5),所述横板(5)的一侧滑动连接有移动板(6),所述矩形盒(2)的两侧内壁上均开设有通孔,所述通孔位于横板(5)的一侧,所述通孔的内壁上滑动连接有弹性绳(3),所述弹性绳(3)的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒(2)内,两个弹性绳(3)相互靠近的一端分别与移动板(6)的两侧相...

【技术特征摘要】
1.一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒(2),其特征在于,所述矩形盒(2)的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒(9),所述锥形盒(9)的内壁上焊接有空心圆柱(21),所述空心圆柱(21)的两侧分别固定安装有离子发生器(10)和吸尘器(11),所述锥形盒(9)的内壁上焊接有圆形板(8),所述矩形盒(2)的两侧内壁上焊接有同一个横板(5),所述横板(5)的一侧滑动连接有移动板(6),所述矩形盒(2)的两侧内壁上均开设有通孔,所述通孔位于横板(5)的一侧,所述通孔的内壁上滑动连接有弹性绳(3),所述弹性绳(3)的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒(2)内,两个弹性绳(3)相互靠近的一端分别与移动板(6)的两侧相连接,所述移动板(6)的顶部和圆形板(8)的底部焊接有同一个拉簧(14),所述移动板(6)的两侧分别固定安装有分流盒(15)和吸尘盒(19),所述分流盒(15)内固定安装有风扇,所述分流盒(15)和吸尘盒(19)的底部分别固定安装有多个对称设置的离子风枪(16)和吸尘头(18),所述离子风枪(16)和吸尘头(18)分别与分流盒(15)和吸尘盒(19)相连通,所述分流盒(15)和吸尘盒(19)的顶部分别固定连接有第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13),所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)分别与分流盒...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴胜松叶桂如吴胜琴
申请(专利权)人:安徽星宇生产力促进中心有限公司
类型:发明
国别省市:安徽,34

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