下载一种微电子器件除尘装置的技术资料

文档序号:20078072

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本发明公开了一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒,所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒,所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱,所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器,所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板,所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同...
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