【技术实现步骤摘要】
一种稀有气体回收装置
本技术属于放电管生产
，具体涉及一种稀有气体回收装置。
技术介绍
冷阴极放电管的充填气体是稀有气体，稀有气体产量少，价格贵，且当市场紧缺时气体价格就会猛涨，最高涨幅曾经达到20倍。稀有气体的回收再利用具有很现实的意义，冷阴极放电管体积小，填充的稀有气体所需量较少，在排气工序剩余有稀有气体，且回收比较困难，浪费资源，增加生产升本，急需一种能将冷阴极放电管生产过程中剩余的稀有气体回收再利用的装置。
技术实现思路
专利技术目的：针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种冷阴极放电管生产中稀有气体回收再利用的稀有气体回收装置。技术方案：为了实现上述专利技术目的，本技术采用的技术方案如下：一种稀有气体回收装置，包括依次连接的稀有气体进气口、真空筒、吸气泵、储气罐、真空开关、增压泵、高压针阀和储气瓶，所述稀有气体进气口与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。作为优选，所述真空筒内的状态为负压。作为优选，在所述真空筒上设置有高精度真空压力表，所述高精度真空压力表的量程为0～760毫乇。作为优选，在所述吸气泵的进口和出口均设置有止回阀，在所述增压泵的进口和出口均设置有止回阀。作为优选，在所述储气罐的前端设置有第一高精度压力表，在所述高压针阀的前端设置有第二高精度压力表。作为优选，所述第一高精度压力表的量程为0～1.5MPa，所述第二高精度压力表量程为0～10MPa。作为优选，在所述增压泵的出口设置有两路，一路连接高压针阀，另一路设置有卸荷阀。作为优选，所述吸气泵输出压力为1MPa，所述增压泵输出压力为8MPa。有益效果：与现...
【技术保护点】
1.一种稀有气体回收装置，其特征在于：包括依次连接的稀有气体进气口(1)、真空筒(2)、吸气泵(5)、储气罐(7)、真空开关(8)、增压泵(9)、高压针阀(11)和储气瓶(13)，所述稀有气体进气口(1)与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。
【技术特征摘要】
1.一种稀有气体回收装置，其特征在于：包括依次连接的稀有气体进气口(1)、真空筒(2)、吸气泵(5)、储气罐(7)、真空开关(8)、增压泵(9)、高压针阀(11)和储气瓶(13)，所述稀有气体进气口(1)与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。2.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：所述真空筒(2)内的状态为负压。3.根据权利要求1或2所述的稀有气体回收装置，其特征在于：在所述真空筒上设置有高精度真空压力表(3)，所述高精度真空压力表(3)的量程为0～760毫乇。4.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：在所述吸气泵(5)的进口和出口均设置有止回阀(4)，在所述增压泵(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：高志刚，
申请(专利权)人：江苏虹扬光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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