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本实用新型公开一种稀有气体回收装置，包括依次连接的稀有气体进气口、真空筒、吸气泵、储气罐、真空开关、增压泵、高压针阀和储气瓶，所述稀有气体进气口与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。本实用新型的稀有气体回收装置能将...
该专利属于江苏虹扬光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏虹扬光电有限公司授权不得商用。

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